Магниторазрядный насос

 

(i ц 7I 2869

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (б1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25.07.78 (21) 2649751/18-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.01.80. Бюллетень № 4 (45) Дата опубликования описания 30.01.80 (51) М. Кл,2

Н 01J 41/12

Государственный комитет (53) УДК 621.528.6 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. Б. Нойсс и С. Д. Островка (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫИ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники и может применяться в установках для градуировки манометрических преобразователей, для покрытия металлами поверхностей в вакууме, в уста- 5 новках электронно-лучевой сварки и в других устройствах, где необходима безмасляная откачка до высокого и сверхвысокого вакуума.

Известны магниторазрядные насосы с IO анодом, представляющим собой набранную из трубчатых ячеек сотообразную конструкцию (1).

Такие насосы обладают слаборазвитой эффективной поверхностью сорбции анода 15 и сравнительно невысокой скоростью газопоглощения, которые обусловлены наличием между ячейками неактивных зон. В этих зонах из-за малости не — о.лько не загорается тлеющий разряд, определяющий собой 20 ионную откачку, но и ограничивается поверхность оседания распыляемого с катодов геттера, характеризующая скорость поглощения газов на аноде.

Известен также магниторазрядный насос, 25 содержащий анод с размещенными в ряды цилиндрическими ячейками (2). Расположение ячеек в аноде этого насоса таково, что на тридцать две из них приходится одна большая ячейка другой конфигурации, 30 образованная частью наружных поверхностей двенадцати цилиндрических ячеек. Такое техническое решение, хотя и позволяет несколько повысить быстроту откачки за счет сочетания ячеек большего и меньшего диаметров, но не обеспечивает развитой поверхности сорбции анода вследствие сохранения в нем неактивных зон.

Целью изобретения является увеличение эффективной поверхности сорбции анода.

Данная цель достигается тем, что ячейки расположены попарно соприкасающимися в параллельных рядах, при этом ячейки пар прилегающих рядов также соприкасаются и смещены одна относительно другой таким образом, что расстояние между их продольными осями равно радиусу ячейки.

На чертеже показан анод предлагаемого насоса.

Анод составлен из цилиндрических ячеек 1, расположеннь1х попарно соприкасающимися в параллельных рядах. Пары прилегающих рядов взаимно смещены, а ячейки пар этих рядов соприкасаются. При этом расстояние между продольными осями смещенных ячеек равно радиусу ячейки. В результате такого распределения образуются ячейки 2, внутренней поверхностью которых служит наружная поверхность ячеек 1. В ячейки 2 вписываются цилиндрические ячейки 1.

При работе насоса в разряде происходит катодное распыление. Распыленный с катодов геттер оседает на развитую поверх712869

Составитель В. Кирсанов

Техред А. Камышникова Корректор Л. Тарасова

Редактор Н. Коляда

Заказ 2901/6 Изд. ¹ 133 Тираж 857 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ность анода, образуя пленку. способную сорбировать газ. При этом вся анодпая поверхность становится эффективной и откачке.

Поглощение активного газа осуществляется в результате химического взаимодействия атомов и молекул газа с частицами геттерной пленки. Хорошо поглощаются и инертные газы. Попадая в угловые впадины ячеек 2, они легко замуровываются там свежим слоем геттера.

Ф ор мул а изобретения

Магниторазрядный насос, содержащий анод с размещенными в ряды цилиндрическими ячейками, о т л и ч à 1о шийся тем, что, с целью увеличения эффективной поверхности сорбции анода, ячейки расположены попарно соприкасающимися в параллельных рядах, при этом ячейки пар прилегающих рядов также соприкасаются и смещены одна относительно другой таким образом, что расстояние между их продольными осями равно радиусу ячейки.

10 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Левин Г. Основы вакуумной техники, М., «Энергия», 1969, с. 171.

2. Патент США № 3.364.370, кл. 313 — 7, 15 опубл. 1968 (прототип) .