Способ вакуумного напыления слоев

 

б .бдноте .-. Ч 5Д

О П И С A Н И Е ()475093

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски к

Социапмсткческкн

Республик (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заквлено12.04.73 (2} )1905837/26-25 (51)М. Кл.

Н 01(7/64 с присоединением заявки №

Государственный комитет

СССР (23) Приоритет— до делам изобретений в открытий

Опубликовано 07.10.80. Бюллетень № 37 (53) УДК621. .382(088.8) Дата опубликования описания 10.10.80 (72) вторы изобретения

Л. М. Панасюк, В. Д. Прилепов, С. A. Данилюк и lI. Г. Лыско

Кишиневский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. В. H. Ленина (7l) Заявитель (54) СПОСОБ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ СЛОЕВ

Изобретение относится к технике получения вакуумным напылением тонких однородных полупроводнкковых слоев большой протяженности и плошади на гибкую лавсановую подложку и может применяться при создании фоточувствительных слоев для электрофотографии и фототермопластической записи.

Известен способ вакуумного напыления полупроводниковых слоев большой протя 0 женности, в котором исходное полупроводниковое вещество перед напылением загружают непосредственно в испаритель, испарение ведут на движущуюся над испарителем гибкую ленту.

Однако во время испарения в начале испаряются легкие фракции, а затем

"тяжелые, которые отличаются электрофизическими параметрами, поэтому слои получаются неоднородными по свойствам.

Кроме того, плошадь напылецной ленты ограничивается объемом испарителя, который должен потреблять большую мощность. Известным способом практически невозможно получать одинаковую скорость испарения во времени, так как по мере уменьшения исходного вещества меняется теплоемкость испарителя и, следовательно, скорость испарения.

Цель изобретения — получение протяженных однородных слоев с постоянными электрофнзическими свойствами.

Это достигается тем, что подачу испаряемого вещества ведут порциями со временем загрузки в 10-15 раз меньшим, чем время испарения этой поршти, при температуре, близкой к емпературе испарения, при этом максимальный период цикла загрузки определяют временем прохождения движущегося участка подложки в зоне конденсации, и количество испаряемого материала в 10-15 раз меньше массы испарителя, а напыление осуществляют при той же температуре, что и точка плавления напыляемого материала.

При одновременной работе нескольких, например,тт -испарителей, общий молекулярный поток будет соответствовать

3 47 суммарному потоку частиц из всех -испарителей. В действительности суммарный поток испаряемых частиц будет создаваться .(p-l) испарителями, так как один из испарителей находится в нерабочем состоянии, происходит загрузка порции вещества и разогрев ее до температуры испарения. Этот суммарный поток or (lT -1) испарителей постоянен в течение времени, пока исходное вещество загружается последовательно в каждый следующий испаритель после выхода на рабочий режим предыдущего. При загрузке калиброванные частицы испвряемого вещества равномерно распределяются, не соприкасаясь друг с другом по всей поверхности испарителя. После нагрева частиц до температуры испарителя создается равномерная скорость испарения по всей площади испарителя. В таком случае суммарная поверхность испарения от

{fl-l) испарителей будет постоянной.

5093

Форм ула

4 изобретения

Способ вакуумного напыления слоев из нескольких испврителей. с дискретной подачей испаряемого материала и полным испарением насылаемой порции, .отличающийся тем,что,с целью получения протяженных однородных слоев с постоянными электрофизическими свойствами, подачу испаряемого вещества ведут порциями со временем загрузки в l0-l5 рвз меньшим, чем время испарения этой порции, при температуре близкой к температуре испарения, при этом максимальный период цикла загрузки определяют временем прохождения движущегося участка подложки в зоне конденсации, и количество испвряемого вещества в l0-l5 раз меньше массы испарителя, в напыление осуществляют при той же температуре, что и точка плавления напыляемого материала.

Составитель Б. Суходаев

Редактор Л. Письман Техред М.Кузьма Корректор В. Бутяга

Заказ 863l/70 Тираж 844 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

IIo rrerrrrM o6peressN s orKðaròèé

l l3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4