Устройство для катодного распыления материалов

 

о

0 Г1 Я;С-А Н И Е 405215

И3ОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К ЙАТВНТУ

3dвнспмыЙ от патента №вЂ”

М Кч С 23с 15 ОО.Заявлено 04.Vll.1971 (№ 1659441/22-1) Приоритет 10.VI1.1970, № 7026730, Франция государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 22.Х.1973, Бюллетень № 44

УДК 621.793 12.002.51 (ОЫг) Дата опубликования описания 10.VII.1974.

Иностранцы

Пьер Лаведан и Робер Мазотти (Франция)

Иностранная фирма

«Прожиль» (Франция) Авторы изобретения

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ

МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в в; цуме и может быть применено для получения тонкоплено пых покрытий на металлических подложках методом катодного,распыления.

Известно устройство для катерного распыления материалов, содерж а,ге вакуумную камеру, внутри которой укреплены катоды, механизм перемещения металлических подло>кек, и блок ионной очистки.

Цель изобретения — проведеfi.:. последовательных стадий очистки и распыления -одновременно на обеих сторонах подлож:;;, чего не позволяет известное устройство.

Для этого механизм перемещения в предлагаемом устройстве выполнен в виде установленных на направляющих рельсах тележек, блок очистки снабжен заслонками, электрически соединенными с камерой, причем катоды и заслонки смонтированы по обе стороны механизма перемещения, а тележки и катоды соединены с источником переменного .напряжения.

На фиг. 1 и 2 представлено предлагаемое устройство для катодного распыления материалов.

Устройство состоит из вакуумной камеры 1, внутри которой укреплены катоды 2, 8, 4, 5, механизм перемещения металлических подложек 6, 7, выполненный в виде установ2 ленных на направ IHIQIlll:x рельсах 8, 9 теле>яках 10, 11, и блока очистки, снабженного заслонками 12, 18, 14 и 15, электрически соединенными с камерой 1. Катоды 2, 8, 4, 5 и заслонки 12, 18, 14, 15 смонтированы по обе стороны механизма перемещения. Тележки

10, 11 и катоды 2, 8, 4, 5 соединены с источником переменного напряжения.

Устройство работает следующим обра"эм.

Металлические подложки 6 и 7 укрепляют вертикально на тележках 10, 11 и помещают каждую между двумя заслонками 12, 18, 14 и 15. Затем камеру 1 откачивают до необходимого давления и заполняют рабочим газом.

15 Каждая подложка посредством тележек 10 и

11 соединена с источником переменного напряжения, величина которого — порядка

3000 — 4000 в. Во время соответствующего no,-i.Iпериода каждая подложка является катооп дом и испаряется на заслонках 12, 18, 14 и

15, которые охлаждаются циркулирующей водой.

Этот процесс составляет стадию очистки методом ионной ломбардировки, которая со25 провождается повышением температуры подложек до 300 — 500 С.

Затем подложки отключают от источника высокого напряжения и посредством тележек 10 и 11 устанавливают в новое положение между катода;;iI 2, 8, 4, 5, причем под4052i5

3 ложки оказываются в положении анодов, связанных с камерой посредством тележек. Металл катодов 2,8,4 и 5 напыляется на обе стороны подложек в разреженной атмосфере.

1 атоды охлаждаются в нутренней циркуляцией жидкости диэлектрика.

После окончания процесса открывают днище камеры; тележки возвращают в исходное положение; обработанные подложки вынимают и заменяют новыми для возобновления цикла, Предмет изобретения

Устройство для катодного распыления материалов, содержащее вакуумную камеру, 4 внутри которой укреплены катоды, механизм перемещения металлических подложек, и блок очистки, отличающееся тем, что, с целью проведения последовательных стадий очистки и распыления одновременно на обеих сторонах подложки, механизм перемещения выполнен в,виде установленных HB направляющих рельсах тележек, блок очистки снабжен заслонками, электрически соединенными с каla мерой, причем катоды и заслонки смонтированы по обе стороны механизма перемещения, а тележки и катоды соединены с источником переменного напряжения.

405215

Составитель Л. Анисимова

Техред Г. Васильева Корректор Л. Орлова

Редактор Е. Шепелева

Загорская типография

Заказ 1773 Изд. № 1139 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5