Геттерно-ионньш насос

 

О П И С А Н И Е 382I7l

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АИОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 01.1I.1971 (№ 1629455/26-25) М. Кл. Н Olj 41/00 с присоединением заявки №вЂ”

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Приоритет

Опубликовано 22Х.1973. Бюллетень ¹ 22

УДК 621.528.5 (088.8) Дата опубликования описания 13. у III.1973

Авторы изобретения А. С. Назаров, И. Б. Анохин, Г. Ф. Ивановский и Л. Б. Толмачев

Заявитель

ГETTEPHO-ИОННЫЙ НАСОС

Предмет изобретения.Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно — к конструкциям геттерно-ионных насосов с |ионизацией в элекгростатическом поле цилиндрической симметрии.

Известен геттерно-ионный насос с иоиизацией в электростатическом поле цилиндрической симметрии, содержащий катод, анод, штабик геттерно|го материала, в котором, чтобы н е нарушать симметрии электростатического поля и получить более эффективную ионизацию молекул остаточного газа, геттерный материал расположен вне области истнизации, а регулировка скорости испарения геттера осуществляется за счет изменения тока нити накала дополнительного катода.

Недостатком известной конструкции является трудность в обеспечении стабильности испарения геттерно-о материала, так как в процеосе работы насоса меняются геометрические размеры поверхности испарения, а следовательно, меняется подводимая удельная мощность нагрева.

Цель изооретения — повышение стабильности испарения геттерного материала путем обеспечения постоянной площади поверхности испарения.

Отличие устройства, выполненного согласно изобретению, состоит в том, что штабик геттерного материала размещен соосно с анодом и окружен теплозащитными экранами, пре= пятствующнмн попаданию электронов на боковую поверхность штабика.

На чертеже представлена конструкция

5 предлагаемого насоса.

Вдоль оси цилиндрического корпуса насоса 1 расположен анод 2 в виде тонкого стержня, служащий для создания поля ионизации.

В торце насоса размещен прямонакальн ый

10 катод 3, ис пускающий электроны, которые движутся вдоль анода по эллиптическим винтовым траекториям, ионизируя остаточные газы. Штабик 4 геттерного материала размещен соосно с анодом и обращен к нему тор15 цом. Вокруг штабнка расположены теплозащитные экраны 5, препятствующие попаданию электронов на боковую поверхность штабика. Электроны попадают лишь на торцовую часть штабика, с которой происходит испаре20 ние геттера. В процессе испарения геометрия поверхности испарения геттера остается не= нзменной. что обеспечивает стабильный ре= жим работы. Скорость испарения геттера регулируется изменением потенциала на шта25 бике 4

Геттерно-ионный насос с понизацией в элек30 тростатическом поле цилиндрической симмет382171

Составитель Н. Дудкина

Техред Т. Ускова

Корректор Е. Зимина

Редактор Б. Нанкина

Заказ 2197/7 Изд. № 1524 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типогоафия, пр. Сапунова, 2 рии, содержащий катод, анод,,штабик геттерного материала, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности испарения геттерното материала, штабик теттерного материала размещен соосно с анодом и окружен теплозан,итными экранами, препятствующими попаданию электронов на боковую поверхность штабика.

Геттерно-ионньш насос Геттерно-ионньш насос 

 

Похожие патенты:
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д

Изобретение относится к области металлургии, а именно к геттерным устройствам, изготовленным из геттерных сплавов

Изобретение относится к вакуумной технике

Изобретение относится к технической физике и может быть использовано в газонаполненных счетчиках излучения
Наверх