Раствор для избирательного травления алюминия
О П И С А Н И Е 348645
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 31.VIII.1970 (№ 1470916/22-1) М. Кл. С 23f 1)02 с присоединением заявки №вЂ”
Комитет по делам изобретений и открытий прн Совете Министров
СССР
Приоритет
Опубликовано 23Х111.1972. Бюллетень № 25
Дата опубликования описания 7,IX.1972
УДК 621.794.424(088.8) Авторы изобретения
Б. Е. Раснецова, Г. Я. Колмакова, Г. М. Белевич и А. М. Сопокнна
Заявитель
РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ
АЛЮМИНИЯ
Пример 1. Травление
15 ре следующего состава, г:
Хромовый ангидрид
Фторид натрия
Бромид кадмия
Крахмал
20 Вода проводят в раство50
0,1 до1л
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для изготовления тонкопленочных конденсаторов, элементов контактов для схем микроэлектроники и т. д.
Известен раствор для избирательного травления алюминия, содержащий хромовый ангидрид и соединение фтора.
Предложенный раствор отличается от известного введением в его состав коллоида и соли кадмия, а в качестве, соединения фтора — фторид щелочного металла при определенном соотношении компонентов, что обеспечивает воспроизводимость процесса.
Раствор содержит хромовый ангидрид, фторид щелочного металла, коллоид и соль кадмия при следующем соотношении компонентов, г/л:
Хромовый ангидрид 40 — 80
Фторид щелочного металла 5 — 15
Коллоид (сухое вещество) 0,1 — 5
Соль кадмия 20 — 40
Вода Остальное
Раствор приготавливают путем растворения хромового ангидрида, фторида и соли кадмия в воде и введения в приготовленный раствор коллоида. После приготовления раствор необходимо выдержать в течение суток в закрытом фторопластовом сосуде при комнатной температуре, после чего раствор готов к работе.
В качестве фторида могут применять фториды натрия, калия и аммония. В качестве кол5 лоида используют раствор жидкого стекла (ТУ-103 — 62), декстрин или крахмал. Соль кадмия добавляют в раствор для повыше:п1я стойкости используемых фоторезистов в травителе. Для этой же цели можно использовать
10 соли кобальта. В качестве солей кадмия пли кобальта могут быть применены ацетаты илп бромпды. при комнатной температуре.
Время травления пленки толщиной 2,4 лтк—
2 лтик 15 сек при перемешивании, Данный со25 став обеспечивает качественное воспроизведение микрорельефа со штрихамп Зу200 льк с использованием фоторсзистов ФП-ЗЗЗВ и ФП383 (НИОП и К) .
Пример 2. Травление проводят в раствоЗО ре следующего состава, г:
348645
Предмет изобретения
Хромовый ангидрид
Фторид аммония
Жидкое, стекло
Ацетат кадмия
Вода
0,4
34 до 1 л при комнатной температуре.
Составитель В, Лебедева
Техред Л. Куклина
Редактор О. Филиппова
Корректор T. Китаева
Заказ 2876, 15 Изд. № 1193 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )i(-35, Раушская паб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Время травления пленки толщиной 2,4 мк—
2 мин 15 сек при перемешивании. Состав обеспечивает качественное воспроизведение штрихов З>(300 мк с фоторезистами ФП-ЗЗЗП, ФП-383 (НИОП и К) и ФП-383 (ЭЛМА).
Раствор для избирательного травления алюминия, содержащий хромовый ангидрид и
5 соединение фтора, отличающийся тем, что, с целью обеспечения воспроизводимости процесса, в его состав введены коллоид и,соль кадмия, а в качестве соединения фтора — фторид щелочного металла при следующем соотноше10 нии компонентов, г/л:
Хромовый ангидрид 40 — 80
Фторид щелочного металла 5 — 15
Коллоид (сухое вещество) 0,1 — 5
Соль кадмия 20 — 40
Вода Остальное
