Способ изготовления оптической дифракционной решетки

 

Союз Созотокоз О П и (А Н и Я (11) ggg ®у

ЙЗОБРЕТЕН ИЯ

СОЦИаЛИСтнчЕСИ1а

Республик (61) Зависимый от патента— (22) Заявлено 1 8. 1 2. 68(21) 12915 10i

14331 43/26-25 (22) Заявлеио20.01. 68(3 1 ) 1 622 834. 5 (51) М. Кл, G 02 ) 5/18

Гасударственный намнтат. Савата Мнннстрва СССР па делам нвобрвтаннй и открытий (33) ФРГ (43) Опубликовано 25. 09. 75 Бюллетень ¹ 35 (53) УДК

535 (088.8) (45) Дата опубли!!Овация аписQHIIH 25.11 75

11н остр аицы (72) A в то р ы изобретения

Иока)НЕС Хс!1)дв!!ХаИИ, Хврет БурКХардт И Q (Ф Р1 ) Иностранная фирма

Д. Р. (oiQ!IIioс Atайде)1х 11111 и Д. Р. (111л!ат!ьт Д. Рудольф (Ф РI ) (71.) Лаяв!.*.Тель (54 ) С}101:ОБ 11;)т(!))Т!.)11!11-;(!ИЛ} 011 Г11 IECKGH Л1(ФРЛКПИОННОЙ

1!) Е1(11=. ПЗ.И

И )об(Э(,"I 01!не ОТI О(II! C3I к,— )I Т1)к г-л!эх;1=-нической ирэлт),1ц1!1еииос.! и jt, ;!0;,to f бьггь

ИСПО)п :3013!Ilf ) Д:1Я 11.)ÃOTOBQOIII!1! POI!1, .;:ИЬ! Х

ДИГ()раКПИОИИ! !Х ре!)Iо.тох С !Н000Ц .,"О(:. .t01: П}1 .:ФИЛЯ. 5

Известен способ изгоT .)I)I!t !и!я; птичоской диф ра кlц1 Îlll i 0 и () о! с T к и с fo f! П l к= 1,. 1! .1 м ll f) эфи"Лем, ОС 1 )Bit!I!1! Ilt i!Q OIIС!10.)llц)) lt ф:)тгл1 )1ПСГИны с последуюшим вым1.!в!)иием иеэксионированных учас fl

Недостаток этого способа cocT0IIT в 15 низкОЙ точности Воспроизведен!!я формы профиля из-за коне гной шир(шы )е!ш оригинала и погрешностей перомешения.

Пель изооретени)1 — BOcl f);)П,3гтедеlгие п}30= филя рельефа с г)аддин!)й точ)кн тью. 20

Пель достигается Qa с !Вт того, что фотопласт1п!у экспонируют серией cliåttóê

ШИХ Одча За дру! ОЙ CIICTE .Л! 1тт )""1 форт- «тт!IOI!НЫХ ПОЛОС, ПОС!1ЕдОВ!!ТЕЛ1зпыоз IQCTO тт-I К:) т Гз

Рыхз СООТВЕТСТВЕНИ 0 1 а}) t t)lilt !< ахI BRIC! I!11 Õ 25 пор3дкэв эснов110й системы полос, находятся

1 .вежду собой в отношении целых чисел, при-! е!.i начальные фазы систем устанавливают в зависимости от заданного профиля решет ки. Кроме того, каждую систему иитерфереициоииых по i0c получают на отдельных промежуточных плоских фотооригиналах, ч роз которые зател зкспониру!от фотопластину.

На фиг. 1 дана схема устройства пля птолт!ения интерфереиционных полос изменяемой пространственной частоты; на фиг.

2 изобра);ена серия систел! интерференционных полос; на фиг. 3 представлена дифракциоипая решетка с треугольным

ПРофИЛЕМ.

Устройство (фиг. 1 ) содержит лазерный источник света 1, линзу 2, диафрагму 3, )шизу 4, à также два зеркала: полупрозрачное 5 и отражаюшее 6. Пучки

7 и 8 света отражаются на фотопластину

9 с фотослоем, иа который экспонируются интерферен11иои1!ые полосы.

) 1: я изгото!злешщ Оптической дифракциош ой решетки с рельефным профилем, 485607 например, треугольной формы (ф)! -. 3 ) экспонируют фотопластину 9 последова тельно серией интерференционных полос .) пространственные частоты которых соот= ветственно гармоникам высших порядков (фиг. 2 б, в и г) основной системы полос фиГ. 2а находятся между собой в отноше нии целых чисел. Частота полос зависит от угла между пучками света 7 и 8, ко торый устанавливают поворотом зеркал 5 . (0 или 6. Начальные фа=-ы каждой системы т.е. положение подос относительно фотопластины 9, -устанавливают в зависимости от за-, данного профиля решетки. Фотопластину 9 экспонируют так, чтобы суммарный cE)eTo=. вой поток облучения соответствовал оптической плотности,п(>чернения B пределах, линейного участка характеристической кр"-вой фотослоя. Затем в процессе прони:)ения на фотопластине удаляют неэкспон)!рэв()и))ые 20 участки фотослоя, получая заданный про» филь (ф))г. 3).

С помощью устройства (фиг. 1 ) может быть получена серия интерференциои!(ых полос (фиг. 2 ), каждая-на отдельных про- 25 межуточных плоских фотоор)!! и)(адах) ))ерез которые затем экспониру!от фэтопластииу

9, причем форма профиля зависит эт аза)!К)-= ного расположения каждэго фотоэригf))f.(;)а относительно фотопластины Э. 30

Точи ость в О спр ои зв еде иия ф ор мы пр Офиля определяется числом систем иитсрфереиционнь)х полос (фиг. 2 ) в серии: чем их б О пьше, те м вы ше т Очность, ) Предмет из обретени я

1, Способ изготовления Оптической дифракциоииой решетки с рельефным профилем. OOHoaa);H)II, иа экспозиции фэтэпластины с lfоследующим вымыванием неэкспоии ров )н)ых участков фэтослоя, о т л и ч а юи) и и с я тем, что, с целью ).ocHpoèçâoäårn)я )!рофиия репье(()а с )àä(IHHO)1 точностью, фогоиластииу экспо)i))()óí т cl рией следуюI)1!IX ") 111:.1 а Д())() ОИ СИС" i l;! )И! ) ((Х!.ЕРЕ!)И))Он-.

)И)IX ПОЛОС HOCJ1((i)O(5«)T(I!II))ff)IO ИРОСтРа ICT

ВЕ )ИЫЕ )f«il:TO I Ы КотO()ЫХ, С)Э 1 В() CTL!C 1)IЭ (армоllикам 1)1))с .!!Ifх !(О()))!)к oli эсиэвиэй сис темы 1(О:lос, lгахэ())!T»".и ме?! д y собэи в Отнэше=1!Ии целых чисел, ир) !ем ))а га пи)ые Ьа)з)1

СИС! ЕМ «) C(/H)!<31 ИИ)$«!!(?)! l) Заl) )С)1!.) Э(т!i От задаппогo 1!рэ:;,)11;)EI реи:етк)!.

2 Способ !о ..(, o т,! и l 10—

))Олу !«!!)у! иа тд ") lll) x- D.;;);,;(у; o))и)ь)х

l)лоских фотео(!и! и)!«)И()х, ::lji 3 к )) э))) )е за ) ек! ))КО!)Они()у)(.«) фото".;истину, Составите.lt E.Афанасьев

I aéaêã0j) П.11вроднвы Техре» I .Êóðaëêo I<орректор fl Г)рвовв

Заказ ЯЯ gg Iэд, ¹ фЯ Тираж 59д

i IIil I1I1! I I Госуларствеиного комитета Говела Министров С(:(,P

IIo иовам изобрегеиий и открглгий

Москва, лК-35 Раушскаa иаб., .г. 4, 5

111111 „!1ате п Москва, Г-59, Бережковскa» най . 2!

Повии с и «е