Способ измерения вакуума в кварцевых резонаторах

 

ОПИСАНИЕ щ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскнк

Соцмалистмческю

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлена 2м0.76(21) 2415725/18-10 (51) М. Кл., с прнсоединениеээ заявки И

Я 01 L 21/22

ГээтДЩэтэээйм1 ээвэтэт

6эвэтэ Мээээтэээ 666Р

1I ЯЭЛП ЮЭЭ11ЭТЭЭЭ1

I ЭТЭ1НТЭ1 (23) Приоритет (4Я) ОпубЛнковано250278 Бтоллетень34t 7 (5З) УД (46) Дата опубликования описания 030278 (72) Авторы изобретения В.А.Шапиро, M.H.Koãàí, В.А.Вильщук и М.Ф.Кабак

p1) Заявитель

Омский политехнический институт (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМА

В КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРАХ

Изобретение относится к технической физике и может быть использовано при разработке и исследовании пьезокварцевых резонаторов.

Известен способ измерения вакуума, заключающийся в определении. градуировочной характеристики, выражающей зависимость теплового параметра объекта иэмерания, а именно температуры электронагревателя, устай эвленного в объекте, при -постсяээстве:.рассеиваемой им мощности :-от -давлейия:.внутри объекта, иэмерениц,. этого:параээетра и определении датэления. по градуировоч» ной характеристике:. Я.

Недостаткои кзвестного способа.:в применении к. кварцевым резонаторами является сложность .технологии измерения, вызванная:необходимостью размещения в баллоне .резонатора .нагревателя с датчиком температуры и четырех электрических выводов от них.

Цель изобретения - упрощение технологии измерения.

Для этого по предлагаемому способу в качестве теплового параметра используют тепловую постоянную времени собственной частоты кварцевого pesoнатора.

Предлагаемая способ осуществляют в следующей последовательности. б После заварки резонатор при помощи щтенгеля присоединяют к вакуумной системе и снимают градуировочную зависимость давление - тепловая постоянная времени. Для этого, сначала ус1Î танавливают в баллоне резонатора заданное давление, контролируемое по образцовому вакуумметру, а затем воздействуют на резонатор перепадом температур аТТ„-Т„, где Т „- ко16 нечная температура пьезоэлемента, Т„ — его начальная температура. Ука" эанйую операцию осуществляют, помещая

:резонатор с:установившимся значением частоты. 1к., соответствующим его

20 начальной температуре Т„, в сосуд

Дьюара с жидкостью, температура которой Т, Определяют величину тепловой постоянной времени, .как время установления

И частоты 1 1 u + 63 (Х„- f „), где — конечйое значейие частоты, соответствующее температуре т„.

-Все эти операции производят для нескольких значений данлення н диапазо30 не 1 10 - 0,5 мм рт.ст., достаточных для получения укаэанной выие градуировочной кривой.

Приведенная формула справедлива для кварцевых резонаторов, имеющих линейную температурно-частотную характеристику. Для резонаторов, имеющих нели5 нейную характеристику, необходимо выбирать такой интервал температур (Т„ - l Ä ), в котором температурночастотная характеристика кварцевого резонатора наиболее близка к линейной.

Предлагаемый способ позволяет определить давление в баллоне резонатора стандартной конструкции, отлаянного с гребенки откачного поста, I6 в любой момент времени. Для этого необходимо измерить тепловую постоянную времени готового кварцевого резонатора и по градуировочной зависимости определить соответствующее ЯО ей значение давления.

Изобретение может найти примен НИЕ tlPH ИССЛЕДОВаНИИ И Разработке технологических процессов из готовления кварцевых резонаторов.

Формула изобретения

Способ измеРения вакуума в кварцевых резонаторах, заключающийся в опРеделении градуировочной характеристики, выражающей зависимость теплового параметра резонатора от давления

s баллоне резонатора„ .измерении этого параметра и определении давления по градуировочной характеристике, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью упрощения технологии измерения, в качестве теплового параметра используют тепловую постоянную времени собственной частоты .кварцевого резонатора.

Источники информации, принятые вб внимание при экспертизе:

i. Востров Г.A. и др. Вакуумметры.

Л., Энергия, 1967, c ° 51-56.

Составитель И,Петрашень

Ре акто Т.Иванова Тех Ко

Заказ 826/44 Тираж 1011 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва Ж-35 Ра шская наб. . 4 5 ц

Филиал ППН Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4