Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов

 

ОПИ ДНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()7774И 6

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнятельное к авт. свид-ву 593070 (51) М.Кл з С 01 В 11/24

G 01 В 9/021 (22) Заявлено 05.10.78 (21) 2672524/25-28 . 1.. с присоединением заявки—

< (23) Приоритет—

l ! (43) Опубликовано 07.11.8О. Бюллетень № 41 (45) Дата опубликования описания 04.12.80

Государственный комитет

1 СССР по делам "изобретений

/ и открытий (53) УДК 531.715.1 (088 8) (72) Авторы

ызобр етеовия I (71) 3 а явитель

М. Л. Гурари, А.,П. Голиков и А. С. Сонин

1 ! . — 1

1

1 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕЙИЯ" Г"" .---"--- -1

ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЗЕРКАЛЬНЫХ

ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ

Ъ

I ъя

)

1

\

Изобретение относится к контральто.-- чески активного,величества, толщина h котоизмерительной технике, в частности к.уст-": — рой выбирается из ооотношент1я а. h = 45, ройствам для измерения .,reаметричесйи. где n — уделвйОе" в«раП«енто плоскостн"По- параметров зеркальных оптйчеаких эле- ляризаций "опти 1ески активного вещества, — ! ментов, в том числе их радиусов криаизйы 5 и рааположенной между отражателем и и отступлений от сферичности. . рассеивателем па раллельно плоскосттт рaсНаиболее близким к изойретен ию по севвателя, поляризатором, расположенным тЕхнической сущности является устройство . между источником когерентного излу(ения по" основному авт. св. № 593070, содержа- и еветоделйтелем, и анизотропными pdc- щее последовательно расположенпйе, ис- .10 сеиваьщими элементами, расположенными точник когерентного излучения и светоде- на раасеивателе " й" ориентированными литель, систему формирования опорного перпендикулярно к Плоакости .поляризации пучка излучення и систему формировбния поляризатора; наибольший размер li кото-! предмепногО лучка излучения, включаю"-"-- рых выбирают в диапазоне 0,3X(li(1,5Х, щую блок освещения и сигнальный канал, l5 где Х вЂ” длина, волны источника когерент; состоящий из отражателя, рассеивателя и - ного излучения. регистратора излучения, прячем рассеитззЬ= "

° тель установлен между блоком освещения На фиг. 1 изображена принципиаль4ая и отражателем на,расстоянии; мекььйгеФ - схема отуйсываемотд устройства; на фиг. фокусногб расстояния отражателя 11).""" 20, 2,— рассеиватель.

Однако это устройство обладает боль- Описываемое устройство содержит по- шими потерями энергии излучения,йри следовательно расположенные источник 1 д ву кратном прохождеттии его через рассей-, когерентного излучения (лазер),поляриза- ватель, что приводит .к ухудшению качест-,. тор 2, аветоделигель 8, связанный оптичева твнтерферограмм, и, в конечндм итоге-, к 25 ски с системой 4 формирования опорного снижению точноспн измерения. " пучка излучения и"сйстемой формирования

Целью изобретения является повьййеййе предметного пучка излучения, включающей точности измерения, . . блок 5 освещения и сигнальный канал, со.. Достигается это тем что устройство стоящий из отражателя 6; лластины, 7, вы снабжено «пластиной, выполненной из апти- ЗС лолненной из оптичеаки активного:вещестМзйк-.

1 -.——

/ г

777411

3,.

== .. .Ъ/ . : а =../: еа, расаеивателя 8 и регистратора 9 излучения. "

Отражатель б установлен на подвижной каретке механизма 10 npостранственного сдвига. Схема устройства построена таклм 5 образом, что рассеиватель 8 установлен ne-

ipeg отражателем О на,расстоянии d, меньшем фокусного .расстояния отражателя б, а пластина 7, выполненная из OIITHRscKH активного вещества, например,.железо-иттриевого граната, расположена между рассеи, вателем 8 и отражателем б,параллельно плоскости ра ссеивателя 8 и выполнена таким образом, что ее толш ина h подчиняется соотношенйю а. h = 45, где а — удель- 15 ное вращение;плоскости поляризацйи "оптически активного вещества, например, желе зо-иттрйевого граната.

Рассеиватель 8 выполнен в,виде стеклянной плоскопараллельной пластины 11 20 (см. фиг. 2), .на одну из.поверхностей котороА нанесена пленка 12 полимера, выпол- - ленная; например, из полиаксиэтилона, линейные моЛекуА .кОторой являются анизятропными ра1саеивающими элементами 13 25 для когерентного излучения источника 1, Аййзотропные .рассеивакяцие элементы И ориентированы в плоскости пленки 12поли мера перпенликулярно к плоскости поляризации поляризатора 2, а их наибольший зо размер .(длина) li находится в диапазоне

О,ЗЛ ii <1,5Л, где Л вЂ” длина, волны источника 1 когерентного излучения (лазера).

Описываемое устройство работает следующим образом. 35 . Поток излучения от источника 1 когере11тного излучения преобразуется поляризатором 2 в поток линейно поляризованно, го йзлучения, который через светоделитель

8, блок 4 освещения, рассеяватель 8 и 40 пластину 7, вынолненную из оптически ак* гивнбто""йещества, подают на ; отражатель б,- на место которого в процессе измерения устанавливают наследуемый зеркальный оптический элемент. Отраженный " этйм. 45 элементом- поток излучения через "плас1 ину

7, выполненную из - оптически активного .вещества, и рассеиватель 8 подается на регистратор 9 излучения" одновременйо с, опорным пучком излучения, поступающим через систему 4 формирования" опорного, пучка излучения. После получения íà регистраторе 9 голограммы исследуемый зеркальный оптический элемент сдвигают механизмом 10 пространственного сдвига 55

1, из полбжения, занимаемого им в процессе ,регистрацйи голограммы,,На этапе восстановления регистратор 9 излучения облу4айт опорным piRov йзлучения,.а исследуемый элемент + потоком, 60 прошедшим через блак Б освещения..При наблюдении через голограмму, полученную на,регистраторе 9 излучения, на поверхнос-, ти рассеивателя 8 наблюдают интерферен- .— тгиотмтч кя панч по котовой определяю г 65

4 геометрические.. параметры исследуемого оптического зеркального элемента.

Анизотропные рассеивающие элементы

l8. (линейные молекулы полимера) ориентированы перпендикулярно плоскости поляризации поляризатора 2. Когда поток поляризованного когерентного излучения, прошедший - через блок б освещения, подается на рассеиватель 8, электрический вектор излучения перпендикулярен к продольной ocH анизотропных рассеивающих элементов И (молекул полимера). Эффективность рассеяния когерентного излучения определяется,в этом случае наименьшими с. размерами молекул полимера причем этот размер значительно меньше длины волнь1

Л:источника когерентного излучения. Поэтому при прохождении рассеивателя 8 когерентное иалучение практически не испы. ть вает :раасеяния и без потери энергии проходит к исследуемому зеркальному элементу через пластину 7, в,результате чего плоскость поляризации когерентного излучения поворачивается на 45, так как толщина h пластины 7 выбрана из условия а. h =4 5 . После отражения OT зеркального элемента поток излучения проходит через пластину 7 в прОтивоположном направленйи, в результат . чего плоскость поляриза- ции излучения поворачивается еще на 45 и становится параллельной продольной. оси анизотропных .рассеивающих элементов И.

Эффективность рассеяния излучения на анизотропных рассеивающих элементах,18 (мо- - . лекулах полимера) в даннбм случае определяется длиной li этих элементов, которая выбирается близкой к длине волны Л источника когерентного излучения в силу условйя

О,ЗХ

  • Ф о р м у л а "и з о б,р е т е.н и я

    Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов по авт, св,ид. № 59307IO, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения, то4ности йзмеренйя, оно снабжено пластиной, выполненной из оптически активного вещества, толщина Ь, которой выбирается из соотношения а h = 45, где а — удельное вращение йлоскости поляризации опт"ическй активйбго вещества, и,расположенной межлч отоажателем и эассеивателем

    «777411

    2 г

    Фиг. 2"

    Составитель Л; Лобзова

    Техред И. Заболотнова г»

    Редактор Е. Гончар

    Корректор С. Файн

    Заказ 1470/1477 Изд. № 545 . - . Тираж 810. Подписное

    НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

    113035, Москва, Ж-36, Раушская наб., д. 4/5

    Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

    5 ь, параллельно плоскости рассеивателя, поля.ризатором, расположенным между источником когеренпного излучения и светоде.лителем, M анизотропными рассеивающими элементами,,расположенными Hà рассеивателе и ориентированными перпендикулярно плоскости поляризации поляризатора, наибольший размер и которых выбирают в

    I «ф" диапазоне О,ЗХ (Й- 1 Q,, где Х вЂ” длина

    - волны:источника коге1рентного излучения.

    Источник информации, принятый во б внимание при экспертизе:

    1. Авторское свидетельство ССС P № 59307О, кл. G 01 В 11/24, G 01 В 9/О21, 1976 (прототип).

    Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов Устройство для измерения геометрических параметров зеркальных оптических элементов 

  •  

    Похожие патенты:

    Модулятор // 570003

    Микроскоп // 377714
    Наверх