Эная ^——•— -^^'п>&й^1л;:[^ч?2!1[ля(.^,«nf:лис гена 1

 

О П И С А Н И Е 295829

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Респтблин

Зависимое от авт. свидетельства ¹

МПК С 23с 13/08

С 03с 17/12

Заявлено 30.1,1969 (№ 1303892/29-33) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 12.11.1971. Бюллетень ¹ 8

Дата опубликования описания 20.1 .)971 йомнтвт по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 021.793.14 (088.8) Авторы изобретения

К. В. Бородкин, А. А. Гордеев, Ю. В. Фадеев, П. Н. Фоменко, Л. А. Луковников, Ю. Б. Тарнава и Г. Ф. Зубов."„, (з х ) - 4АЯ

3 аявитель г ° 4: tCA

УСТАНОВКА ДЛЯ ВАКУУМНОГО НАПЬ!ЛЕНИЯ

Изобретение относится к области вакуумных установок и может быть использовано при изготовлении крупногабаритных астрофизических зеркал и т. п.

Известна установка для вакуумного напыления покрытий на подложку, например, из стекла, содержащая камеру, приспособление для крепления подложки, диск с испарнт«лями, контактное устройство.

Целью изобретения является нанесение покрытий на подложку больших размеров. Достигается это тем, что диск с испарителямн установлен с возможностью вращения от гидропривода с помощью кривого вала, iioмещенного в уплотнительную трубку. Контактное устройство установки может быть выно.iнено в виде ротора и корпуса со щеткодержаГ«лямн. Кроме тоги, д;IH нанесения покрытий на обе стороны подложки приспособление для крепления подложки может быть сделано в виде оправы, установленной с возможностью поворота.

На фиг. 1 показана вакуумная установка в разрезе; на фиг. 2 — механизм привода с диском испарителей; на фиг. 3 — вращающееся контактное устройство; на фиг. 4 — гндронасос с электродвигателем; на фиг. 5 оправа для размещения изделий.

Установка состоит из камеры 1 с основанием 2, герметизация по линии разъема которых осуществляется резиновыми шнурами 8.

Иа камере предусмотрена траверса 4 для подъема камеры в момент загрузки изделия.

Внутри камеры имеются кронштейны 5 для установки системы осветителя 6, предназначенного для создания направленного пучка света. Проходя через изделие, пучок света воспринимается приемно-регистрирующей частью 7, чем и осуществляется контроль за

10 толщиной наносимого покрытия. В диске 8 нснарнтел«й, расположенном на центральном валу 9 механизма 10 вращения, испаряемый материал помещен на спецналbíüë лодочках, спиралях н т. д., закрепленных на стол15 бнках 11.

Вращ«ние диски нспарнтелей осуществляется через зубчат1ю пару 12 н кривой вал 18 гндроприводом. включающим в себя гндромогор И, системы трубопроводов н гндрона20 сос 16 с электродвигателем 16. В качестве уплотнения нрн передаче вращения в ; ону вакуума используется кривой вал И, сосгоящий из корпуса 17, валика 18, уплотннтельной резины 19 н подшипников 20.

25 Переда а электроэнерпш на диск нспарнтелей осуществляется вращающимся контактным устройством 21, выполненным в виде ротора 22 и He o Bi rKHOI o корпуса 28 с расположеннымн на нем щеткодержателями 24.

30 Ротор включает в себя пять контактных

295829

20 г5 групп 25, разделенных изоляционными дисками 2б и вращается вместе с диском испарителей. Подача электроэнергии на щеткодержатели производится по шинам 27 от токовводов 28, расположенных в основании камеры. Механизм вращения и контактное устройство крепится в основании камеры к фланцу 29.

Изделия устанавливаются либо на кольцо

80, которое через штанги 81 опирается на кронштейны 82 основания камеры, либо на оправу 88 с вращающимся кольцом 34, установленным в цапфах 85. Для стопорения кольца в рабочем положении предусмотрены упорные винты 86. Закрепление изделия в оправе производится секторами 87. Для предохранения поверхности изделия от сколов предусмотрены амортизирующие прокладки 88. Создание необходимого разрежения в камере осуществляется с помощью вакуумных насосов и агрегатов, подсоединяемых к патрубкам 89.

Описанная установка работает следующим образом.

Изделие, подлежащее покрытию, помещается внутри камеры на опорное кол: цо или оправу. Испаряемое вещество закрепляется на столбиках диска испарителей, После герметизации установки и ее вакуумирования до давления (1 — 5) 10 мм рт. Ст. диск испарителей приводится во вращение с числом оборотов, обеспечивающим нанесение качественного покрытия. При прохождении электрического тока через испаряемое вещество последнее разогревается до температуры возгонки, после чего происходит процесс нанесения покрытия.

Предмет изобретения

1. Установка для вакуумного напыления покрытий на подложку, например из стекла, содержащая камеру, приспособление для крепления подложки, диск с испарителями, контактное устройство, отличающаяся тем, что, с целью нанесения покрытий на подложку больших размеров, диск с испарителями установлен с возможностью вращения от гидропривода с помощью кривого вала, помещенного в уплотнительную трубку.

2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что контактное устройство выполнено в виде ротора и корпуса со щеткодержателями.

3. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью нанесения покрытий на обе стороны подложки, приспособление для крепления подложки выполнено в виде оправы, установленной с возможностью поворота.

295829!

lЕ 5

Техред Л. Л. Евдонов

Редактор Н. С. Коган

Корректоры: М. Коробова и А. Абрамова

Заказ 966/9 Изд. № 390 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытпш прп Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова. 2