Раствор для травления ковара
О П И С А Н И Е 293066
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистннеских
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 09.1.1970 (№ 1393880/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 15.1,1971. Бюллетень ¹ 5
Дата опубликования описания IО.III.1971
МПК С 23f 1/00
Комитет п0 делам изобретений н открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.794.41:669.15 24 25 (088.8) Авторы изобретения, Н. А, Кудряшова, Л. T. Дьяконова, Г. А. Шапкин
Г. М. Белевич и В. В. Лутовинова
Заявитель
РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КОВАРА
8
0,13 остальное соляная кислота перекись водорода лимонная кислота вода
2 — 6
4 — 12
0,05 — 0,5 остальное соляная кислота перекись водорода лимонная кислота вода
Изобретение относится к области химической обработки ковара и может быть использовано при производстве изделий электронной техники, в частности при изготовлении элементов интегральных схем.
Известен раствор для травления ковара, содержащий соляную кислоту.
Предложенный раствор отличается от известного введением в его состав перекиси водорода и лимонной кислоты при определенном соотношении компонентов. Это позволяет улучшить качество травления и чистоту обрабатываемой поверхности.
Описываемый раствор содержит соляную кислоту, перекись водорода и лимонную кислоту при следующем соотношении компонентов (в вес. ):
Пример. Для изготовления рамочных выводов интегральных схем обрабатывается с обеих сторон листовой ковар толщиной 0,3лтль
В качестве копировального слоя используется фоторезист СЦК-1.
Травление проводится при комнатной температуре в растворе следующего состава (в вес. % ):
При травлении в указанном растворе ско10 рость глубинного травления 30 — 40 л кл /лтин, скорость бокового травления 8 — 10 лилт/лтин.
Время травления заготовки 3,5 — 5 л ин. По внешнему виду поверхность заготовок после обработкн в данном растворе блестящая, поли15 рованная (9 класс чистоты).
Предмет изобретения
Раствор для травления ковара, содержащий соляную кислоту, отличающийся тем, 20 что, с целью улучшения качества травления, в его состав введены перекись водорода и лимонная кислота при следующем соотношении компонентов (в вес. %): соляная кислота 2 — 6
25 перекись водорода 4 — 12 лимонная кислота 0,05 — 0,15 вода остальное
