Магниторазрядный насос
(i(! 593267
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Со(оа Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (51) M. Кл 2 Н 01J 41f12 (22) Заявлено 11.12.74 (21) 2083768/18-25 с присоединением заявки №
Государственный комитет
23 Приоритет
Совета Министров СССР ао делам изобретений (43) Опубликовано 15.02.78. Бюллетень № 6 (53) УДК 621.521 (088.8) и открытий (45) Дата on (72) Автор изобретения и (71) заявитель
В. Н. Пакулин (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к магниторазрядным насосам.
Известны магниторазрядные насосы (1), содержащие катодные пластины из геттерного материала и расположенный между ними ячеистый анод, помещенный в продольное магнитное поле.
Недостатком данной конструкции является относительно низкая быстрота откачки остаточных газов в области низких давлений.
Известен также магниторазрядный насос (2), содержащий анод, магнит и два катода.
Недостатком этого насоса является малая быстрота откачки и относительно большие габариты.
Целью изобретения является увеличение быстроты откачки и уменьшение габаритов насоса.
Это достигается тем, что в предлагаемом насосе анод выполнен в виде стержня, проходящего по оси насоса, магнит представляет собой набор из двух разнесенных соосных колец, причем в зазоре между ними по внешнему диаметру укреплен изолированный цилиндр, электрически соединенный с анодом, а катоды выполнены в виде двух полых фигурных цилиндров, прилегающих к внутренним поверхностям кольцевых магнитов и имеющих в торцах отверстия. Фактически в одной ячейке насоса объединены два типа разряда: ин2 версно-магнетронный — в центральной области и разряд Пеннинга — в полости между магнитами.
На чертеже показана конструкция предло5 женного магниторазрядного насоса.
Тонкий стержневой анод 1, выполненный из немагнитного материала, проходит по оси насоса. Кольцевые магниты 2 и 3, закреплены соосно и раздвинуты на высоту цилиндра 4, 10 который изолирован от магнитов и электрически соединен с анодом 1 (на чертеже не показано). Магниты 2 и 3 надеты на полые цилиндры 5 и 6 соответственно, выполненные, например из титана, таким образом, что они
15 полностью закрывают внутренние торцовь е и боковые поверхности магнитов. Через отверстие 7 в торце цилиндра 5 насос сообщается с откачиваемым объемом, а в отверстии в торце цилиндра 6 укреплен изолятор анода 1.
20 В опытном образце насоса кольцевые магниты из сплава самарий — кобальт имеют размеры 40Х20Х6 мм. Расстояние между магнитами 8 мм, диаметр анода 0,8 мм.
Максимальная напряженность магнитного
25 поля в полости между магнитами 2500 Э, на оси 780 Э. Напряжение на анодах 2 кВ, ток разряда при давлении 1 ° 10 — мм рт. ст. составляет 75 мкА. Быстрота откачки по воздуху при давлении 1 10- мм рт. ст. достига30 ет 10 л/с.
59326Т
Формула изобретения
2 5
Составитель В. Ушаков
Техред И. Михайлова
Корректоры: Е. Хмелева и И. Позняковская
Редактор И. Шубина
Заказ 922/2 Изд. № 337 Тираж 995 Подписное
НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Фаушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 r
Увеличение обй1е1 о разрядного. тока за счет двуханодной конструкции насоса приводит к значительному повышению его,быстроты откачки по сравнению с известными насосами тех же габаритов и массы.
Магниторазрядный насос, содержащий анод, магнит и два катода, отличающийся тем, что, с целью увеличения быстроты откачки и уменьшения габаритов насоса, анод выполнен в виде стержня, проходящего по оси насоса, магнит представляет собой набор из двух разйе ейных соосных Колец, прйчем зазоре между ними по внешнему диаметру укреплен изолированный цилиндр, электрически соединенный с анодом, а катоды выполне5 ны в виде двух полых фигурных цилиндров, прилегающих к внутренним поверхностям кольцевых магнитов и имеющих в торцах отверстия.
Источники информации, 10 принятые во внимание при экспертизе
1. Васильев Г. А. Магниторазрядные насосы. М., «Энергия», 1970, с. 41.
2. Авторское свидетельство СССР, № 310319, кл. Н 01J 41/00, 1971.
