"способ изготовления ненакапливаемого эмиттера на основе пленки двуокиси

 

Союз Советскин

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22} Заявлено 03,02.75 (21) 2332521/25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.05.77. Бюллетень № 17 (45) Дата опубликования описания23.06.77 (51) ¹ Кл. Н 01 F 1/30

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам нааоретеннй н открытий (53) УДК 621.885.032..212 (088.8) (72) Авторы изобретения

Н, А. Гордеева, Н. A. Иофис, Б. И, Лазанов и Н. В. Пароль (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НЕНАКАЛИВАЕМОГО ЭМИТТЕРА

НА ОСНОВЕ ПЛЕНКИ ДВУОКИСИ ОЛОВА

Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам изготовления ненакаливаемых эмиттеров.

Известен способ изготовления ненакаливаемых эмиттеров на основе пленки-двуокиси олова путем окисления металлической пленки олова при нагреве на воздухе (1), Получаемые этим способом эмиттеры не имеют стабильных эмиссионных параметров.

Частично этот недостаток устраняется при изготовлении эмиттеров друтим известным способом в соответствии с которым пленку двуокиси олова на диэлектрической подложке создают путем гидролиза спиртового раствора хлорното олова и формовки полученной пленки приложенным напряжением. Колебания эмиссионного тока полученных катодов без дополнительной стабилизации составляют Т 17% (2) .

Целью изобретения является повышение стабильности эмиссионного тока ненакаливаемого эмиттера на основе пленки двуокиси олова.

Указанная цель достигается тем, что после формовки пленку двуокиси олова прогревают на воздухе при атмосферном давлении и температуре 10(10 — 1200 С в течение 10 — 15 час.

Физическая сущность процесса изготовления эмиттеров состоит в следующем.

Для обеспечения высокой стабильности эми сионного тока необходимо иметь пленку чистой двуокиси олова. Между тем установлено, что в состав пленки двуокиси олова, получаемой любым из известных способов, входит олово металлическое и окись олова. о

Необходимо отметить, что если бы удалось изготовить сразу пленку чистой двуокиси олова, ее невозможно было бы отформовать, т.е. получить требуемую эмиссионно-активную область, так как

15 чистая двуокись олова не обладает необходимой проводимостью. Поэтому окончательное окисление пленки возможно только после формовки эмиссионно-активной области: Окончательное окисление пленки достигается подогревом ее в тече20 ние 10 — 15 час при температуре 1000 — 1200 С при нормальном атмосферном давлении. Отжиг пленок при температуре выше 1200 С приводит к полному падению тока эмиссии. С другой стороны, скорость термодиффузии олова к поверхности и к эмиссион25 но-активной области тем выше, чем выше темпера557423

Составитель Г. Кудиндева

Техред Н. Бабурка

Корректор Л. Веселовская

Редактор T. Орловская

Тирая1 976 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 855/61

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 тура. Эттгм опредеЛяется выбор температуры отжига.

П ри м е р. На полированную кварцеву1о подложку наносилась аэрозольным методом гидролиза спиртового раствора хлорного олова пленка SnO>.

После формовки. эмиссионно-активной области часть пластин была подвергнута стабилизирующему прогреву s течение 10 час при температуре 1100 С, другая часть пластин не прогревалась. Эмиттеры, как прошедшие стабилизирующий прогрев, так и не прошедшие его, были смонтированы в экспериментальные диоды и испытаны в диодном режиме при анодном напряжении О = 300 В.

Нестабильность эмиссионного тока непрогретых эмиттеров составила 17%. Нестабильность эмиссионного тока эмитгеров, подвергнутых прогреву в соответствии с изобретением, оказалась равной 9,4%.

Формула изобретения

Способ изготовления непа аливаемого эмнттера на основе пленки двуокиси олова, включающий создание плецки двуокиси олова на диэлектрической подложке посредством гидролиза спиртового раствора хлорного олова и последующую формовку, отличающийся тем, что, с цельюповышения стабильности эмиссионного тока, после формовки пленку двуокиси олова прогревают на воздухе при атмосферном давлении и температуре 1000 — 1200 С в течение 10 — 15 час.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР И 438061, кл.Н01 j 1/30, 1974.

2. Авторское свидетельство СССР N" 383107, кл. H01 j 1/30, 1973 (прототип).

способ изготовления ненакапливаемого эмиттера на основе пленки двуокиси способ изготовления ненакапливаемого эмиттера на основе пленки двуокиси 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к металлургии и может быть использовано при термической обработке сплавов на основе железа типа сендаст для магнитных головок

Изобретение относится к металлургии, в частности к способам термической обработки дисперсно упрочненных сплавов типа сендаст, предназначенных для сердечников магнитных головок

Изобретение относится к области металлургии и может быть использовано для создания магнитострикционных сплавов

Изобретение относится к определенным жидким материалам, которые проявляют существенное увеличение гидродинамического сопротивления, будучи помещенными в магнитные поля

Изобретение относится к металлургии, а именно к созданию магнитострикционного сплава на основе железа

Изобретение относится к промышленности магнитных материалов, в частности к полиамидным композиционным материалам для получения магнитов и может быть использовано при формовании магнитов малой толщины и сложной конфигурации для изделий электротехнического назначения

Изобретение относится к магнитореологическому материалу, характеризующемуся минимальным осаждением частиц, и который может быть использован в широком температурном интервале
Наверх