Кассета для химическо% обработки изделий

 

1t,.

Ьсйсоюзнйя у

4 Щтф:.эъ ну с . ни юо зувй

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (i1 5033I9

Союз Сооетсюц

Социалистический

Республик (61) Дополнительное. к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.11.74 (21) 2076360/26-25 (51) М. Кл. Н 01L 21, 203 с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15.02.76. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 12.04.76 (53) УДК 621.382(088.8) (72) Автор изобретения

Б. И. Сапожников (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИИ

Изобретение относится к машинам для химической обработки (мойки, травления, снятия фоторезиста и др.) и может быть использовано при,производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.

Известны кассеты для химической обработки изделий, например полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, выполненные в виде корпуса с пазами для размещения изделий или перфорированных корзинок и привода для их вращения в обрабатываемой среде.

Недостатками известной кассеты являются ручная загрузка в кассету и выгрузка из нее обрабатываемых изделий с потерей ориентации; неравномерная скорость обработки поверхностей на различных участках изделия.

Цель изобретения — автоматизация загрузки изделий в кассету и выгрузки из нее и интенсификация процессов химической обработки.

Поставленная цель достигается тем, что предлагаемая кассета снабжена вибродвигателями, корпус каждого из которых жестко прикреплен к корпусу кассеты, а якорь вибродвигателя вертикальных колебаний, связанный упругим элементом с сердечником и изолированный вместе с вибродвигателем от химической среды сильфоном, является опорой кассеты и направлен таким образом, что ось вибродвигателя вертикальных колебаний совпадает с осью сим: етрии кассеты, а осп вибродвигателей горизонтальных колебаний расположены симметрично по окружности нижней части кассеты и направлены по касательной к этой окружности в горизонтальной плоскости |и защищены сильфонами от окружающей среды. Вибродвигатели горизонтальных колебаний имеют возможность поворота

10 и могут быть закреплены под любым угло м к горизонту.

На фиг. 1 схематически изображен об1ций вид кассеты; на фиг, 2 — конструкция вибродвигателя горизонтальных колебаний и его

15 крепление к,кассете, разрез по А — А на фиг, 1.

Кассета выполнена в виде корпуса 1, в который встроены вибродвигатель 2 вертикальных колебаний и вибродвигатели 3 горизон20 тальных колебаний.

Вибродвигатель 2 вертикальных колебаний расположен внутри центрального отверстия корпуса 1 кассеты так, что их оси симметрии совпадают и направлены вертикально вверх.

25 Корпус вибродвигателя жестко соединен с корпусом 1 кассеты и служит сснованием всего вибродвигателя 2. К корпусу 4 вибродвигателя вертикальных колебан ий прикреплена круглая катушка 5 посредством сердечника, 30 ввинчивающегося резьбовым окончанием в

503319 корпус 4. Якорь 6 вибродвигателя связан ссердечником упругим элементом 7, так что между якорем 6 и сердечником образуется зазор.

Вибродвигатель 2 защищен от окружающей среды снизу сильфоном 8, который внутренней частью надет на якорь 6, а свободными концами герметично прикреплен к корпусу 1 кассеты.

Вибродвигатели 3 горизонтальных колебаний расположены симметрично по окружности нижней части корпуса 1,кассеты и прикреплены корпусом 9 при помощи болта 10 к корпусу 1 кассеты. Катушка 11 прикреплена при помощи сердечн ика 12 к корпусу 9.

Якорь 13 соединен с сердечником 12 упругим элементом 14, так что образуется зазор между якорем 13 и сердечником 12. Все вибродвигатели 3 горизонтальных колебаний также защищены от окружающей среды сильфонами

15, которые внутренней донной частью надеты на якори 13, а свободными концами герметично прикреплены к корпусу 9.

Все якори 6, 13 вибродвигателей 2, 3 являются опорами, посредством которых кассета ставится на рабочую поверхность в машине для химической обработки.

При подаче на катушки 5, 11 вибродвигателей 2, 3 переменного напряжения, между якорями 6, 13 и сердечниками вибродвигателей возникают переменные тяговые усилия, которые приводят кассету в колебательное движение в вертикальном и горизонтальном направлениях. Засчет согласованных колебаний вертикальных и горизонтальных вибродвигателей 2, 3 кассета будет совершать в среднем направленное вращательное движение, если оси горизонтальных вибродвигателей 3 симметрично расположены и направлены по касательной к окружности их крепления, или перемещаться по прямой линии на опорной плоскости, если оси вибродвигателей

3 одинаково параллельно направлены.

Направленное перемещение кассеты способствует перемешиванию жидкости, а направленные колебания кассеты интенсифицируют процесс химической обработки изделий и могут быть использованы для ориентированной загрузки изделий в кассету и их выгрузки.

Формула изобретения

Кассета для химической обработки изделий, напри мер полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, содержащая корпус с пазами для размещения изделий, о т20 л и ч а ю щая с я тем, что, с целью автоматизации загрузки изделий в кассету и выгрузки из нее и интенсификации процесса химической обработки, она снабжена вибродвигателями, корпус, каждого из которых жестко

25 прикреплен к корпусу кассеты, причем якорь вибродвигателя вертикальных колебаний, связанный упругим элементом с сердечником и изолированный вместе с вибродвигателем от химической среды сильфоном, является

30 опорой кассеты, и его ось совпадает с осью . ее симметрии, а оси вибродвигателей горизонтальных колебаний расположены симметрично и направлены по касательной к окружности нижней части кассеты в горизонтальной

ÇÇ плоскости и также защищены сильфопами от окружающей среды,