Анод магниторазрядного насоса

 

О П И C А H И Е (ii)7I2870

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Сенатских

Социалистических

Реснублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 31.07.78 (21) 2650959/18-25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.01.80. Бюллетень ¹ 4 (45) Дата опубликования описания 30.01.80 (51) М. Кл.з

Н 011 41/12

Государственный комитет (53) 3"ДК 621.385 (088.8) ла делам изобретении и открытий (72) Авторы изобретения

H. П. Решетняк и А. И. Агафонов (71) Заявитель (54) АНОД МАГНИТОРАЗРЯДНОГО НАСОСА

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к средствам получения высокого и сверхвысокого вакуума.

Известен анод магниторазрядного насоса, выполненный в виде набора параллель- 5 но расположенных и электрически соединенных между собой гофрированных ячеек (1).

Недостатком такого анода является его сложность. Он трудоемок в изготовлении, 10 имеет малый коэффициент заполнения поверхности анода разрядными ячейками и обладает низкой надежностью из-за большого количества сварных (паяных) швов.

Известен анод магниторазрядного насо- 15 са, содержащий волнообразную изогнутую трубку, образующую разрядные ячейки и соединенную с полостями для хладагента (2).

Несмотря на простоту конструкции, маг- 20 ниторазрядные насосы с таким анодом обладают низкой быстротой откачки, потому что поверхность ячеек анода, на которых, в основном, осаждается в виде тонкой сорбирующей пленки распыляемый с катодов 25 геттерный материал, недостаточно развита.

Целью изобретения является повышение эффективности откачки.

Поставленная цель достигается тем, что анод содержит два коллектора для хладо- 30 агента, соединенных между собой волнообразными трубками, установленными так, что волны двух соседних трубок образуют разрядные ячейки, а трубки установлены рядами, причем ряды трубок установлены с зазором друг относительно друга.

На фиг. 1 схематично изображен предлагаемый анод, общий внд с частичными вырывами; на фиг. 2 — то же, вид сбоку.

Анод состоит из верхнего 1 и нижнего 2 герметичных коллекторов. Оба коллектора связаны между собой рядами волнообразно изогнутых трубок 3, установленных таким образом, что смежные трубки своими впадинами, расположенными друг против друга, образуют разрядные ячейки 4.

Нижний коллектор 2 снабжен штуцером

5 с перегородкой 6, разделяющей коллектор на две полости и обеспечивающей подвод и отвод хладоагента.

В каждом ряду установлено не менее двух трубок, причем трубки 3 в каждом ряду установлены друг относительно друга с зазором 7. Величина этого зазора определяется технологически, однако предпочтительна величина 1,5 — 2 мм, что позволяет разместить в одном ряду большее количество трубок.

Принципиально работа магниторазрядного насоса с предлагаемым анодом ничем н;

712870

Формула изобретения

Риа.7

Составитель А. Сенчикин

Текрсд A. Как1ышникова Корректор В. Дод

Редактор Н. Коляда

Заказ 2901/7 Изд., е 133 Тира?к 857 Подписное

НГЮ «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий! 13035, Москва, 7Ê,-35, 1?аховская аб., д. 4,5

Типогр3(j)II51, пр. Сапунова, 2 отличается от известных, Однако при работе магниторазрядного насоса с предлагаемым анодом достигается по сравнению с известными анодами увеличение быстроты откачки. Это достигается во-первых, за счет того, что увеличивается коэффициент заполнения поверхности, занимаемой анодом, на 20% разрядными ячейками, во-вторых, за счет развитой поверхности ячейки, образованной поверхностями нескольких трубок, и в-третьих, за счет уменьшения сопротивления потоку газа, поступающего к разрядным ячейкам, который может в данном исполнении анода поступать к ячейкам «е только через межэлектродные зазоры, но и через зазоры 7 (фиг. 2) между трубками 3.

Наличие связи между ячейками через зазоры 7 одновременно с указанным выше эффектом, улучшает запуск насоса прп л1обом рабочем давлении, потому что разряд, возникающий в одной ячсйке, легко перебрасывается в любую другую.

Увеличение быстроты откачки позволит при проектировании новых насосов на заданную величину быстроты откачки, создать насос с уменьшенными габаритами и массой. Учитывая, что магниторазрядпые насосы, в основном, изготавливаются из дефицитной нержавеющей стали, снижение габаритов, металлоемкости и массы нового насоса позволит соответственно увеличению быстроты откачки насоса снизить его стои5 мость.

1. Анод магниторазрядного насоса, со10 держащий волнообразную изогнутую трубку, образующую разрядные ячейки и соединенную с полостями для хладагента, о тлич а ющи йся тем, что, с целью повышения эффективности откачки, анод содер15 жит два коллектора для хладагента, соединенных между собой волнообразными трубками, установленными так, что волны двух соседних трубок образуют разрядные ячейки, а трубки установлены рядами.

20 2. Анодпоп.1,отличающийся тем, что ряды трубок установлены с зазором друг относительно друга.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

25 1. Авторское свидетельство СССР

М 595808, кл. Н 013 41/12, 1976.

2. Авторское свидетельство СССР

Х 371633, кл. Н 01J 41!12, 1968 (прототип).