Патент ссср 354016
(:oIos Соеетских
Социалист11ческих
Республик
Зависимое от авт. свидетельства М
Зачвлсно 12.111.1970 (М 1413909/22-1) М. Кл. С 23с 13 08 с IIPIlcoQJIIIIBIIIIL>м занвки, Й
Приоритет
Опубликовано 09.Х.1972. Б1ол.лстснь ЛЪ 30
Комитет по делам изобретений и аткрьлий гl,li 621 79 ) 06(088 iN) Заявитель
Томский институт радиоэлектроники и электронной техники
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННОГО ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК
HA ЦИЛИНДРИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ
Изобретение относится к области нанесенияя покрытий в вакууме.
Известно устройство для ионного оса>кдсния пленок на цилиндрические поверхности, содсрн(ан(сс кольцевую газоразрядную камеру, испаритсль, анод, держатель детали и катодllh10 электроды.
Цель изобретения — повысить скорость нанесения пленки.
Это достигается тем, что нспаритсль выПОЛН Н В ВИДЕ КОЛЬЦСВОГО I(OIITCIIIICP3 Н COвмсщсн с цилиндрическим анодом, обхватыВ3ЮЩИХ1 1(3ТОДН Ы С ЭЛСКТРОД1>1, М Е)КДУ 1(ОТОрымн имеется кольцевой зазор для выхода ионов, а обрабатываемая ..(сталь размещена на оси камеры н нмсст отрицательный потенциалл.
I I a черте не п рсдстав. lcí 3 схс>13 про> I JI 313смого устройства.
Оно состоит из камеры, образованной катодными электродами 1 н цилиндрическим анодом 2, иснарнтсля, ) и держателя 4 детали 5. Испаритель ) выполнен в вндс кольцевого контейнера и совмещен с цилиндрическим анодом 2, обхватывающим катодные электролы 1, между которыми имеется кольцевой зазор для выхода ионов, а обрабатываемая деталь размещена на оси камеры и имеет отрицательный потенциал.
Для облегчения условий зажигания и повышеllllll степени нонизацни плазмы газоразрядная камера помещена в кольцевое магнитное поле, создаваемое магнитами нли соленоидом.
При давлении 10 — 4 — 10 —" тор металл в нспарнтслс нагревается до температуры, прн которой давление паров достигает 10 - —
10 — тор, на анод и катод подастся постоянное напряжение 200 — 600 в, и в П3рах металла в газоразрядной камере зажигается разряд.
Благодаря наложению магнитного ноля увеличивается длина пробега электронов, образовавшихся при ион изацни, движущихся по цнклондсальным траекториям н совсршаюнп1х колсоа пня между катодны .,Ill элсктродамн 1, претерпевал большое число столкновений с атомами металла, что приво (нт к повышению степени ноннзацнн. I()III,I металла под действием отрицательного потенциала об рабаты ваемоll:(c. T3 Ill извлекаются из Il:I il:Iмы через щслевой зазор между катодными электродами и, двигаясь по силовым линиям электрического на поверхность детали, образуя плеш(у. Скорость ионов, достигающих детали, зависит от разности потенциалов между катодом н деталью.
При малых скоростях ионы прн осаждении внедряются в поверхностный слой детали, 30 благодаря чему повышается прочность сцеп354016
Предмет изобретения
О о
Составитель И. Резник
Текрсд Е. Борисова
Редактор Т. Фадеева
Корректоры: Т, Медведева и T. Гревцова
Заказ 3581, 7 Изд. № 3473 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 ления пленки с подложкой. Ионы с энергиями оолее 10 кэв, внедряясь в поверкиостцый слой детали, производят его лсгироваиис.
Устройство для ионного осаждения пленок иа цилиндрические поверкиости, содержащее кольцевую газоразрядпую камеру, образованную катодиыми электродами и цилиидрическим анодом, испаритель и держатель детали, отличающееся тем, что, с целью повышепия скорости нанесения пленки, испари1ель выполнен в виде кольцевого контейнера и совмещен с цилиндрическим анодом, обхватывающим катодныс элскгроды, между которыми имеется кольцевой зазор для выхода ионов, а обрабатывас IHB деталь размещена иа оси камеры и имеет отрицатсльиый потеи10 циал.
