Пила

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 575221 (б1) М. Кл.

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (81) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено2Ц0873 (21) 1958873/29-33 с присоединением заявки ¹(23) Приоритет (43) Опубликовано 05,1077. Бюллетень № 37 (45) Дата опубликования описания 25,1077

В 28 2 5/04

fseyasyetsess1eN ss1ssxex

Cesets Nsssexyes CGCP

ss девам езабретвеей е етермте1 (5З) УДК 679.8,053. 3 (088. 81 (72) Авторы изобретения

П.В.Кобин н 1О.П.Кобин

l с (71) Заявитель (541 ПИЛА

Изобретение относится к полупроводниковой промышленности, а именно

К станкам для разделения заготовок полупроводниковых приборов, особенно

1тластин со структурами и рисунками интегральных схем.

Известна пила для разделения пластин, содержащая направляющую и полэун, которая имеет защитное устройство .Ы . 16

Недостатком указанной пилы является то, что защитные устройства не дают необходимой гарантии от загрязнения трущихся поверхностей абразивным материалом. 1й

Также известна пила для разделения пластин полупроводниковых приборов, включающая направляющую и привод, в виде кинематически связанных между собой кривошипно-шатунного и парал- 26 лелограммного механизмов, одно иэ звеньев параллелограммного механизма выполнено в виде полэуна Г21.

Недостатком этой пилы является то что при обработке инструментом она 2Й .не обеспечивает плавного воздействия на обрабатываемую заготовку, в, результате чего около пропилов образуются ледопустимые сколы и нарушения структуры материала, При выполнении глу- 30 бакнх пропилов процесс обработки осложняется неполным удалением снимаемой стуржки, а это ведет к уменьшению скорости распила.

Цель изобретения - повышение про-" изводительности и износостойкости пилы.

Это достигается тем, что пила снабжена дополнительными параллелограьвяным и кривошипно-шатунным механизмами, причем первый связан с основ. ным чт ругими звеньями, второй - при помощи зубчатых колес, направляющая выполнена одним иэ .звеньев дополни-. тельного параллелограммиого механизма.

%a фиг. 1 изображена предлагаемая пила, общий вид1 на фиг. 2 - схема тнчно предлагаемая направляющая с yrtругими шарнирамит на фиг. 3 - направляющая с упругими звеньями.

Пила состоит из станины 1, двигателя 2, суппорта 3, направляющей с ползуном 4 и средств обеспечения воз- действия инструмента на разделяемую заготовку. Инструмент 5 в виде нитей. лент или лезвий крепится на полэуне, а разделяемая заготовка 6 - на суп" порте. Для прикрепления инструмента ползун содержит присоединительные элементы 7..Параллелограммные меха575221 ниэмы состоят из звеньев 4, 8-13, причем звено 8 общее для обоих параллелограммов, звено 4 — ползун, звено

9 - неподвижное основание направляющей, а звенья 10-13 упругие. Шарнирные сочленения звеньев выполнены в виде упругих опор 14.

Кривошипно-шатунные механизмы 15 Й

26 соединены между собой зубчатыми койесами с передаточным отношением а =1, кривошипы при помощи шатунов 17 и 18 соответственно с общим звеном и полвуном. Соотношения длин звеньев параллелограммов, радиусов и фаз вращеМмя кривошипов дают множество разнорбразных форм движенияiползуна. Орга" ны 19 и 20 регулируют длины звеньев, основания и общего звена, à 21 — из меняет величину размаха и фазы движе ния общего звена.

Предлагаемая пила работает следую" @ р им образом.

Нитяной инструмент в виде натянуh oé на раму системы параллельных про»

Волочек - нитей " укрепляют на ползуНе 4, а обрабатЫваемую заготовку, на- 95 пример приклеенную воском к технологической подложке подлежащую разделению пластину со структурами и рисунками интегральных схем, закрепляют иа суппорте 3. Затем совмещают ваго- 39

1овку с инструментом и задают необходимое для обработки давление рабочей подачи, т.е. давление нитей инструМента на заготовку Не снимая давления рабочей подачи, ползун с инстру- ф ментом перемещают в крайнее положение и регулируют направляющую .на требующуюся форму движения инструмента, в данном случае на его дополнительные ,повороты-качания.

Сущность регулировки сводится к изменению длины общего звена 8 до размера, при котором ползун,с инструментом поворачивается так, чтобы углы кзгиба. нитей инструмента при их входе на заготовку и сходе с заготовки быпи одинаковыми,.

В процессе обработки двигатель 2 вращает вал кривошипно-шатунного механизма 16, при помощи которого сообщает закрепленному на полэуне 4 инструменту 5 обрабатывающие движения., Совершая эти движения, инструмент пе" риодическй меняет свое положение ото.>сительно заготовки. В момент симметричного расположения перед суппортом он йараллелен его плоскости, поддерживающей заготовку. При перемещении к тому или другому крайнему йоложению конец. инструмента, находящий на заготовку, отводится от нее, а конец, удаляющийся от заготовки, все больше и больше надавливает на последнюю так, что нити инструмента с обеих ее сторон образуют одинаковые углы изгиба относительно заготовки.

Формула изобретения

Пила для разделения пластин полупроводниковых, приборов,. включающая направляющую и привод, в виде кинематически связанных между собой кривошипно-шатунного и параллелограммного механизмов, причем оцно из звеньев, параллелограммного механизма выполнено в виде ползуна, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повыше-ния производительности и износостойкости, пила снабжена дополнительными параллелограммным и кривошипно шатунным механизмами, причем дополнительйый паюаллелограьмный механйзм связан с основным упругими звеньями, а дополнительный кривошипно-шатунный механизм — при помощи зубчатых колес, причем направляющая. выполнена одним с из вень|в дополнительного паралле- лОграммного механизма.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Лвторское свидетельство СССР

9 209947, кл . В 23 В 1/00, 1964 °

2 . Патент Франции Р 1292867, кл .

В 28 И 1/00, 1961.

575221

Составитель K. Хамидулов н ех И.Гоксн 4 Ко ек о .А.Âëàñåíêî

Вакаэ 3966/10 Тираж 714 Подпнсиое

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам иэобретений и открытий

113035 Исскаа K-35 Ракянская нас.к,с,4

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4