Устройство для электролитической обработки пластин

 

с

<и1 463174

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 09.03.73 (21) 1908934/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.03.75. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 30.06.75 (51) М. Кл. Н Oll 7/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УД К 621.382 (088.8) во девам изобретений н открытий (72) Авторы изобретения

А. С. Булавин, Н. Й. Tyëÿíêèí, В. П. Калинин, Н. И. )Келудов и А. И. Коробов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕК! РОЛИТИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

ПЛАСТИН

Изобретение может быть использовано в полупроводниковом производстве, в частности на операциях электролитической обработки полупроводниковых пластин.

Известна установка электрохимической полировки полупроводниковых пластин, имеющая два дисковых электрода, один из которых (катод) вращается электродвигателем постоянного тока. На поверхности анодного диска закреплены полупроводниковые пластины, обрабатываемая поверхность которых прижата к капроновой сетке, натянутой на катодный диск и смачиваемой электролитом. Благодаря соприкосновению пластин с вращающимся катодным диском и наличию шарового шарнира анодный диск также вращается, располагаясь при этом всегда параллельно плоскости катодного диска.

Известная установка непригодна для обработки изделий со структурой полупроводникдиэлектрик, поскольку на обрабатываемую поверхность невозможно подать положительный потенциал.

В предложенном устройстве указанный недостаток устранен за счет применения вращающегося несущего диска для размещения в его пазах электродов, каждый из которых выполнен в виде чередующихся пластин противоположной полярности, параллельно соединенных между собой. Электроды размещены ниже поверхности диска, а свободный объем пазов заполнен электролитом.

На чертеже показано предложенное устрой5 ство.

Устройство для электролитической обработки пластин содержит жесткое основание 1, на котором установлен несущий диск 2, связанньш с электроприводом 3. Несущий диск выI0 полнен из несмачнваемого электролитом и химически стойкого диэлектрика, например из фторопласта, и имеет по всей поверхности пазы 4, параллельные диаметру.

В пазах размещены аноды 5 и катоды 6, 15 каждый пз которых представляет собой набор параллельно соединенных графитовых пластин. Пластины анода и катода чередуются в пазах таким образом, что каждая пластина имеет полярность, противоположную полярно20 стп соседней пластины. Глубина пазов превышает высоту размещенных в них пластин электродов. Свободная часть 7 объема пазов 4 заполнена электролитом.

Пластины 8 закреплены таким образом, что

25 пх обрабатывасмая поверхность, контактируя с поверхностью диска 2, одновременно касается электролита 7. Торцы пластин 8 зафиксированы в гнсз,l,ах установочной головки 9, свободно закрепленной на своей оси над по30 верхностью диска 2. На торцах диска выпол463174

Ilpc7iIcт изобретения

Составители 1О. Цветков

1(орректор О. Тюрина

Текред А. Камыгиникова

Редактор T. Орловская

Зп"7ç 1506,", Изд.. 4 369 TH1) 3i! ВЗЗ Подписное

ЦНИИПИ Гос!дарственного комитета Совета й!ииистров СССР по делам изооретений и открытий oc1(:3 а, К-Зо, ° !?у Ill c 3 H п во., jl,. - 1, 5

"ипограф?и«ир. Сапунова, 2 нен обод 10 с контактными кольцами 11, соединенными с источником питания.

Устройство работает следующим образом.

На вращающийся от электропривода 3 несущий диск 2 любым известным способом, например капельным, подается электролит.

Поскольку несущий диск выполнен из несмачиваемого материала, электролит стекает в свободные объемы пазов 1, располагаясь в них полусферой и покрывая поверхность анодов 5 и катодов 6.

В гнездах установочной головки 9 фиксируются пластины 8 в положении, при котором их обрабатываемая поверхность лежит на поверхности д: ска 2 и касается электролита.

За счет соприкосновения поверхности пластин 8 с поверхностью диска 2 установочная головка 9 вместе с зафиксированными в ее гнездах пластинами 8 вращается вокруг своей оси.

При перемещении пластин 8 и электродов

5 и 6, размещенных в диске 2, обеспечивается поочередная подача положительного потенциала через электролит на ка)кдый участок обрабатываемой поверхности пластины 8, расположенный в данный момент над анодом 5.

Одновременно другой участок пластины 8, расположенный над катодом 6, подвергается э 7cl

Постоянное и равномерное вращение дис?:i! 2 вокруг своей осп обеспечивает равномеро «ос псрсмсщение пластин 8 относительно Iloверхности электродов 5 и 6 и тем самым равномерную обработку .,?х поверхности.

Устройство для электролитической ооработки пластин, содержащее вращающиеся электроды и шарнирно закрепленные над ними

15;lcp)I? J c;ilI il,72c I lIH, обес.ic IH!?3?oHJHC IlocTosIH

«ую установку пластин параллельно поверхности электро,o3, о т л li ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения дпапазона применения устройства за счет обеспечения подачи поло20 жительного .?o?eHHHaла к обрабатываемым пластинам, оно содер)кит несущий диск из не::;IB÷èâàåìoão:,c!cêTðo7èToì диэлектрика с параЛ;?Се?Ь??ЫМ?? 1?аэаМИ, В КоторЫХ НИЖЕ ПОВЕРХности диска размещены электроды в виде че25 реду?ощихся пластин противополо)кной полярности, а ci?oáoäíûé объем пазов заполнен злсктролитом.