Устройство химической обработки изделий

Авторы патента:

H05K3/06C23G3 - Способы и устройства для изготовления печатных схем (фотомеханическое изготовление текстурированных поверхностей или поверхностей с рисунком, материалы и оригиналы для этого, аппаратура, специально предназначенная для этого, вообще G03F; использование для изготовления полупроводниковых приборов H01L)

H01L7/68 - Основные элементы электрического оборудования

О П И С Л НИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6!) Зависимое от авт. свидетсльс-,вавЂ” (22) Заявлено 05.10.72 (21) 1833561/26-21 (51) Ч. Кл. Н 051< 3/06

С 23g 3/00

Н Olrl 7 68 с присоединением заявкивЂ” (32) ПриоритетвЂ”

Опубликовано 25.06.75. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания 12.01.7б

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий: (53) УДК 621.796.413 (088.8) (72) Автор ы изобретения

Л. T. Буравцев, Л. В. Введенский и A. А. Ульянов (71) Заявитель (5г1) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к технологии электронных изделий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов.

Известны устройства для химической обработки пленок в дисперсных средах, содержащие камеру, на основании которой черсз герметизирующее уплотнение установлсна крышка, и размещенные внутри камеры центрифуга, эжскторные форсункп, служащие для распыления травителя, и механизм для отмывки камеры.

Однако в известных камерах не обеспечивается предохранение герметизирующих уплотнений от попадания на них аэрозолей агрессивных реактивов, кроме того, в этих камерах не происходит отмывки поверхностей разъема камеры.

Целью изобретения является предохранение герметизирующих уплотнений от воздействия распыляемого травителя.

Для этого боковая поверхность основания камеры выполнена с кольцевым пазом, а крышка установлена относительно основания с кольцевым капиллярным зазором.

На чертеже приведена конструкция устройства.

Устройство для химической обраооткп изделий содержит основание 1, крышку 2, центрифугу 8, эжекторы форсунок 4, мехагшзм 5 для отмь:вкп камеры, гермстпзирую цш узел подшипников 6.

В основании 1 выпол;ген кольцевой паз 7, куда подается гермстпзпрующая жидкость.

Жидкость с малой вязкостью может сливаться через каппллярпый зазор 8» камеру. Во время обработки кольцевой паз 7 зггпо,.гнистся жидкостью, сила поверхностного натяжения которой такова, что зазор 8 прп низки.; да».1еппях ж!гдкост!1 проявлясT свойствa hапилляра и выдерживает ж!1дкость, котора!1 предохраняет резиновое кольцо 9 от попадания реактива, распыляющегося через форсунку 4.

При отмывке пластин и стенок камеры, поверхности каппллярного зазора 8 промываются подачей в кольцевой паз 7 дсионпзованной воды под повышенным давлегпгем, Предмет изобретения

Устройство для химической обработки изделий, пренмуществснно полупроводниковых пластин, содержащее камеру, на основаьнш которой через гсрметпзпрующее уплотненп. установлена крышка, и размещенные внутри камеры центрифугу, эжскторные форсункп, служащие для распыления травителя, и механизм для отмывки камеры, от.ггг1гагогцсес.г тем, что, с целью предохранения гсрмстпзп4749 о1

Составитель Е. Кукина

Редактор А. Зиньковский Текред 3. Тараненко Корректор И. Симкина

Заказ 1116/1644 Изд. № 855 Тира к 869 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент> ру1ощих уплотнений от воздействия распыляемого травителя, боковая поверхность основания камеры выполнена с кольцевым пазом, а крышка установлена относительно основания с кольцевым капиллярным зазором.