Устройство для непрерывного получения кремния

 

1. Устройство для непрерывного получения кремния осаждением его из газовой фазы на исходную основу, включающее реакционную камеру, снабженную нагревателями, штуцерами для подачи и отвода газов и механизмом перемещения получаемого кремния, отличающееся тем, что, с целью повышения чистоты процесса, нагреватели выполнены в виде экранов из теплопроводящего материала, установлены внутри реакционной камеры, закреплены в ее боковых стенках и снабжены приводами горизонтального перемещения и управления, размещенными вне реакционной камеры, и над ней установлены шлюзовая и промежуточная камеры для подачи и ввода в реакционную камеру исходной основы, выполненной в виде стержня из кремния.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что шлюзовая камера снабжена люком для загрузки, захватным приспособлением для закрепления исходной основы, установленным с возможностью вертикального перемещения, и отделена шибером от промежуточной камеры, которая снабжена дополнительным нагревателем для сваривания торца исходной основы с торцом кремния, получаемого в реакционной камере.

3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что механизм перемещения получаемого кремния размещен под реакционной камерой, соединен с ней охлаждаемой трубой и выполнен в виде двух гидрозажимов, один из которых неподвижен, а другой установлен под первым с возможностью вертикального перемещения.

4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что нагреватели установлены в реакционной камере ярусами друг над другом и каждый ярус содержит их четное число.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к биохимии

Изобретение относится к способу проведения каталитических экзотермических газофазных реакций и реактору для его осуществления

Изобретение относится к дренажно-распределительным элементам для фильтров и адсорберов с зернистой загрузкой и позволяет повысить надежность в работе и равномерность распределения жидкости, а также снизить трудоемкость изготовления

Изобретение относится к пористым частицам привитого сополимера, предназначенным для получения адсорбирующего материала, которые адсорбируют металлы и другие вещества, способу их производства и адсорбенту, в котором они применяются. Пористые частицы привитого сополимера содержат по меньшей мере одну смолу, выбранную из олефиновых смол, водонерастворимых модифицированных смол на основе поливинилового спирта, амидных смол, целлюлозных смол, хитозановых смол и (мет)акрилатных смол. Причем смола содержит введенную в нее прививочную цепь, включающую структурное звено, в состав которого входит функциональная группа. Размер частицы находится в диапазоне от 10 мкм до 2000 мкм, средний диаметр пор на поверхности частицы находится в диапазоне от 0,01 мкм до 50 мкм, и степень прививки находится в диапазоне от 30 до 900 частей по массе на 100 частей по массе смолы. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 11 табл.

Изобретение относится к технологии кремния и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния
Изобретение относится к электротермическому получению кремния в рудно-термических печах

Изобретение относится к электротермическому производству технического кремния

Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности к производству высокочистого кремния, который может быть использован при изготовлении солнечных элементов

Изобретение относится к области металлургии

Изобретение относится к подготовке шихтовых материалов и производству кремния в электротермических печах, который может быть использован в полупроводниковой технике

Изобретение относится к области получения высокочистых веществ и касается разработки способа получения высокочистого моноизотопного кремния Si28, который может быть использован в микроэлектронике

Изобретение относится к цветной металлургии, в частности, к карботермическому методу получения кремния для фотоэлектронной промышленности, в том числе для изготовления солнечных батарей
Наверх