Устройство для термического окисления кремниевых пластин

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕНИОЕ ИАТЕИТИОЕ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (щжюж/гз (Щ {И94.78 (46) 30.10.93 Ьол, йя 39-40 (72} Глущенко 88. (54) УСТРОЙСТВО ДДЯ ТЕРМИЧЕСКОГО

ОКИСЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЬ|Х ПЛАСТЙН (19) ЯЦ (11) (51) С 30 1 0 С 0 В 29 06

716178

Изобретенйе относится к области алек- место с более высокой температурой подотронной техники и касается. в" частности. грева она также не успевает прогреться и, техйологйческого процесса окисления пла- не встречая преграды. растекается в камере . стим кремния в парах воды..., со значительно более низкой температурой

И3вестйа установка для термического 5 поддержания. Начинается ее избыточное окИсмения кремния в йотоке гаыв; которая накопление. Это ведет к неконтролируемосодержит кварцевую трубу, сиЛйтовые стер- сти процесса и сужению рабочего диапазожнй,-увлажнйтель газов, ротэметры и кра- на парообразования. В большей мере этот ны, " :.: . : .. :,... : .. недостаток проявляется при отнОсительно

Нефостаткй,.присущие. этой установке,, 10 низкой температуре ведения процесса

Мключавтся в том, что процесс окисления порядка Г= t 000 Ñ. При этом меньшую требует дополнительного времени, необхо- температуру имеет и зона в месте основадимого для нагрева Сосуда С деионйзован- ния наклонного патрубка, ней водой, связанного магистралью с .: . Сложным представляется и конструк«варцевой трубой. э в самой магистрали на 1о тивное решение устройства. Для того чтобы . ее стенках пройсходит конденсация паров сделать вмонтированную перегородку с отжидкости, что ведет к нэрушейию режима верстием, необходимо в месте ее располо, окиеления. ::,:: :, .: ., -: - -- .. - . -: жения при изготовлении отрезать часть

Известно также устройство. которое со-::" камеры, сварить ее торец с отдельно изго, держиткварцевыйреактор.магистраль под- 20 товленной перегородкой и с отрезной ее вчи киСлорода. патрубок йофйФГЗЫдкости; частью . имвкиций л@патообразйую насадку, разме- . Мель.изобретения — исключение накоп щейную в реакторе, капиллярный каплеоб- " -ления воды в реакторе, более полное ее рааователь- и микронасос." „ ;.:,, парообразование и упрощение устройстЙедостаткамэтогоустройства является 25 ва. усложненность конструкции, связанная с:: Цель достигается тем, что патрубок вынэМичием микронасоса и капилляра .проте- . полнен в виде колена, изгиб которого раз «ания воды; расположенного в зоне парооб- . мещен в нижней части реактора. разования. Капилляр,. имеющий суженое.. На чертеже схематически показана конотверстиа; в мотором действуют большие З0 струкция устройства.

orðàíè÷ì8àioùèå сйлы молекулярного сцеп-... Устройство содержит горизонтально линия. не позволяет в широкйх пределах расположенный кварцевый реактор 1. усконтролируемо регулировать .расходом во- тановленный в температурной зоне нады, э: следовательно. управлять режимом: гревателя 2, и трубопроводы 3 и 4 подачи окисления..: ... :.:,: .. . 35 кислорода и воды с каплеобразователем 5, Наиболее близким "по"доЙФйгвейоМу ре- имеющим наклонно размещенный в по зультату и технической су1цностй является . сти реактора 1 патрубок 6 с коленом 7, расустройство для термического оКйсления, со- полон<енным в нижней части реактора 1 и держащее горизонтально установленный оканчивающимся выходным отверстием 8,, кварцевый реактор, внутри когорого уста- 40 8 реакторе 1 установлены кассета 9 с полуновлены кассеты для размей еййя кремнив- проводниковыми пластинами 10, вых ппастин„и поперечная"йервгородка с: . . Работа устройства заключается вследуокном, трубопроводы подачи" кислорода и ющем. .воды и кайлеобрамовэтель с патрубком. на- Вода по трубопроводу 4 от каплеобраклонно расположенным е полосуй реактора "б зователя 5 из зоны с температурой, близкой так, что ere .eûxîäíîå отверстие размещено к окружающей. поступает по наклонному нйже окна в йерегородке. :;: патрубку 6 реактора 1 в высокотемпературНедостатком устройства является то, ную зону нагревателя 2. Постепенно пэро.что увеличение количества воды, выражаю- образуясь, она поступает в направленное щееся в большом количестве стандартных 50 eeepx êîëåíî 7 патрубка 6 и далее через капель (R 40), подаваемых каплеобразова- выходное отверстие 8 втемпературную зону

; телем, приводйт к 1 oily, что"вся водИ "йе"" " "веденйя реакции. где на кассете 9 установуспевает парообразоваться и-йэчинается ев лены полупроводниковые пластины 10, Даизбыточное йакопление. Происходйт это лее для того. чтобы в реактор 1 поступал вследствие большого градиента температур 65 пар. горизонтал ьная часть патрубка 6 име. вдоль камеры йарогенератора от 100 до ет колено 7, направленное вверх, ограни250 — 400 С. Вода, скатываясь по наклонно- " чивающее попадание капель воды в зону му патрубку с большой частотой следования реакции. капель, неуспеваетиспариться всвоемдви- Использование устройства в серийном жении. Попадая. в Камеру парогенератора, в и массовом производстве полупроводнико716178

Составитель

Тех ред М.Моргентал . Корректор M. Петрова

Редактор О. Юркова

Заказ 3188

Тираж Подписное

НПО "Поиск" Роспатента

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул.Гагарина, 101 вых приборов позволяет интенсифицировать процесс окисления поверхности пластин за счет исключения попадания воды в низкотемпературную часть реактора и полного исключения накапливания ее в атой 5 зоне, а конструкция самого устройства проще по сравнению с известной.

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОГО.

ОКИСЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН; включающее горизонтальный кварцевый реактор, установленные внутри него кассеты для размещения кремниевых пластин, 15 трубопровод для подачи воды, снабженный каплеобразователем, и трубопровод для подачи кислорода, соединенные пат-

6 (56) Гаврилова P.À, и Скворцова А.M..

Технология прОизводства полупроводниковых приборов. "Энергия", Ленинградское отделение, 1968, с. 160-161.

Патент ФРГ М 1958988, кл. 12 g 17/34, 1973.

Авторское свидетельство СССР гк 535771, кл, В 01 J 17/34„1973. рубком, наклонно установленным в реакторе и имеющем выходное отверстие, направленное в сторону кассет, отличающееся тем, что, с целью йсключенйя накопления воды в реакторе, более полного ее парообразования и упрощения устройства, патрубок выполнен в виде колена, изгиб которого размещен в нижней части реактора.