Патент ссср 413273

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН И Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистимескин

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. F 04Ь 37/02

Заявлено 08.I I.1971 (№ 1623651/23-26) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 30.1.1974. Бюллетень ¹ 4

Дата опубликования описания 11 VI.1974

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам ивооретений н открытий

УДК 621.528(088.8) Автор изобретения

А. М. Говоров

Объединенный институт ядерных исследований

Заявитель

СПОСОБ ВАКУУМНОЙ ТРЕНИРОВКИ АДСОРБЦИОННЫХ

НАСОСОВ И ЛОВУШЕК

Изобретение относится к области вакуумной тренировки адсорбционных насосов и ловушек.

Известен способ вакуумной тренировки адсорбционных насосов и ловушек, состоящий из: предварительного цикла (откачка до

1. 10 — торр при одновременном прогреве до

360 — 400 С, охлаждение на воздухе до 60—

80 С и промывка сухим азотом при атмосферном давлении) и заключительного цикла (откачка при прогреве с параметрами предваризсльного цикла, откачка до высокого вакуума при остывании насоса или ловушки на воздухе до 50 — 60 С). Предварительный цикл тренировки повторяется несколько раз.

11едостатками известного способа являются сложность процесса, а также разнесение адсорбеитной пыли по вакуумной системе на стадии промывки сухим азотом.

Предлагаемый способ отличается тем, что откачку прп нагреве чередуют с глубоким охлаждением насосов и ловушек, например, с помощь1о жидкого азота.

По предлагаемому способу в отличие от известного отсутствует стадия промывки сухим воздухом и ликвидируется разнесение адсорбептпой пыли по вакуумной системе.

Кроме того, при одинаковом времени тренировки предлагаемый способ позволяет получить в два раза лучший вакуум, чем по известному способу.

Пример. Адсорбционный вакуумный насос типа НАУ откачивают форвакуумным насосом при 360 — 400 С до 1 10 — торр. Затем откачку прекращают и вакуумноизолированный адсорбционный насос охлаждают

10 до температуры жидкого азота. После этого адсорбционньш насос вновь нагревают до

360 — 400 С и откачивают форвакуумным насосом. Предварительный цикл повторяют три раза. На заключительном этапе насос отка1S чивают до высокого вакуума при остывании на воздухе до 80 — 100 С.

В результате проведенной тренировки насоса НАУ через 2 час после начала охлаждения жидким азотом достигают давления

6 10- торр. После тренировки насоса этого типа по известному способу (время тренировки и число циклов на предварительном этапе одинаковы) через 2 час после начала охлаждения жидким азотом достигают давления

2р 1 10 — торр.

Сравнительные испытания двух способов тренировки осуществляют на насосах, ранее использовавшихся для откачки и частично потерявших свою адсорбционную способ30 ность, 413273

Предмет изобретения

Составитель Б. Рахл уков

Техред Е. Борисова

1 едактор К. Вейсбейн

Корректор Е. Зил1ина

Заказ 1316/6 Изд. № 1206 Тираж 651 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Способ вакуумной тренировки адсорбционпых насосов и ловушек путем многократной откачки при нагреве и высоковакуумной откачки при остывании, отл и ч а ю щи йс я тем, что, с целью улучшения достигаемого вакуума и упрощения процесса, откачку при нагреве чередуют с глубоким охлаждением насосов и ловушек, например, с помошьи жидкого азота.

Патент ссср 413273 Патент ссср 413273 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх