Способ откачки газов

 

О П C А Н И Е 618оО7

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Республик

{6!) дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.04.75 (2Ц 2123732/18-25 с присоединением заявки №(23) ПриоритетОпубликовано15.01.79.бюллетень № 2

Дата опубликования описания 2О.Î1.79 (51) M. Кл.

Н 01 Х 41/12

Гесударстввниьй еватвт

СССР ав делам кзабрвтввв» м втнРытмм (5З) УДК 621.525 (088.8) А. М. Дороднов, С. А. Мубояджян, Я. A. Помелов, В. E. Минайчев и С. И. Мирошкин (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) спосов откАчки глзов.

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к средствам получения безмасляного вакуума

Известен способ. откачки газов с помощью электрораэрядных насосов, в которых на плазму, образованную путем ионизации остаточного газа и ьлолекул геттерного материала, выбитого ионной бомбардировкой, наложено магнитное поле, Однако производительность такого спо соба довольно низкая. тб

Наиболее близким к предлагаемому является способ откачки газов в ионносорбдионных насосах, заключающийся в подаче напряжения на электроды генератора плазмы, один из которых выполнен иэ геттерного материала.

Сущность такого способа заключается в переводе геттерного материала в соотояние плазмы в вакуумной дуге, возбуждаемой между электродами, выполненными 2 из этого материала, ионизации молекул газа электронами плазмы, ускорении об раэованных в результате ионизация ионов

2 к сорбирующей поверхности в электрическом поле и сорбции их пленкой, конденсирующейся иэ плазмы на этой поверхности, Однако этот спос.об обладает недостаточной эффективностью, что связано с не обходимостью использования высоких напряжений (несколько тысяч вольт) для электростатической фокусировки электронов и увеличении их длины свободного пробега Вероятность же ионизации молекул газа ускоренными электронами имеет максимальное значение при энергии электронов в несколько десятков электронвольт и сильно падает с ростом их энер гии, Таким образом низкая ионизируюшая способность высокоэнергетических электронов обуславливает в этом способе .недостаточную эффективность процесса ионной откачки

Бель изобретения - повышение эффективности откачки газов.

Это достигается зажиганием дополнительного несамостоятельного разряда в парах геттерного материала путем подачи

618007 . отрицательного потенциала на поверхность конденсации и наложения поперечного магнитного поля, величина напряженности которого такова, что параметр Холла электронов больше единицы, а параметр Холла ионов меньше единицы, Предлагаемый способ откачки газов поясняется чертежом, где изображены алек.троды 1 и 2, соответственно катод и анод, между которыми возбуждается вакуумная 10 дуг а; источник 3 питания дуги вспомогательный электрод 4; вспомогательный источник 5, создающий электрическое поле; магнитная катушка 6; корпус 7 откачного устройства, 15

При таком способе откачки перевод геттерного материала в состояние плазмы осуществляется в стационарной или импульсной вакуумной дуге, возбуждаемой между катодом 1 и анодом 2, выпол-20 пенным из геттерного материала, например титана, и поддерживаемой с помощью источника 3 питания. Образующаяся плазма заполняет объем корпуса

7 откачного устройства. Аш повышения 25 ионизирующей способности эпектронов плазмы на нее наложены скрещенныеэлектрическое и магнитное поля,:Электрическое поле создается между. вспомогательным электродом 4, имеющим положитель- ЗО ный потенциал, и корпусом 7 откачного устройства, находящегося под отрицательным потенциалом вспомогательного источника 5. Осевое магнитное поле создается с помощью магнитной катушки 6, Электроны плазмы геттерного материала не могут попасть на корпус 7, находящий- ся под отрицательным .потенциалом, и их уход из объема возможен только на вспо-, могательный электрод 4 (соединенный с 4О положительным полюсом источника 5) поперек силовых линий

Корпус 7 служит сорбирующей поверх-, ностью, на которой осуществляется конденсация пленки геттерного материала, сорбция молекул активных газов и "замуровывание образующихся в результате ионизации ионов несорбирующихся газов, ускоряемых в электрическом поле, При этом, поскольку электроны плазмы являются замагниченными (в этом случае параметр Холла для электронов значительно больше 1, а параметр Холла для ионов меньше 1), их уход на электрод 4 оказывается возможным только при ионизующих столкновениях с молекулами газа, приводящих и потере энергии электронов. Таким образом достигает ся высокая эффективность ионизации,молекул остаточных газов и повышается скорость ионной откачки откачного уст» рой ства, Формула изобретения

Способ откачки газов в ионно-сорбционных насосах, заключающийся в .подаче напряжения на электроды генератора плазмы, один из которых выполнен из геттерного материала, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения эффективности, откачки, зажигают допол нительный несамостоятельный разряд в парах геттерного материала путем подачи отрицательного потенциала на поверхность конденсации и наложения поперечного магнитного поля, величина которого такова, что параметр Холла электронов больше единицы, а параметр Холла ионов меньше единицы

UHHHllH Заказ 7S35/60

Тираж 92Л. Подписное

Филиал ППП Патент г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Способ откачки газов Способ откачки газов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для поглощения и захоронения радиоактивных инертных газов, образующихся в тепловыделяющих элементах и термоэмиссионных электрогенерирующих каналах, а также в других устройствах, связанных с радиоактивными процессами

Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для поглощения и захоронения радиоактивных инертных газов, образующихся в тепловыделяющих элементах и теплоэмиссионных электрогенерирующих каналах, а также в других устройствах, связанных с радиоактивными процессами
Наверх