Способ изготовления оптической дифракционной решетки
В 1;. (р» .»pp, »» = % йА ;= "
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ
36I598
Союз Саветскик
Социалистических
Республик
Зависимый от патента №
Заявлено 18.Х11.1968 .(ле 1291510/26-25)
Приоритет 20.I,1968, № P 1622834.5, ФРГ
М. Кл. G 02Ь 5/18
Комитет по делая изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 07.Xll 1972. Бюллетень № 1 за 1973 г.
Дата опубликования описания 30.1.1973
УДК 535(088.8) Авторы изобретения
Иностранцы
Иоханнес Хайденхайн, Хорст Буркхардт и Хайнц Краус (Федеративная Республика Германии) Иностранная фирма
«Др. Иоханнес Хайденхайн> (Федеративная Республика Германии) Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ
ОПТИЧЕСКОЙ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ
Изобретение относится к оптико-механической промышленности и может быть использовано при изготовлении рельефных дифракционных решеток.
Известен способ изготовления оптической дифракционной решетки путем экспозиции фотопластины световым потоком, падающим на нее через амплитудную решетку — оригинал. Этим способом получают только плоские амплитудные решетки — фотокопии оригинала.
Предложенный способ позволяет изготовить дифракционную решетку с рельефным профилем заданной формы благодаря тому, что фотопластину перемещают относительно параллельных полос света, проникающего сквозь щели оригинала, по заданной траектории, при этом скорость движения и интенсивность экспонирующего света изменяют в соответствии с формой рельефа. Затем удаляют неэкспонированные участки фотослоя пластины вытягиванием и получают решетку с рельефным профилем.
Кроме того, фотопластину могут соединять с оригиналом без зазора и поворачивать относительно оси, параллельной полосам света, на такой угол, чтобы начальное и конечное положения лучей света, прошедших через оригинал и попавших в фотослой, ограничивали заданный профиль рельефа.
На фиг. 1 показано положение фотопласти5 ны с оригиналом относительно светового потока; на фиг. 2 — график, характеризующий изменение скорости перемещения v фотопластины относительно полос света (s — величина перемещения); на фиг. 3 — график, 10 характеризующий изменение интенсивности света 1 в процессе перемещения фотопластины; на фиг. 4 — начальное и конечное положения фотопластины с оригиналом при их совместном повороте относительно падающего
15 света; на фиг. 5 — готовое изделие — фотопластина с треугольным рельефным профилем.
Фотопластину 1 (см. фиг. 1) поворачивают светочувствительным слоем к оригиналу 2, 20 представляющему собой амплитудную решетку с прозрачными параллельными щелями 8 или интерференционными полосами.
Фотопластину устанавливают перед ориги25 налом, на который падает параллельный пучок света 4, с минимальным зазором, обеспечивающим свободное перемещенне фотопластины поперек щелей оригинала с помощью микронривода, например .пьезоэлектрического
30 или магнитострикционного. Ширина щелей
361598
Фиг 5 оригинала определяется необходимой точностью выполнения рельефного профиля.
Для изготовления рельефной решетки перемещают фотопластину по стрелке А поступательно или вращают ее относительно оси, параллельной щелям 8, изменяя ее скорость по определенному закону (см. график на фиг.2) для получения заданного профиля почернения участков фотослоя, при этом изменяют и интенсивность экспонирующего света (см. график на фиг. 3). Неэкспонированные участки фотослоя пластины удаляют вымыванием, и после проявления получают рельефный профиль заданной формы, который может быть закреплен, например, металлизацией.
Треугольный профиль на фотопластине (см, фиг. 4) может быть получен, если ее соединяют с оригиналом, имеющим щели, без зазора и совместно поворачивают относительно оси, параллельной щелям, на такой угол, чтобы лучи света, прошедшие через щели, описали внутри фотослоя треугольники необходимой величины.
Получают почернения на фотослое треугольной формы с вершиной, лежащей у щелей.
Предмет изобретения
1. Способ изготовления оптической дифракционной решетки путем экспозиции фотопластины световым потоком, падающим на нее через амплитудную решетку — оригинал, отличающийся тем, что, с целью получения на изготовляемой решетке рельефного профиля заданной формы, фотопластину перемещают
10 относительно параллельных полос света, проникающего сквозь щели оригинала, по заданной траектории, при этом скорость движения и интенсивность экспонирующего света изменяют в соответствии с формой рельефа, 15 затем удаляют неэкспонированные участки фотослоя пластины вымыванием, получая рельефный профиль решетки.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения треугольного рельефного
20 профиля, фотопластину соединяют с оригиналом без зазора и поворачивают совместно относительно оси, параллельной полосам света, на такой угол, чтобы начальное и конечное положения лучей света, прошедших через
25 оригинал и попавших в фотослой, ограничивали заданный профиль рельефа.
361598
Фа г. 5
Составитель Л. Гойхман
Техред А. Евдонов
Редактор Т. Орловская
Корректор Т. Гревцова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 70/16 Изд. № 76 Тираж 403 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5
