Калориметрический способ измерения толщиныпленки

 

О П И С А Н И Е 3!6928

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Оввз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 20.И.1970 (№ 1428416/25-28) ИПК б Olb 15(02 с присоединением заявки ¹

Комитет по делам иеобретеиий и открытий при Совете Мииистрае

СССР

Приоритет

Опубликовано 07.Х.1971. Бюллетень ¹ 30

Дата опубликования описания 28.Х.1971

УДК 531.7.621.9.08:531..717.1 (088.8) Автор изобретения

А. А. Биршерт

Заявитель

КАЛОРИМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ПЛЕНКИ

Изобретение касается измерения толщин пленок, наносимых на какой-либо материал.

Известны калориметрические способы измерения толщины пленки в пакете с использованием потока тепловой энергии, заключающийся в том, что пленки в пакете прокладывают термочувствительными элементами, например резисторами, и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине пленки.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что с целью контроля толщины напыляемых одна на другую пленок контролируемую пленку напыляют на слой напыленного термочувствительного элемента, облучают ее и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине данной пленки, а затем напыляют на нее следующий термочувствительный элемент, аналогично контролируя следующую пленку.

Предлагаемый способ поясняется чертежом.

На подложку 1, предназначенную для несения пленки 2, наносят напылением термочувствительный элемент 8, (например, резистивный), который подсоединяют электрически к показывающему прибору или индикатору (на чертеже не показан).

На термочувствительный элемент наносят напылением диэлектрическое покрытие 4, обязательное, если контролируемая пленка электропроводна. При этом толщина диэлектри5 ческого покрытия должна быть такой, чтобы ее теплоемкость была возможно меньше теплоемкости наносимого слоя.

3 атем наносят напылением пленку 2. После этого получают пакет импульсным источ1О ником 5 инфракрасного излучения, регистрируя реакцию термочувствительного элемента, по которой судят о толщине пленки 2.

На этом заканчивается контроль толщины пленки.

15 При необходимости проконтролировать несколько слоев напыляемых одна на другую пленок, операции, аналогичные описанным, производят последовательно по мере напыления каждого слоя, т. е. основой для напыления термочувствительного элемента на каждом этапе напыления очередной пленки служит уже напыленный пакет.

Предмет изобретения

Калориметрический способ измерения толщины пленки в пакете с использованием потока тепловой энергии, заключающийся в том, что пленки в пакете прокладывают тер3Q мочувствительными элементами, например

Составитель В. Мазина

Техред T. Т. Ускова Корректор H. С. Шевченко

Редактор О. Юркова

Заказ 3047/12 Изд. № 1293 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 резисторами, и регистрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине пленки, отлича>ощийся тем, что, с целью контроля толщины напыляемых одна на другую пленок, контролируемую пленку напыляют на слой напыленного термочувствительного элемента, облучают ее и реГHстрируют сигнал термочувствительного элемента, по которому судят о толщине данной пленки, а затем напыляют на нее следующий термочувствительный элемент, аналогично контролируя следующую пленку.

Калориметрический способ измерения толщиныпленки Калориметрический способ измерения толщиныпленки 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения толщины покрытий на подложках (в том числе и многослойных)

Изобретение относится к газо- и нефтедобыче и транспортировке, а именно к методам неразрушающего контроля (НК) трубопроводов при их испытаниях и в условиях эксплуатации

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного контроля уменьшения толщины реборды железнодорожных колес подвижных составов

Изобретение относится к бесконтактным методам определения толщины покрытий с помощью рентгеновского или гамма-излучений и может быть использовано в электронной, часовой, ювелирной промышленности и в машиностроении

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для автоматического бесконтактного измерения износа толщины реборды железнодорожных (ЖД) колес подвижных составов

Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля, а именно к радиоизотопным приборам для измерения толщины или поверхностной плотности материала или его покрытия

Изобретение относится к области неразрушающего контроля тепловыделяющих элементов (твэлов) ядерных реакторов, изготовленных в виде трехслойных труб различного профиля и предназначено для автоматического измерения координат активного слоя, разметки границ твэлов, измерения равномерности распределения активного материала по всей площади слоя в процессе изготовления

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения толщины покрытий на подложках

Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть использовано для определения толщины стенок, образованных криволинейными поверхностями (цилиндрическими, сферическими и др.) в деталях сложной несимметричной формы
Наверх