Устройство для непрерывного удаления фоторезиста с подложек с использованием озон-кислородной смеси

 

00 494799

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

СоциалистическиХ

Республик; (51) М."Ъ,л. Й Oll 7/00 (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 30.12.71 (21) 1731242/24-7 с присоединением заявки ¹

Совета Л1ннистров СССР па делам изобретений и открытий

Опубликовано 05.12.75. Бюллетень № 45

Дата опубликования описания 11.03.76 (53) УДК 621.382.002.2 (088.8) (72) Авторы изобретения

С. А. Неустроев, Е. Б. Соколов, Б. А. Суходаев, В. И. Иванов, В. Г. Солянов, В. А. Кажаткин, Е. Я. Захаров и В. Г, Красов

Московский институт электронной техники (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НЕПРЕРЫВНОГО УДАЛЕНИЯ

ФОТОРЕЗИСТА С ПОДЛОЖЕК С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ

ОЗОН-КИСЛОРОДНОЙ СМЕСИ осударственный комитет

Приоритет

Изобретение относится к устройствам для удаления фоторезистов при осуществлении план арной технологии производства изделий электронной техники.

Известное устройство для непрерывной обработки изделий газофазовыми реагентами содержит транспортер с непрерывной несущей лентой, снабженный рабочей камерой с форсунками и нагревательными элементами.

В этом известном устройстве форсунки, через которые вводят реагент, не имеют охлаждения и расположены так, что не обеспечивают локальную подачу реагента к поверхности обрабатываемого изделия. Это приводит к большим потерям озона вследствие разложения его в объеме камеры при нагреве.

Целью изобретения является уменьшение потерь озона.

Это достигается тем, что форсунки выполнены охлаждаемыми H установлены над несущей лентой поперек ее рядами в шахматном порядке на расстоянии 4 — 6 диаметров сопла форсунки от подложек, а нагревательные элементы расположены непосредственно под несущей лентой транспортера.

На фнг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид, на фиг. 2 — то же, разрез; на фнг. 3 — форсунка.

Устройство представляет собой транспортер с несущей лентой 1, на которой размещены подложки 2 (лента может быть изготовлена из проволочных ветвей, соединенных одна с другой стяжками). Несущая ветвь транспортера проходит через рабочую камеру 3, в ко5 торой укреплены форсунки 4. Камера снабжена выхлопным патрубком 5. Под несущей лентой транспортера помещен нагреватель 6 со спиралью 7. Ленту 1 несут направляющий 8 и ведущий 9 барабаны.

10 После достижения нагревателем 6 заданной температуры, включения подачи озон-кислородной смеси и включения движения транспортера на верхнюю несущую ветвь транспортера укладывают подложки 2. Движение под15 ложек сопровождается их нагревом. После достижения заданной температуры подложки подаются в зону, в которой расположены форсунки 4. Фоторезист 10, нанесенный на подложку 2, подвергается воздействию озон-кисло20 родной смеси, истекающей нз форсункн. Продукты реакции удаляются через выхлопной патрубок 5. Очищенные от фоторезпста подложки снимают в конце транспортера.

Предмет изобретения

Устройство для непрерывного удаления фоторезнста с подложек с использованием озонкислородной смеси, содержащее транспортер с непрерывной несущей лентой, снабженный ра30 бочей камерой с форсунками н нагревательны494799

@и8. 2

Составитель Н. Нестеренко

Техред Т, Курилко

Корректоры: В. Дод и E. Давыдкина

Редактор Н. Петрова

Заказ 216/14 Изд. № 153 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ми элементами, отличающееся тем, что, с целью уменьшения потерь озона, форсунки выполнены охлаждаемыми и установлены над несущей лентой поперек ее рядами в шахматном порядке на расстоянии 4 — 6 диаметров сопла форсунки от подложек, а нагревательные элементы расположены непосредственно под несущей лентой транспортера.

Устройство для непрерывного удаления фоторезиста с подложек с использованием озон-кислородной смеси Устройство для непрерывного удаления фоторезиста с подложек с использованием озон-кислородной смеси 

 

Похожие патенты:
Наверх