Способ инфракрасного контроля качества многослойных пленочных электронных схем
382093
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республии
Зависимое от авт. свидетельства ¹
М. Кл. G 06f 15/46
G 05Ь 23i02
Заявлено 22ЛЧ.1971 (¹ 1648283/18-24) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 22.Ч.1973. Бюллетень № 22
Дата опубликования описания 16.VIII.1973
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 620.179.1,3 (088.8) Автор изобретения
И. А, Майсов
Заявитель
СПОСОБ ИНФРАКРАСНОГО КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА
МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ СХЕМ
Изобретение относится к области контрольн о-,измерительной техники и может быть применено для инфракрасного контроля электрических схем, например многослойных пленочных электронных схем.
Известен способ неразрушающего инфракрасного контроля температурных полей радиоэлектрон ных схем, основанный на сканировании их поверхности в рабочем режиме и сравнении записанного на бумагу температурного поля в виде профилей по линиям сканирования с записями, полученными с эталонной схемы.
Однако этот способ непригоден для контроля многослойных электронных схем из-за эк,ранизации в рабочем режиме нижних слоев верхними .и неопределенности результатов контроля слоев при сканировании поверхности схем.
Предлагаемый способ контроля качества многослойных пленочных схем отличается от известного тем, что для разогрева отдельных элементов схемы, расположенных в различных слоях, ута контролируемую схему подают дозированные по мощности импульсы электрического тока согласованно со сканированием по каждой линии поверхности схемы.
Это позволяет повысить точность и скорость контроля, чему способствует охлаждение нагреваемых участков схемы потоком воздуха.
Схема устройства, поясняющая реализацию предложенного способа, изображена на чертеже.
На чертеже приняты следующие обозначения: 1 — контролируемая схема; 2 — каретка;
3 и 4 — кулачки; 5 — барабан, б — магнитная лента; 7 — бобины; 8 — головка записи, считывания и стирания программы сигналов,на подачу импульсов тока для разогрева элементов схемы; 9 — головка записи, считывания iH сти;
10 рания эталонного сигнала; 10 — головка записи, считывания,и стирания сигналов с величинами допусков; 11 — электронная вычислительная машина (ЭВМ); 12 — шланг с многожильным кабелем; 13 — объектив инфракрас15 ного радиометра; 14 — модулятор; 15 — приемник инфракрасного излучения; 1б — усилитель.
Устройство работает следующим образом.
При вращении кулачков 8 и 4 каретка 2
20 с испытуемой схемой 1 перемещается по координатам Х и У. Одновременно перемещается лента б с трехдорожечной записью. ЭВМ 11 через кабель 12 подает на выводы схемы 1 разогревающие электрические импульсы. Ин25 фракрасный радиометр, состоящий из элементов 18 — 1б, преобразует тепловую радиацию элементов схемы в электрический сигнал и подает его в ЭВМ 11.
Полученный при многократном сканирова30 нии электрический сигнал от каждого элемента поверхности схемы сравнивают с эталон,38209,3
Предмет изобретения
Составитель Г Лебедев
Редактор Б. Нанкина Техред E. Борисова Корректор О. Усова
Заказ 2181/14 Изд. Ао 1504 Тираж 647 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва. Я-35, Раушская наб., д 4/5
Типография, пр Сапунова, 2 ным сигналом, а выявленную путем вычитания сиги алов разность сравнивают с периодически изменяющимся эталонным сигналом величины допуска на отклойение значений тепловой радиации от каждого участка схемы по литаниям сканирования. Таким образом, появляется возможность за несколько повторных сканиронаний рационально проконтролировать тепловыделение элементов со всех пленочных слоев схемы, Обдув схемы потоком охлаждающего воздуха ускоряет процесс диагностики состояния исследуемых схем.
Способ инфракрасного контроля качества многослойных пленочных электронных схем путем сканировакия их поверхности в потоке охлаждающего воздуха и сравн ения,полученных сигналов с эталонными сигналами, отличающийся тем, что, с целью .повышения точности и быстродействия контроля качества, син10 хронно со сканированием на элементы контролируемых слоев схемы подают дозированные по мощности импульсы электрического тока.
