Способ измерения давления газов и паров металлов

 

с"....*..".,"..",,","„"„О П И С А Н И Е (») бзв во

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное и авт, свид-ву— (22) Заявлено 10.06.75 (21) 2 143103/10 с присоединением заявки _#_ (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.12.76.Бтоллетень М 45 (51) М, 1(л.

6 01 Ь 21732

Гасударстеенный иамитет

Сааета Мкнистраа СССР

IlD делам изабретенкй и аткрмтий (53) УДК 531.788 (088.8) j (45) Дата опубликования описания18.03.77

А, М. Андрияхин, В. А. Жеребцов, A. И. Кирюшенко и М, A. Лебедев (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ

ГАЗОВ И ПАРОВ МЕТАЛЛОВ мости: Г = А 7 d, 2

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению вакуума.

Известны различные способы измерения вакуума, основанные на использовании двухэлектродных систем, помешенных в измеряемую среду 12 J . Их недостатком является низкая точность вследствие зависимости показаний от состава среды и необходимость в источнике высокого напряжения.

Лучшие результаты обеспечивает способ измерения давления газов и паров металлов, основанный на определении параметров термоэмиссионного диода tl), Однако этот способ также не обеспечивает достаточной точности измерения в определенных интервалах 15 давле ний, 1тель изобретения состоит в повышении точности измерения давления.

Эта цель достигается тем, что подбором напр яже ни я питания ди ода и с опр оти вле ни я его цепи обеспечивают автоколебания в цепи диода, измеряют напряжение на диоде, определяют время Гттт, в течение которого это напряжение оказывается ниже среднего зна- 95 чения, и подсчитывают давление по зависигде:

А — константа, зависяшая от состава среды, P — давление, межэлектродное расстояние.

Реализация способа заключается в следуюшем.

Ы низковольтном дуговом разряде на подаю.-цем участке вольт-амперной характеристики диода при большом внешнем сопротивлении (600 ом) на электродах диода развиваются колебания напряжения. Анализ экспериментальных результатов показал, что такие колебания функционально связаны с давлением среды, в которой работает данный диод P и межэлектродным расстоянием d следуюшим соотношением:

С„= А P.d, где: Г -время нахождения разряда в состоя ттт нии с низким напряжением, A — численная константа, которая различна для газов и паров металлов.

538260

Например, в плоскопараллельном диоде с межэлектродным расстоянием 6-8 мм и темо пературой катода 1000 К, в области давле3 -2 ния паров цезия 3 10 — 3 10 мм рт. ст. з константа А равна 2,5.10. В этой формуле

Г „выражено в мксек. Р— в мм.рт,ст., d— в мм. При этом С практически не зависит от разрядного ток™а через прибор (справедливо для падающего участка вольт-амперной характеристики). Температура электрода, материал его, симметрия электродов принципиально не существенны для определения давления по данному способу. Таким образом указанная закономерность позволяет определить давление среды при известных значениях и Д.

10 где:

Способ измерения дарения газов и паров металлов, основанный на определении параметров термоэмиссионного диода, о т л и—

Составитель В. Лаптев

Техред А. Богдан Корректор В. Салка

Редактор В. Кожемякин

Заказ 5712/25 Тираж 1010 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР

IIo делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Формула изобретения ч а ю шийся тем, что, с целью повышЕния точности измерения, подбором напряжения питания диода и сопротивпения его цепи обеспечивают автоколебания в цепи диода, измеряют напряжение на диоде, определяют время, в течение которого это напряжение оказывается ниже среднего значения, и подсчитывают давление по зависимости:

Т =А P.d, А — константа, зависящая от состава среды;

P — давление;

15 d -межэлектродное состояние.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство CCCP ¹456998, О кл. G 01 L11/00,,08.05.73.

2. Дж. Мик. Дж. Kperc. Электрический пробой в газах. М., "Мир", 1960, стр, 9.