Анод магниторазрядного насоса

 

О П И С А Н И Е (и) 453757

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 17.10.72 (21) 1837436/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15,12.74. Бюллетень ¹ 46

Дата опубликования описания 28.01.75 (51) Л1. 1 л. Н Olj 41/00

F 04Ь 37/02

Государст венный комитет

Совета Министров СССР

rio делам иоаоретений м открытий (53) УДК 621.385(088.8) (72) Авторы изобретения

А. И. Агафонов и Е. В. Глушаченков (71) Заявитель

1ф Ц1 Д ф 4Я 4 (54) АНОД МАГНИТОРАЗРЯДНОГО НАСОСА

Предмет изобретения

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен анод магниторазрядного насоса, выполненный в виде набора ячеек, параллельно расположенных и электрически соединенных между собой.

Недостатком известного устройства является то, что при высоком давлении не достигается эффективная откачка газов, поскольку в разряде выделяется большая мощность, а охлаждение анода недостаточное ввиду малой поверхности контакта хладагента с анодом.

Для повышения эффективности откачки в области высоких давлений в предлагаемом устройстве ячейки выполнены в виде цилиндрических втулок, установленных торцами в отверстиях двух пластин, соединенных по периметру рамкой и образующих герметичный кожух, охватывающий втулки по боковой поверхности и снабженный штуцерами для подвода и отвода хладагента.

На фиг. 1 показан предлагаемый анод, вид спереди; на фиг. 2 — то же, поперечный разрез., Анод 1 содержит набор втулок 2, расположенных параллельно и электрически соединенны. между собой пластинами 3 и 4, в отверстиях которых закреплены торцы втулок 2.

5 Пластины 3 и 4 соединены по периметру рамкой 5, образующей герметичньш кожух. охватывающий втулки 2 по боковой поверхности и снабженный штуцерамп 6 и 7 для подвода и отвода хладагента.

Анод магниторазрядного насоса, выполненный в виде набора параллельно расположен15 ных и электрически соединенных между собой ячеек, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности откачки в области высоких давлений, ячейки выполнены в виде цилиндрических втулок, установленных торца20 ми в отверстиях двух пластин. соединенных по периметру рамкой и образующих герметичный кожух, охватывающий втутки по боковой поверхности и снабженный штуцерами для подвода и отвода хладагента.

Составитель В. Мирошкина

Техред Т. Курилко

Редактор И. Шубина

Корректор Л. Денисова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 49/11 Изд. № 1943 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и отркытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4!5