Магнитный электроразрядный насос^sli ^-'eiiiei
(11) 433568
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советский
Социалистических
Реслублик (61) Зависимое от авт. свидетельства (72) Заявлено 27.09.71 (21) 1702897/26-25 (51) М. 1;л. Н 011 41 00 с присоединением заявки №
Государственный комитет
Совета Министров СССР оо делам иэаоретений и открытий (32) Приоритет
Опубликовано 25.06.74. Бюллетень Ъ 23
Дата опубликования описания 25.12.74 (53) УДЕ 621.385(088.8) (72) Авторы изобретения
H. М. Гумеров, Ф. Д. Путиловский, В. С. Титов и И. Г. Шнейдер (71) Заявитель (54) МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС
Изобретение относится к средствам получения сверхвысокого вакуума.
Известен электроразрядный насос для получения сверхвысокого вакуума, использующий откачивающее действие разряда Пенинга, содержащий размещенные в магнитном поле электроды: катод в виде двух пластин и цилиндрический анод, расположенный между ними.
Однако известный насос характеризуется значительным спадом скорости откачки в диапазоне давлений 10 — 7 — 10 — 9 мм рт. ст., ограниченностью величины давления запуска и нестабильностью работы насоса на давлениях выше 10 — мм рт. ст.
В предлагаемом насосе, с целью обеспечения высокой скорости и стабильности откачки в расширенном диапазоне давлений 10 4—
10 мм рт. ст. посредством изменения плотности электронов в разряде Пенинга, по крайней мере, один из электродов выполнен в виде электростатической фокусирующей системы, причем пластины катодного электрода могут быть выполнены, например, в виде электродов пушки Пирса, а анод — в виде цилиндрического конденсатора, внутренняя обкладка которого находится под наведенным отрицательным потенциалом.
На чертеже приведена схема одного из вариантов предлагаемого устройства.
Насос состоит из корпуса, снабженного катодным электродом 1, состоящим из двух пластин, выполненных в виде электродов пушки
Пирса, и цилиндрического анодного электрода 2, посредством которых электронный пучок разряда в области 3 уплотняется. Дополнительное усиление уплотняющего действия электронного пучка производится посредством металлического цилиндра 4, образующего с анодным электродом и изолирующей прокладкой 5 электрический конденсатор.
Предмет изобретения
1. Чагпитный электроразрядный насос, содержащий размещенные в магнитном поле катодный электрод в виде двух пластин и цилиндрический анод, расположенный между ними, отличающийся тем, что, с целью увеличения и стаоилпзации скорости откачки насоса в диапазоне 10 — — 10 — мм рт. ст., по крайней мере, один из электродов выполнен в виде электростатической фокусирующей системы.
2. llacoc по п..1, отличающийся тем, что пластины катодного электрода выполнены в виде электродов пушки Пирса.
3. llacoc по п. 1, отл и ч а ю щи и ся тем, что анод выполнен в виде цилиндрического кон 1снсатора, внутренняя обкладка которого
30 находится под наведенным отрицательным потенциалом, 433568
Составитель В. Мирошкина
Техред Г. Васильева Корректоры: И. Позняковская и Н. Лебедева
Редактор Л. Батыгин
Типография, пр Сапунова, 2
Заказ 3307/17 Изд. № 968 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, K-35, Раушская наб., д, 4/5
