Способ регенерации магнитных электроразрядных насосов

 

C Р : .. 0 j; . /

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советскии

Социалистические

Республик (i>i764010

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 18.12.78 (21) 2697537118-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл. з

Н 01 J 41/12

Государственный комитет

Опубликовано 15.09.80. Бюллетень № 34 (53) УДК 621.528..5 (088.8) ло делам изобретений и открытий

Дата опубликования описания 23.09.80 (72) Авторы изобретения

А. Б. Владимиров, В. Н. Кайгородов, С. М. Клоцман и И. Ш. Трахтенберг

Институт физики металлов Уральского научного центра АН СССР (71) Заявитель (54) СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ МАГНИТНЫХ

ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ НАСОСОВ

Изобретение относится к разрядным приборам, предназначенным для откачки при помощи диффузии ионов, в частности для регенерации магнитных электроразрядных насосов (МЭН) .

Известен МЭН, работа которого основана на поглощении газов титаном, распыленным с плоских катодов при высоковольтном разряде в магнитном поле, для достижения предельной производительности требует после напуска воздуха очистки поверхностей титановых катодов от адсорбированных газов, регенерации. Такой способ регенерации заключается в прогреве насоса под откачкой при 400 С 20 — 30 ч с последующим остыванием насоса в течение 3 — 4 ч (1).

Однако потребляемая нагревателями мощность составляет несколько кВт. Кроме того, перед прогревом необходимо снимать магнитную систему насосов, отсоединять систему водяного охлаждения и кабели высокого напряжения, а после остывания насоса после прогрева необходимо провести упомянутые операции в обратном порядке. Кроме длительности и трудоемкости способ регенерации прогревом обладает еще одним недостатком: длительный прогрев и последую2 щее охлаждение металлической конструкции вызывает остаточную деформацию отдельных ее частей. В результате этого происходит разгерметизация металлических уплотнений и изменение габаритных размеров ячеек корпуса насоса, в которое вставляются магнитные блоки. Последнее затрудняет сборку магнитной системы и зачастую приводит к порче магнитных блоков.

Наиболее близким по технической сущности является способ регенерации магниты ных электроразрядных насосов, заключающийся в том, что сначала производят безмасляную откачку воздуха из МЭН до давления 10 з — 10 4 мм рт. ст., запускают насос и заполняют а ргоном (2) .

Однако необходимо длительное время для достижения предельного вакуума.

Цель изобретения — сокращение времени процесса регенерации.

Эта цель достигается тем, что регенерацию проводят при работе МЭН в режиме короткого замыкания, для чего давление аргона доводят до 10 з — 10 е мм рт. ст. с выдержкой 2 — 5 мин, и затем аргон откачивают до давления 104 — 10 з мм рт. ст., а

764010

После откачки воздуха из МЭН цеолитовыми насосами в работающий МЭН запускается аргон до перехода работы насоса в режим короткого замыкания. Давление аргона в насосе при этом составляет не выше 10 мм рт. ст. В этих условиях насос работает 2 — 5 мин. Далее МЭН выключается и аргон откачивается цеолитовыми насосами до давления не выше 10 з мм рт. ст., после чего откачка МЭН цеолитовыми насосами прекращается и МЭН включают снова. Проработав 10 — 30 мин (в зависимости от давления напуска аргона) в режиме 15 короткого замыкания, МЭН запускается.

Характерной особенностью запуска МЭН после аргонной бомбардировки является резкий переход от режима короткого замыкания к высокой скорости откачки. Напряжение на насосе скачком достигает максимального значения, а ток насоса за 1—

2 с падает не менее, чем на 2 порядка. Для достижения предельного вакуума описанная процедура осуществляется несколько раз.

Разогрев насоса в процессе бомбардировки и ионами аргона не превышает 70 С.

Применение предлагаемого способа регенерации магнитных электроразрядных насосов обеспечивает сокращение времени полной регенерации МЭН до 1,5 — 2 ч, что более чем в десять раз меньше по сравнению с временем, рекомендуемым заводом-изготовителем МЭН; сокращение потребляемой энергии для регенерации мощности примерно в 10 раз; отсутствие необходимости прогрева насоса до 400 С и связанное с этим устранение возможной разгерметизации системы

Формула изобретения

Составитель Г.Жукова

Техред К.Шуфрич Корректор О. Билак

Тираж 844 Подписное

Редактор С. Патрушева

Заказ 6606/! 7

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 причем процесс повторяют несколько раз до получения предельного вакуума.

Способ осуществляется следующим образом. и деформации ячеек для размещения магнитных блоков; отсутствие необходимости для регенерации снимать магнитную систему отсоединять систему водяного охлаждения насоса и кабелй высокого напряжения.

Способ регенерации МЭН методом аргонной бомбардировки был испытан при эксплуатации насосов НЭМ-100, НОРД-100 и НОРД-250, 4 — 6 циклов аргонной бомбардировки за 1,5 — 2 ч позволяли получать вакуум не хуже 5-.10 в мм рт. ст. в системе, объем которой не превышал объема насоса

НОРД-350, служившего для ее откачки.

Способ регенерации магнитных электроразрядных насосов, заключающийся в том, что производят откачку насоса до давления

10 з — 10 4 мм рт. ст., запускают насос, заполняют его инертным газом, например аргоном, выдерживают и откачивают аргон,. отличающийся тем, что, с целью сокращения времени и упрощения процесса, давление аргона доводят до 10 — 10 - мм рт. ст, выдерживают 2 — 5 мин, затем откачивают аргон до 10 4 — 10 з мм рт. ст. и повторяют процесс несколько раз до получения предельного вакуума.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Техническое описание. Насос магниторазрядный диодный охлаждаемый. НМДО

025 1, 1977.

2. Карпов Ю. А. и др. Магнитные электроразрядные насосы с холодными катодами.

«Приборы и техника эксперимента», № 2, 1964, с. 5 (прототип) .