Проекционный микроскоп
О Д Ц С А |-| Д Е (475588
И ЗС БР ЕТЕ Н ИЯ
Союз Советских
С оциапистииеских
Республик
Ф, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое ()T авт. свидетельства— (22) Заявлено 04.01.67 (21) 1123591 18-10 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет—
Опубликовано 30.06.75. Бюллетень № 24 (5! ) М. Кл. б 02b 21/20
< асударственный каиитат
Совета Министров СССР по делаи нзааретекий н открытий (53) УДК 535.822.1 (088.8) Дата опубликования описания 25.10.76 (72) Авторы изобретения
М. М. Русинов и В. П. Вронская
Ленинградский институт точной механики и оптики (71) Заявитель (54) ПРОЕКЦИОННЪ|й МИКРОСКОП
Предмет изобретения
Данный прибор предназначен для наблюдения о бъектов в отраженном свете.
Известны микроскопы, содержащие объектив, окуляр и осветительную систему.
Цель изобретения — обеспечение требуемой освещенности и резкости по всему полю зрени я при наблюдении объектов, имеющих направленное отражение, например печатных схем полупроводниковых приборов.
Цель достигается тем, что в предлагаемом при боре отношение тангенсов угла наклона предметной плоскости и глав ной плоскости объектива к плоскости объектов дополняет величину, обратную увеличению объектива, до единицы, а ось осветительной системы составляет с осью ми к)роскопа удвоенный угол наклона предметной плоскости.
На фнг. 1 изображена принципиальная оптическая схема описываемого микроскопа; на фиг. 2 и 3 — о птические схемы конкретных 20 конструкций микроскопов.
Предлагаемый микроскоп включает осветительную систему 1, составляющую с осью микроскопа 2 удвоенный угол V наклона предметной плоскости 3 к плоскости объектов (на чер- 25 теже не показана), параллельной плоскости 4 изображения; общий объектив 5, эквивалентная главная плоскость 6 которото наклонена к предметной плоскости 3, а также ко ч.чвктив 7, выполняющий роль экрана.
Микроскоп (см. фиг. 2) выполнен с использованием конструктивных узлов микроскопа
МБС-1. В выходной зрачок одной из ветвей 8 бинокулярного микроскопа, используемой з качестве осветительной системы, помещается источник света 9, а в качестве проекционной системы используется вторая ветвь 10, за которой на определенном расстоянии пояюещается экран 11.
В варианте микроскопа (см. фиг. 3) объектив 12 установлен с возможностью наклона на угол о и оси окуляра 13 так, чтобы узловая точка объектива при его наклоне оставалась на той же оси, что позволяет задавать необходимый угол Г наклона предметной плоскости.
Проекционный микроскоп, содержащий объектив, окуляр и осветительную систему, отлпчаюцппся тем, что, с целью обеспечения требуемой освещенности и резкости по всему полю зрения при наблюдении объектов, имеющих направленное отражение, например печатных схем полупроводниковых приборов, отношение тангенсов угла наклона предметной плоскости и главной плоскости объектива к плоскости объектов дополняет величину, об475588
;ф.6
70 рати !!О уве !и>1е1!ию Оо ективы„:(О eq!f!!If«f f,:.
OCl> OCRe f
\
\ z / !
/ ZI/ у, б
° 0
D-> л1И 1(!>О(. fxOff a >, 1ВО(!!I! I>! 1! yÃO, i Hc! I(;! Of! И И1)Ет:>! Ет-!
>011 И!IOCI 475588 1 = 1 Vi ф /Р 5 Составитель Г. Литвин Техред Т. Мнронова :Редактор Б. Федотов Борректо1т А. Дэесеза 0(л1. тип. 1 ост1)омскоео 1 !цмвтин!я нздательстВ, воли рафик и рви кнОЙ торГОВли Заказ 5817 Илд. 1639 1 краж 593 оде венное Ц1!1И1ПИ Государственного комитета Гоаета М . нистрпе ГССР IIo делам изобретений If открыт:и 113035, Москве, )К-35, Раушскаа ваб.. д. 4/5
