Цифровой анализатор временных характеристик полупроводниковых приборов

 

О П И С А Н И Е о1>752203

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

-ф и (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 20.12.77 (21) -2557575/18-25 с .присоединением заявки чав (23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.07.80. Бюллетень No 28 (45) Дата опубликования описания 30.07.80

I5l) Ч.Кл.з G 01 К31 26

Государственный комитет по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382 (088.8) (72) Авторы из о бр е те н и я

А. И. Панов и В. Ф. Ворожеев (71) 3 aявигель (54) ЦИФРОВОЙ АНАЛИЗАТОР ВРЕМЕННЫХ

ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к области электронной техники для измерения динамических параметров интегральных схем.

Из вестно устройство (1) для контроля параметров интегральных схем, содержащее генератор импульсов, дискриминатор, блок управления.

Недостатком устройства является недостаточно высокая точность измерителя, обусловленная неточностью и нестабильностью,системы автосдвига стробимпульсов, выполненной на генераторах быстрого пилообразного, напряжения (БПН) .

Известен цифровой анализатор (21 вреI менных характеристик полупроводниковых приборов, содержащий контактное устрой ство для подключения испытуемого прибора и генератор тестовых импульсов, которы . через коммутатор подключены ко входу стробоскопического дискриминатора, устройство автосдвига стробимпульса, соединенное со входом последнего непосредственно и со входам генератора тестовых импульсов через формирователь частоты тестовых импульсов, блок управления, соединенный входами со стробоскопическим дискриминатором и коммутатором, а зыходам — с устройством автосдвига, формирователем и генератором частоты тестовых импульсов.

Применение такого устройства значительно повышает точность измерения контролируемои величины. Однако с повышением точности измерителя фактически измеряемая величина в значительной степени будет определяться точностью задания тестовых условий (параметров) измерения полупроводникового прибора. Такими параметрами являются параметры генератора тестовых импульсов (амплитуда, смещение, длительность фронта). Причем неточность задания параметров генератора тес-:оных импульсов будет отражаться на точнос-., измерения фактически измеряемой величины неодинаково от схемы к схеме и не может быть учтена какими-либо известными методами, поэтому для повышения точности измерения фактически измеряемой величины необходимо наряду с повышением точ20 ности самого измерителя повышать точность задания тестовых условий (параметроз).

Кроме того, коммутатор, подключающее устройство и входные реактивности измеряемого прибора, искажая тестовый им25 пульс генератора, дополнительно снижают точность установки параметра тестового импульса непосредственно на выводах испытуемого прибора.

Целью, настоящего изобретения является

3О повышение точности фактически измеряс,3

752203

1О

ВО

4О

5О

65 мой величины путем повышения точности задания параметров тестового импульса программируемого генератора непосредственно на:выводах испытуемого прибора.

Поставленная цель достигается тем, что в аналгзатор дополнительно введен блок сравнения и коррекции тестовых импульсо —., состоящий из реле времени, устройства ана. tçà и сравнения, устройства памяти и цифро-аналогового преобразователя, приче:: устройство анализа и сравнения соединено с реле времени, блоком управления, уст,ройс гвом автосдвига непосредственно. я с генера гором тактовых импульсоз через цпфро-аналоговый преобразователь.

Схема описываемого устройства показ а и а на чертеже.

Цифровой анализатор содержит систему автосдвига стробимпульсов 1, соединенную с формирователем частоты тестовых импульсов 2, который совместно с системой автосдвига стробимпульсов 1 задает частоту генератора тестовых импу.;ьсов 8.

Последний же, в свою очередь, предназначен для формирования амплитуды, смещения, длительности и задержки тестовых импульсов, подаваемых,на вход испытуемого прибора, например ИС, помещенного в контактное устройство 4. Блок управления измерением 5 своими входами связан со стробоскопическим дискриминатором б и коммутатором 7. Блок управления изме1)ением 5 управляет работой системы автосдвига 1, формирователем частоты тестовых импульсов 2, генератором тестовых импульсов 8 и блоком сравнения и коррекции параметров генератора тестовых имнульсов 8, включающего в себя устройства памяти и цифро-аналогового преобразования значений амплитуды 9, смещения 10, длительности фронта Х1 тестового импульса, устройство анализа и сравнения 12 и реле времени 18. Коммутатор 7 осуществляет подключение выводов испытуемой

ИС к стробоскопическому дискриминатору б, источникам питания и нагрузкам (последние на чертеже не наказаны). Значения измеренных параметров тестового импульса для,сра внения с заданными передаются с системы автосдвига стробимпульсов 1, в устройство анализа и сравнения 12,и с его выхода через устройства 9, 10, 11 — на генератор тестовых импульсов 8. Анализат6р работает следующим образом.

Тестовый импульс z частотой следования, программируемой блоком управления 5 и определяемой системой автосдвига 1 ч формирователем частоты тестовых .".. пульсов 2, подается на генератор тестовых импульсов 8. Параметры тестового импульса (амплитуда, смещение, длительность фронта) в зависимости от типа измеряемой схемы программируются в генераторе тестовых импульсов З,с блока сравнения и коррекции параметров генератора тестовых импульсов 8 и с блока управления 5. Перед ,началом измерения тестовый импульс с заданными параметрами подается через коммутатор 7 на испытуемую схему, а также и непосредственно на стробоскопический дискриминатор б, который стробируется стробимпульсами устройства автосдвигя 1.

Производится измерение параметров тестового импульса своим измерителем, имеющим высокую точность измерения.

Измеренные значения параметро в тестового импульса с устройства автосдвига I передаются в устройство анализа и сра внения 12, .где сравниваются с заданными. При отличии измеренны и заданных параметров значения заданных параметров корректируются при помощи устройства 9, 10, 11. Контроль и коррекция параметров тестового импульса производится периоди .ески. Периодичность контроля коррекции определяется, реле времени И илп программой измерения. Точность измерения динамических параметров ИС прн этом существенно повышается.

Фо рмуля изобретения

Цифровой анализатор временных характеристик полупроводниковых приборов, содержащий контактное устройство длч подключения испытуемого прибора и генератор тестовых импульсов, которые через коммутатор подключены,ко входу стробоскопического дискриминатора, устройство явтосдвига стробимпульса, соединенное со входом последнего непосредственно и со входом генератора тестовых импульсов через формирователь частоты тестовых импульсов, блок управления, соединенный входами со стробоскопическим дискриминатором и коммутатором, а входом — с устройством а втосдвига, формирователем и генератором частоты тестовых импульсов, отл ич а ю щи и с я тем, что, с целью новь щения точности измерения, в анализатор дополнительно введен блок сравнения и коррекции тестовых импульсов, состоящий из реле времени, устройства анализа и сравнения, устройства памяти и цифро-аналогового преобразователя, причем устройство анализа,и сравнения соединено с реле времени блоком управления, устройством автосдвига непосредственно, а с генератором тактовых импульсов через цифро-аналоговый преобразователь.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 359639, кл. G 05 В 23/02, 1972.

2, Авторское свидетельство по заявке № 2518245/25, кл. G 01 К 31/26, 1977 (прототип) .

752203! !

I 1

Корректор С. Файн

Редактор В. Левятов

Заказ 830/1020 Изд. ¹ 371 Тираж 1033 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фнл. пред. «Патент»

l .!

И /

Составитель В. Немцев

Техред А. Камышникова