Устройство для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин

 

ОПИСАНИЕ, ИЗОБРЕТЕНИЯ

7686I6

Союз Саветскик социалистических Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.08.78 (21) 2662766/25-23 с присоединением заявки № (23) Приоритет (51) М. Кл.

В 24В 41/00

Государственный комитет

CCC,Р ло делам изобретений н открытии (43) Опубликовано 07.10.80. Бюллетень № 37 (53) УДК 621.229.3 (088.8) (45) Дата опубликования описания 07.10.80 (72) Авторы изобретения

А. В. Балыков, М. Н. Коган, Ю. В, Пантелюшкин, А. А. Цесарский и А. П, Артамонова (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПРАВЛЕНИЯ УГЛА СРЕЗА

KРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКИ ОРИЕНТИРОВАННЫХ ПЛАСТИН

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении пьезокварцевых пластин.

Известно устройство для исправления угла среза пьезокварцевых пластин, содержа,щее корпус и рабочие секции, служащие для размещения на них пластин и выполненные в виде параллельно расположенных линеек — столов;(1).

Недостатком известного устройства является необходимость в наличии мерных плиток, соответствующих возможным отклонениям партий пластин от кристаллографических осей.

Недостатком известного устройства является невысокая точность обработки и узкие технологические возможности вследствие применения устройства только на плоскошлифовальных станках с прямоугольным столом.

Целью изобретения является повышение точности обработки и расширение технологических возможностей.

Данная цель достигается тем, что в уст,ройстве для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин, состоящем из корпуса и рабочих секций, служащих для размещения на них пластин, каждая из рабочих секций выполнена в виде одной неподвижной и одной подвижной втулок, установленных на общем валу, имеющих по одному перпендикулярному и одному скошенному под равными углами торцу и контактирующих друг с другом по перпендикулярным торцам, причем на скошенном торце подвижной втулки, снабженной фиксатором, укреплена поворотная кассета имеющая сквозное отверстие, соответствующее контурной форме исправляемой

10 пластины.

На чертеже изображена конструкция одной рабочей секции устройства и схема настройки секции на определенную поправку по углу среза. тб Каждая рабочая секция состоит из двух втулок — подвижной 1 и неподвижной 2, общего пустотелого вала 3, с помощью которого втулки крепятся к корпусу 4, в полости которого создается вакуум; фиксатора 5 и кассеты б. Каждая из втулок имеет соответственно перпендикулярные и скошенные под одинаковыми углами торцы. Постоянный контакт втулок при взаимном вращении осуществляется по перпендикулярным торцам, при этом один из скошенных торцов постоянно служит основанием, а на торце второго базируется исправляемая пластина.

Фиксатор 5 служит для фиксирования относительного углового положения втулок 1 и

30 2, а в сквозное отверстие вращающей Стт р = arctg cos tg —, 2)

Корректор Т Трушкина

Техред И. Пенчко

Редактор В. Смирягина

Подписное

Изд. № 495

Тираж 956

Заказ 1990/5

Типография, пр. Сапунова, 2 » катссеть1 б устайавливается обрабатываемая пластина 7.

Настройка осуществляется следующим образом. Базовая плоскость скошенного торца подвижной втулки 1 ориентируется на требуемый угол, равный поправке угла плоскости среза пластины, путем вращения подвижной втулки 1 относительно неподвижной втулки 2 по лимбу. Для данных условий угол поворота подвижной втулки 1 может быть определен по формуле

COS р — COS à

) = arccos

sin a где р — угол поворота подвижной втулки; р — угол пойравки угла плоскости среза пластины; а — постоянный угол скоса торцов втулок.

Требуемый угол фиксируется фиксатором 5.

Далее в соответствии с формулой, выведенной методами сферической тригонометрии, должно быть откорректировано направление наклона плоскости среза где р — угол направления наклона плоскости среза.

Корректировка направления наклона плоскости среза пластины осуществляется за счет поворота кассеты б по лимбу на требуемый угол гр. Исправляемая пластина 7 устанавливается в кассеТу. Такая жепроцедуа выполняется с другими секциями. После

P этого создается разрежение в полости с екции, и пластина фиксируется на поверхности втулки 1 в соответствии с выбранной ориентировкой. При повороте втулки 1 на угол р от 0 до 180 угол поправки среза р изменяется в пределах от 0 до 2сс. Диапазон изменения угла р устанавливается в зависимости от точности пластин по углу среза на операцйях резки и составляет в pe* альных условиях 10 — 15 . Исходя из этого, значения постоянных углов а выбираются в пределах 5 — 8, но могут в общем

5 случае иметь практическое значение до 45 .

Угол скоса торцов втулок а в общем виде определяется выражением

45 а ) 10 где р„,, — максимальная поправка угла среза исправляемых пластин.

Предложенное устройство повышает точность обработки по сравнению с предыду15 щими методами в 5 и более раз за счет увеличения передаточного о- ггошейия движения регулирования к двпи: нрпо установки.

Формула изобретения

Устройство для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин, состоящее из корпуса и рабочих секций, служащих для размещения на них пластин, отличающееся тем, что, с целью повышения точности обработки и расширения технологических возможностей, каждая из рабочих секций выполнена в виде одной неподвижной и одной подвижной втулок, установленных на общем валу, 30 имеющих по одному перпендикулярному и одному скошенному под равными углами торцу и контактирующих друг с другом по перпендикулярным торцам, причем на ско35 щенном торце подвижной втулки, снабженной фиксатором, укреплена поворотная кассета, имеющая сквозное отверстие, соответствующее контурной форме исправляемой пластины, Источники информации, 40 принятые во внимание при эксперти е з

1. Авторское свидетельство СССР

¹ 296371, кл. В 24В 41/00, 12.03.б9.