Пленка для выводных окон электроннолучевых приборов

 

пп 550699

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Йоаз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 09.09.75 (21) 2170386/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.03.77. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 0-!.01.77 (51) М. Кл е Н 01J 5/18

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делан изобретений и GTKpblTkll (53) УДК 539.216.2:621. ,385.832 (088.8) 72) Авторы изобретения Н. Ф. Осауленко, В. H. Паслен, И. М. Почерняев и О. И. Бабич (71) Заявитель (54) ПЛЕНКА ДЛЯ ВЫВОДНЫХ ОКОН ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫХ

ПРИБОРОВ

Изобретение относится к области приборостроения, а именно к пленочной электронике, и может быть использовано для изготовления выводных окон электронно-лучевых приборов (ЭЛП), в устройствах электронно-лучевой внетакуумной записи.

Для выводных окон ЭЛП используются пленки из слюды (1).

Однако коэффициент пропускания у слюды сильно зависит от энергии электронов, поэтому используют ускоряющее напряжение порядка 40 кэВ.

Наибольшим коэффициентом пропускания электронов обладают пленки из веществ с малым атомным весом, например из бериллия (2).

Так как выводные окна служат границей раздела вакуум-атмосфера, то толщину бериллиевых пленок в целях достижения достаточной механической прочности выбирают порядка 4 — 10 мкм. При прохождении электронного луча через такую пленку происходит поглощение и рассеивание электронов, поэтому для получения достаточно высокого коэффициента пропускания (=0,7) нужна энергия электронов более 50 кэВ.

С целью увеличения коэффициента пропускания электронов низких энергий пленка содержит последовательно расположенные слои алюминий-бериллия, диэлектрика, например слюды, ортогональную сетку из легкого металла, например меди, ячейки которой заполнены бериллием, бериллиевый слой и второй слой алюминий-бериллия.

5 На чертеже изображена предлагаемая пленка, разрез.

Пленка содержит слой 1 алюминий-бериллий и диэлектрика 2 (слюды), ортогональную сетку 3 из легкого металла (меди), слой 4 бе10 риллия и второй слой 5 алюминий-бериллия.

Такая конструкция позволяет получить механически прочную пленку толщиной порядка о

9000А. Эта пленка при размерах щели окна

25><0,5 мм устойчиво держит давление в приборе до 1.10- торр. Суммарный коэффициент пропускания такой многослойной пленки мало отличается от коэффициента пропускания бериллиевой пленки той же толщины, так как последнего содержится в многослойной пленке около 60%.

Пример. Изготавливают пленки со слео

25 дующими толщинами слоев, А:

Алюминий-бериллий 108 — 590

Слюда 108 †5

Ортогональная сетка из меди, ячейки которой заполнены бе30 риллием 2400 †39

550699

Составитель Н. Григорьева

Техред М. Семенов Корректор Л. Денискина

Редактор Т, Янова

Заказ 606/ 19 Изд. № 269 Тираж 1019 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и отирытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Бериллий 5700 †59

Алюминий-бериллий 108 †5 о

При общей толщине пленки около 9000 А коэффициент пропускания электронов с энергией 15 кэВ достигает 75% . Эта величина коэффициента пропускания приближается к максимально возможной, поскольку более 10% электронов испытывает упругое отражение от вещества. Длину свободного пробега электронов в металле можно определить с точностью до 10% по формуле

R= Ео где Р=0,007 — размерный коэффициент;

Ео — энергия электрона (кэВ).

Для энергии электронов 15 кэВ iR=0,62 мкм эта величина сравнима с толщиной многослойной пленки, поэтому электроны в ней испытывают незначительное количество соударений, а следовательно, обладают малым угловым рассеиванием, потери энергии электронов в данной пленке, вследствие малого числа соударений с атомами вещества, весьма незначительные, Таким образом электроны теряют в пленке около 20% своей энергии, поэтому нагрев заявляемой пленки по сравнению с известнымн незначителен.

Формула изобр етени я

Пленка для вьгводных окон электронно-лучевых приборов, содержащая вещества с малым атомным весом, например бериллий, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью увеличе10 ния коэффициента пропускания электронов низких энергий, пленка содержит последовательно расположенные слои алюминий-бериллия, диэлектрика, например слюды, ортогональную сетку из легкого металла, например

15 меди, ячейки которой заполнены бериллием, бериллиевый слой и второй слой алюминий-бериллия.

Источники и нформации, принятые во внимание при экспертизе:

20 1. Абрукин А. и др. «Электроннолучевая запись изображений с выведением луча за пределы ЭЛТ», «Техника кино и телевидения», 1974, № 4, с. 55 — 60.

2, Ме. Gee J. D. и др. „Advances in Electro25 nics and Electr. Physics", 1966, ХХП, с, 41 (прототип) .