Способ очистки хлоридов кремния
o n ke:л" н и е
ИЗОЬГИТЕНИЯ
00 504699
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 11.07.62 (21) 717032/23-26 с присоединением заявки ¹ (32) Приоритет
Опубликовано 28.02.76. Бюллетень ¹ 8
Дата опубликования описания 04,05.7б (51) М. Кл. С 01В ЗЗ/08
Гасударственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (53) УД К 546.281 (088.8 ) (72) Авторы изобретения
Э. П. Бочкарев и T. И, Сивошинская (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ХЛОРИДОВ КРЕМНИЯ
При этом получают продукт со следующим содержанием примесей в вес %.
Содержание примесей
Состав в трихлорсилане после очистки в исходном трихлорсилане
2.10
2 10
1,05
5-10
10 — в
2 10
1,5 10
Не обнаружено
310 о
Не обнаружено
То же
Изобретение относится к способу очистки хлоридов кремния от примесей и может найти применение в полупроводниковой промышленности.
Известен способ очистки хлоридов кремния от примесей, например, с помощью силикагеля. Однако такой способ не обеспечивает глубокой очистки хлоридов кремния от примесей хлоридов элементов III u V групп периодической системы им. Д. И. Менделеева.
С целью устранения указанного недостатка, предлагается пары хлорида кремния пропускать через титановую губку, нагретую до 200—
300 С.
Описываемый способ позволяет получать продукт с низким содержанием примесей бора, фосфора, углерода, меди алюминия, железа и магния.
Пример. Пары трихлорсилана SiHCIq пропускают через титановую губку марки TS — О или Т$ — 1 с размером в поперечнике 5 — 10 мм, нагретую до 200 — 300 С.
Расход титановой губки 1 от веса хлорида.
В
С
Сн
А1
Fe
Ti
Ni
Ь1п
10
5 10
<3 10 — т
<2 10
<б 10
<5.10
Не обнаружено
<5 10
Не обнаружено
То же
504699
Формула изобретения
Составитель Н. Гродзовская
Текред Е. Подурушииа Корректор Т. Добровольская
Редактор Т. Пилипенко
Заказ 914j7 Изд. ¹ 1162 Тираж 630 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Способ очистки хлоридов кремния от примесей хлористых соединений бора, фосфора, углерода, меди, алюминия, железа и магния с применением абсорбеитов, о т л п ч а ю шийся тем, что, с целью снижения содержания указанных примесей до концентрации 10 % и ниже, пары хлорида кремния пропускают че5 рез титановую губку, нагретую до 200 †3 С
