Ионно-сорбционный насос

 

ЗОО658

ОЛ ИСАНИ И

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Респу0лнк

К АВТОРСКОМУ СВИДЕУЕЛЬСцзУ

Зависимое от авт. свидетельства № -—

МПК F 04Ь 37 08

Заявлено 18 Xl.1968 (№ 1283421/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опуоликовано 07.IV.1971. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 11.И11.1971.

Коуаитет по делам изобретений и открытий лри Совете Министров

СССР

УЛК 621.528(008.8) Лвторы изобретения

В Е. 1 т1инайчев, С. И. Мирошкин н Г. П. Быков

Заявитель

ИОННО-СОРБЦИОННЫй НАСОС

Известны нонно-сорбционпые насосы с радиальным электростатическим полем, содержащие охлаждаемый корпус (катод), центральный высоковольтный анодный электрод, на котором укреплен геттерный материал, один или несколько источников электронов для Нх инжекции в пространство между катодом и центральным электродом.

Известные насосы имеют корпус с фланцеHpHcoeднненисм I(oTKB Iнваемом объему, поэтому при встраивании их непосредственно в объем вблизи источника газовыделения возникают затруднения, так как оболочка (катод) должна 01>1ть кон центр ич на с анодом с целью создания электростатического поля цилиндрического конденсатора н тщательной экранировки реципиента от распыляемого сорбирующего материала. Корпус насоса и экранировка от запыления уменьшают скорость откачки известных насосов при встраивании их внутрь откачиваемого объема.

Цель изобретения является увеличение эффективной скорости откачки пасоса.

Для этого в предложенном насосе катод выполнен составным в виде охлаждаемых пластин, расположенных Io окружности со взаимным перекрытием, так что между соседнимн пластинами имеется зазор реципиента от сублнмирующего материала и свободный доступ молекул откачнваемых газов к сорбирующнм поверхностям. Благодаря этому обеспечивается экранировка.

На фиг. 1 схематично изображен предложенный насос; на фиг. 2 — схема расположе5 ния электродов.

Насос состоит из корпуса 1 и электродного блока, собранного на отражательной пластине 2. Электродный блок содержит анод 8, укрепленный на высоковольтном изоляторе 4

10 с помощью эксцентрикового зажима 5 и эмиттеров б электронов с токоподводами, Блок электрически изолирован от корпуса керамическIIiIH изоляторами 7. Один из токоподводов 8 является экраном, препятствующим пря15 мому попадани1о электронов на анод. На аноде укреплены равномерно расположенные по сго длине цилиндры 9 из сорбиру1ощего материала. Внутри корпуса смонтирован также третий электрод-сетка 10, имеющий отдельные

20 токоподводы, благодаря чему он используется в качестве прямонакального нагревателя при обсзгаживании электродов насоса.

Корпус насоса состоит из экранов, которые образу,от боковую поверхность цилиндра, вы25 полпякгщую роль катода. Такая конструкция катода не нарушает симметрии радиального электростатического поля, увеличивает производительность насоса при откачивании газов н является одновременно оптически плотной

30 для сублнмнрующего материала, Экранировка

300658 по торцам обеспечивается торцовыми экранами 11 и отражательной пластиной 2. Катод охлаждается средой, подаваемой по трубкам 12, припаянным K отформованным пластинам.

Насос крепится в откачиваемом объеме при помощи вакуумно-плотного разъема 13, который одновременно является водяным коллектором системы охлаждения.

При работе насоса электроны, инжектируемые эмиттером в электростатическое поле цилиндрического конденсатора, образованного заземленным катодом и поло>кительным высоковольтным анодом, двигаются по эллиптическим (круговым) орбитам вокруг анода с большой длиной свободного пробега, ионизируют молекулы остаточного газа и, достигая анода, поддерживают температуру сублимации сорбирующего материала за счет электронной бомбардировки. Активные газы непрерывно сорбируются на охлаждаемых стенках корпуса насоса, а инертные газы ионизируloTcH электронами, x c«opH(QTcH сеткой и «замуровываются» па катоде свеженапыленной пленкой распыляемого материала.

Сетка снижает потенциал межэлектродного пространства, и ионы, образовавшиеся внутри анодно-сеточного промежутка, ускоряются и внедряются в катод, в результате чего повышается скорость откачки по инертным газам.

Предмет изобретения

1. Ионно-сорбционный насос, содержащий

1G цилиндрический катод, соосный с ним анод с запасом сорбирующего материала и источник электронов, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективной скорости откачки насоса, катод выполнен составным в виде ряда ц пластин, располо>кенных по окружности со взаимным, перекрытием так, что между каждыми двумя соседними пластинами имеется щелевой зазор, а совокупность пластин образует оптически непрозрачную систему для молекулярного потока испаряющегося с анода сорбирующего материала.

2. Насос по п. 1, отлича оцийся тем, что каждая катодная пластина закреплена на полой трубке, служащей для охлаждения пляс25 тины.

300658

Фиг. 3

Составитель Г. Жукова

Техред Л. Л. Евдоиов Корректор А. П. Васильева

Редактор Т. Орловская

Загорская типография

Заказ 2794 Изд. № 513 Тира>к 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете,Ыинистров СССР

Москва, Ж-35, Раушская раб., д. 4/5

Ионно-сорбционный насос Ионно-сорбционный насос Ионно-сорбционный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно для получения сверхвысокого вакуума

Изобретение относится к экспериментальному оборудованию, в частности к насосам для откачки газа из вакуумных камер и аэродинамических труб

Изобретение относится к области управляемого термоядерного синтеза и предназначено для поддержания требуемого вакуума в термоядерной установке и удаления из нее продуктов синтеза (Не3, Не4) и остатков топлива (Д,Т)

Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях, например, при вакуумировании теплоизоляционных полостей в криогенных емкостях

Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях, например, при вакуумировании теплоизоляционных полостей в криогенных емкостях

Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях

Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях

Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях
Наверх