Ионно-сорбционный насос орбитронного типа

 

дС СОЮ-.у| я

ОЛИСАНЙЕ

Союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. F 04Ъ 37/00

Н Olj 41/00

Заявлено 26Х1.1970 (№ 1452803/26-25) с присоединением заявки ¹â€”

Приоритет

Опубликовано 09.X.1972. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 2З.Х1.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистрса

СССР

УДК 621.521 (088.8) Авторы изобретения

В. А. Ушаков, И. Б. Анохин и Г. Ф, Ивановский

Заявитель

ИОННО-СОРБЦИОННЪ|Й НАСОС ОРБИТРОННОГО ТИПА

Изобретение относится к электрофизическим средствам о качки, более точно, к ионно-сорбционным вакуумным насосам орбитронного типа.

Данные насосы находят применение при производстве электровакуумных приборов, а также в тех областях технички, где недопустимо применение магнитных полей, например в ускорителях.

Известны насосы орбитронного типа с испар|ителем в виде одной или нескольких втулок из геттерного материала, закрепленным на стержне анода, расположенного по оси насоса, в дополнительные прям онакальные испарители или испарители с косвенным накалом. Однако их наличие в объеме насоса резко ухудшает ионизац ионные характеристики насоса.

При работе в области сверхвысокого вакуума, особенно при применении азотного охлажден ия, необходимо стрем иться к снижению тепловыделения, а, следовательно, к уменьшению поверхности (и соответственно объема и количества) испарителя при сохранении удельной подводимой мощности. Однако, это приводит к уменьшению общего запаса геттерного материала и тем ухудшает эксплуатац ионные характеристики насоса.

Цель изобретения — увеличение времени работы насоса без вскрытия для замены испарителей с сохранением высокого предельного вакуума.

Поставленная цель достигается тем, что в насосе создано дополнительное пространство, 5 ограниченное торцевым отражателем, через отверстие которого проходит анод. На участке анода, расположенном в этом дополительном пространстве размещен ряд втулок, изготовленных из одного или различных геттерных материалов.

Втулками удерживаются ограничительными припоями или несколькими витками тонкой проволоки из легкоплавких металлов илн сплавов, которые имеют разную температуру плавления. Ограничительные припои размещаются последовательно, по возрастанию температур плавления.

Стержень анода закреплен с двух сторон насоса на изоляторах.

Имеется устройство, позволяющее подавать на анод последовательно различные величины мощности накала соответствующие температуре плавления каждого ограничительного припоя.

После испарения втулки, расположенной в рабочей части насоса, через анод пропускается прямой ток, припой расплавляется и втулка проваливается сквозь отверстие в торцевом отражателе, занимая место на рабочей части анода.

354175

Предмет изобретения

Составитель Г. Жукова

Техред 3. Тараненко

Корректор Л, Бадылама

Редактор Л. Мазуронок

Заказ 480/1856 Изд. № 1408 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета .по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк, фил. пред. «Патент»

Благодаря применению нескольких испарительных втулок можно увеличить срок службы насоса до вскрытия во столько раз, сколько размещено испарительных втулок.

На чертеже дано схематическое изображение общего вахида насоса в разрезе.

Внутренний объем насоса цилиндрической формы 1 разделен на две зоны торцевой перегородкой 2 с центральным отверспием 3, Анод

1 в виде стержня закреплен с двух сторон на высоковольтных вакуумных вводах. По нему можно пропускать прямой ток накала с заданным значением мощности для последовательного расплавления ограничителей. Испарительные втулки 5 и б расположены на аноде, причем одна,из них 5 расположена в рабочей зоне насоса, где действует электростатическое поле цилиндрической симметрии, а остальные выведены за пределы рабочей зоны.

Втулки б свободно сидят на стержне анода. Их падению препятствуют отпорные припои 7, 8 и т. д., имеющие разную температуру плавления. После испарения основной, первой втулки с анода снимается высокое напряжение U, по нему пропускаютток накала. Припой 7 расплавляется и втулка 6 под собственным весом проваливается через отверстие

3 в,пластине 2 и занимает место на рабочей части анода. Ток накала отключается и на анод подается высокое напряжение — насос готов к работе.

Далее операции проводятся в той же последовательносви.

Ионно-сорбционый насос орбитронного типа, содержащий стержневой анод с закрепленными на нем втулками из сорбирующего материала, отличающийся тем, что, с целью повышения времени непрерывной работы насоса, его внутренний объем разделен на рабочую и вспомогательную зоны перегородкой с огверстием, через которое проходит анод, а сорбирующие втулии распределены на аноде так, что первая расположена в рабочей зоне на соса, а другие — во вспомогательной зоне и закреплены с помощью припоев, температура плавления которых увеличивается по мере удаления от первой втулки.

Ионно-сорбционный насос орбитронного типа Ионно-сорбционный насос орбитронного типа 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно для получения сверхвысокого вакуума

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно для получения сверхвысокого вакуума

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Наверх