Установка для очистки изделий

 

О П И С А Н И Е (ц gggggg

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ссиоа Советских

Социалистн нес а

Исаублмк (6!) Дополнительное к авт. свид-ву

I (22) Заявлеио05.02.73 (21)1878971/28 02 с присоединением заявки №(23) Приоритет2 (51) M. Кл.

В 08 В 3/10

С 23 G 3/00

Воудвротвенкьй кратет

СССР оо делан изооретевй н откритий (53) УДК 621.7.

° 022.6:621. .7.024 (088.8) Опубликовано25.02.79.Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 28.02.79 (72} Авторы изобретения

A. Т. Мягков, Н. Г. Медведев и Е. М. Корсетов (71) Заявитель (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ОЧИСТКИ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение - касается жидкостной очистки и может использоваться в оборудовании электронной промышленности дпя жидкостной химической обработки изделий, в частности для химической обработки кремниевых и ситалловых пластин.

Известна установка для химической обработки плоских изделий, содержащая корпус, крьппку, устройство для установки и эакрепйения изделий, привод, устройство для подачи и слйва жидкости, рабочий орган (11 .

Недостатком такой установки является то, что на ней производится обработка изделий торцовыми щетками,,что не обеспечивает непрерывного удаления продуктов реакции с поверхностей обрабатываемых изделий и приводит к размазыванию продуктов реакции и затиранию из в микфонеровности обрабатываемых изделий. Кроме того, щетки царапают поверхность иэделий, причем в процессе обработки изделий требуется очистка от загрязнений и их частая замена, так как они часто выходят из строя .

Uem изобретения - повышение эффективности очистки.

Это достигается .теМ, что в крышке выполнено отверстие, в котором установлен рабочий орган с образованием полости между ним и устройством для закрепления изделий, установленным с образованием кали.птярного зазора между ним и крышкой, пря этом рабочий орган выполнен и виде магнитостриктора, а в центре крышки выполнено отверстие для подвода раствора.

На чертеже схематически иэображьна установка для очистки изделий, разрез.

Установка имеет станину 1, корпус

2, в котором расположен вертикальный вал 3 в подшипниках 4 и 5. На верх нем конце вала 3 установлено устройсво 6 для закрепления изделий, выполненное в виде цилиндрического предметного столика, на наружной поверхности которого имеются углубления для зак3, 64 ладки изделий 7, выполненные в форме канавок по размеру обрабатываемых изделий. Вертикальный вал 3 соединен через полумуфтьт 8 и 9 с электродвигателем 10. Привод вращения устройства

6 для закрепления иэделий осуществляется от электродвигателя 10 через полумуфты 8 и 9 и вертикальный вал 3, Установка для очистки изделий снабжена магнитостриктором 1 1, размещен ным на крышке 12 по линии центров обрабатываемых иэделий 7, причем меж ду устройством для закрепления изделий и крышкой 12 предусмотрен щелевой крутовой капиллярный зазор 13 для" подачи через него под давлением непрерыв ного потока жидкости через m ep 14, расположенный в центре крышки 12.

Кроме того, в крышке 12 под магнитостриктором 11 имеется углубление 15 для скопления жидкости, необходимой для создания явления кавитации.. Регулиров ка зазора 13 между крышкой 12 и устройством для закрепления изделий осуществляется с помощью набора прокладок 16.

Жидкость сливается через штуцер 17.

После укладки изделий 7 на устройст во для закрепления иэделий корпус 2 закрывается крышкой 12, через штуцер

14 под давлением подается жидкость, включается электродвигатель 10, и начинает вращаться устройство для за= креплеиия изделий. При этом магнитостриктор 11 излучает ультразвуковые колебания и в углублении 15 возникает явление кавитации, способствующее нарушеник связи мелкодисперсных частиц с поверхностью обрабатываемых

8292 4 изделий 7 и ускоряющих скорость их обработки, а центробежные силы, возникающие в результате вращений устройства для закрепления изделий, способствуют их удалению.

После прекращения подачи жидкости иэделие 7 сушат, отключают магнитостриктор 11 и электродвигатель 10, открывают крышку 12,и изделие выни1О мают.

Формула изобретения

1Ю 1. Установка для очисткй изделий, содержащая корпус, крышку, устройство для закрепления изделий, привод, устройство для подачи и слива раствора и рабочий орган, о т л и ч а юm a я с я тем, что, с целью повыше ния эффективности очистки, в крышке выполнено отверстие, в котором установлен рабочий орган с образованием полости между ним и устройством для закрепления изделий, установленным с образованием капиллярного зазоре между ним и крышкой.

2. Установка по п. 1, о т л и ч а к m a я с я тем, что,. рабочий орган выЗи полнея в виде мат нитостриктора.

3. Установка по пп. 1 и 2,. о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, в центре крышки выполнена отверстие для подвода раствора.

33

Источнйки информации принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Ne 392172, кл, С 23 G 3/00, 1970.

648292 !

Составитель A. Пятибратов

Редактор Л. Лашкова Техред. И. Асталош Корректор Л. Василина

I О

Заказ 431/8 Тираж 668 Подписное

UHHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, ЖЗ5, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4