Автоколлимационный способ контроля качества отражательных реплик диффракционных решеток

 

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ рц 558242

Союз Советских

Со 1ивяистиче<ких

Респубпик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.02.76 (21) 2333789/10 (51) М. Кл. G 02В 5/18 с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и отиоа тии (23) Пр,.орн."ет

Опубликовано 15.05.77. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 01.08.7 (53) УДК 535.421(088.8) (72) Авторы изобретения

Э. А. Лустберг и Н. С. Лапушкин (71) Заявитель (54) АВТОКОЛЛИМАЦИОННЫИ СПОСОБ КОНТРОЛЯ

КАЧЕСТВА ОТРАЖАТЕЛЬНЫХ РЕПЛИК ДИФРАКЦИОННЫХ

РЕШЕТОК

Изобретение относится к технологическим процессам контроля деталей спектральных оптических приборов и может быть использовано для контроля качества отражательных реплик дифракционных решеток, имеющих выпуклую форму.

Известны способы контроля вогнутых отражательных дифракционных решеток, когда на них направляют расходящийся пучок лучей и используют в качестве объектива саму вогнутую решетку.

Известный автоколлимационный способ контроля плоских дифракционных решеток в параллельном пучке является наиболее близким к предлагаемому изобретению.

Однако известные способы не могут быть использованы для контроля выпуклых отражательных реплик дифракционных решеток.

Контроль качества таких реплик осуществляется путем проверки качества снятых с нее вторичных реплик в виде вогнутых отражательных решеток.

Для упрощения контроля и повышения точности измерения реплик выпуклой формы в известном автоколимационном способе контроля отражательных плоских дифракционных решеток путем измерения расстояния между спектральными линиями с применением вспомогательного объектива, входную спектральную щель смещают из фокальной плоскости в направлении от объектива и направляют на реплику сходящийся пучок лучей с числовой апертурой от 0,05 до 0,2, вершину реплики совмещают с оптической осью объектива и наклоняют ее на угол от 5 до 45 к этой оси, после чего передвигают реплику вдоль оптической оси до получения резкого автоколлимационного изображения.

На чертеже показана схема, поясняющая

1О предлагаемый способ.

Входную спектральную щель 1 смещают из фокальной плоскости в направлении от вспомогательного объектива 2. Щель освещают при помощи источника 3, имеющего линейча15 тый спектр излучения, через конденсор 4. Расходящийся световой поток, выходящий из щели 1, преобразуют объективом 2 в сходящийся и направляют на выпуклую реплику 5 дифракционной решетки. Числовая апертура

20 сходящегося пучка лучей от 0,05 до 0,2. Вершину реплики 5 совмещают с оптической осью объектива 2 и наклоняют к этой оси на угол ь.

Величину угла наклона выбирают в пределах от 5 до 45, так чтобы обеспечить получение

25 автоколлимационного хода лучей в соответствии с формулой 2 з1п а=ХКЛ, где а — угол между нормалью к решетке и оптической осью объектива, равный тр; Х вЂ” длина волны источника излучения; К вЂ” порядок спектра; N—

30 число штрихов на 1 мм проверяемой решетки.

558242

Формула изобретения

Составитель В. Ванторин

Текред М. Семенов

Редактор И. Шубина

Корректор Н. Лук

Заказ 1999/18 Изд. М 455 Тираж 63 . Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

После этого реплику 5 передвигают вдоль оптической оси объектива до получения резкого автоколлимационного изображения спектральных линий. Измерение ширины этих линий производят, например, с помощью микроскопа 6. Для удобства наблюдения щель 1 и ее спектральное изображение разносят по высоте. Подбир ают две спектр а льны е л и н и и, соответствующие пределу разрешения, и измеряют расстояние между ними с помощью микроскопа 6 (или путем фотографирования полученных спектров). По измеренному расстоянию вычисляют разрешающую способность реплики, исходя из которой определяют качество дифракционной решетки.

Величина аббераций поперек щели в плоскости резкого автоколлимационного изображения спектра для одного из возможных вариантов выполнения схемы, реализующей предложенный способ при числовой апертуре лучей, направляемых на выпуклую реплику, равной 0,1, не превышает 0,01 мм. Указанная величина аббераций получена при установке в схему выпуклых реплик дифракционных решеток с N=75 — 200 штр/мм и радиусом кривизны 250 мм.

Применение предложенного способа позволяет упростить контроль качества выпуклых .реплик дифракционных решеток, который ранее производился путем проверки качества снимаемых с них вторичных вогнутых реплик и улучшить качество получаемого автоколлимационного изображения спектра. В результа5 те этого повышается точность измерения разрешающей способности, исходя из которой определяется качество дифракционных решеток, и уменьшается процент выхода брака при изготовлении вторичных реплик.

Автоколлимационный способ контроля качества отражательных реплик дифракционных

15 решеток путем измерения расстояния между изображениями спектральных линий через вспомогательный объектив, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью упрощения контроля и повышения точности измерения реплик вы20 пуклой формы, входную спектральную щель смещают из фокальной плоскости в направлении от объектива и направляют на реплику сходящийся пучок лучей с числовой апертурой от 0,05 до 0,2, вершину реплики совме25 щают с оптической осью объектива и наклоняют ее на угол от 5 до 45 к этой оси, после чего передвигают реплику вдоль оптической оси до получения резкого автоколлимационного изображения.