Магниторазрядный насос
Союз Советских
Социалистических
О П И С А Н И E (160I774
ИЗОБРЕТЕН H fl
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— ! 22) Заявлено 10.08.76 (21) 2396045/18-25 (51) М.К,!. - Н 01 J 41/!2 с присоедпнс!!ием заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.04.78. Б1оллетень ¹ 13 (45) Дата опубликования описания 18.05.78
1осударственный комитет
Сонета Министров СССР по делам изобретений н открытий (53 ) УДК 621.528 (088.8) (72) Авторы изобретения
С. Д. Островка и В. Б. Нойсс (71) Заявитель (54) МАГНИТОР.ИЗРЯДНЫЙ НАСОС
Форму Iа HçобретеHIlя
Изооретсние относится к области вакуумной техники, в частности к магниторазрядным насоса,м.
Известны магниторазрядныс насосы с анодом сотовой конструкции (1), Такой насос обладает малой действующей плошадью анода и относительно низкой быстротой откачки, так как ме кд цилиндрическими ячейками образуются неработающие ячейки, которые малы по сравнению с цилиндрическими, и при данHîì значении напряженности магнитное" пол,"-. разряд в ник не возбуждается.
Известен также мапнпторазрядный насос, анод которого содержит цилиндрические ячейки, разного диаметра 12). 15
Целью изобретения является увеличвиие дейст!вуюшей Ilëî!HAH анода и оыстроты OTкачки насоса.
Указанная цель достигается тем, что цилинд!ричеокие ячейки размещены по верти- 20 кальным и горизоHTBJIIHbIм рядам на .расстоянии одна от другой, palBHoM двум третям радиу1са ячей ки, и соединены пластиснам!и по вза1смно перпендикулярным плоскостям с, мметрии ячеек каждого ряда. При этом на!ружные поверхности цилиндров, ограннч- .: ы: ми:пластинами, составляют = по .-еднчми о хачивающие ячейки другой конфигу!рации.
На че1ртеже показа!и анод првдложсиного магниторазрядного на соса. Ано„-; соде..х;ит ц1!линдрпческис ячейки 1, соединенные между сооой пластинами 2, которые образуют с наружным;I стсн1ками цилllнд оВ откачиваюшие ячейки 3.
Такая конструкция анода позволяет всю
"f 0 плошадь использовать эффективно для откачки увеличения действующей плошади анода.. 1агниторазрядный насос. содержащий анод с цилиндричесl ими ячеЙ ками, о т л ич а ю ш и и с я тем. что, с целью увеличения де1!спву1ошей плошадн анода и быстроты откачки насоса. цилиндрические ячейки анода размещены по вертикальным п горизонтальным рядам на расстоянии одна от другой, равном двум третям радиуса ячейки, и соединены пластинами по взаимно перпендикулярных! плоскостям симметрии ячеек каждого ряда.
11cToKHHil 1. Левин Г. А. Основы вакуумной техники, М., «Энергия», 1969, с. 171. 2. Патент CIIIA № 3364370.,кл. 313-7, опублпк. в 1968. 901774 Составитель В. Ушаков Тскред И. Рыбкина Редактор В, Смирягина Корректор И. Симкина Подписное Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» Заказ ) 74/347 Изд. ЛЪ 131 Тираж 964 НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
