Выводное окно для электронно-лучевых приборов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБР ЕТЕ Н И Я

К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЙЬСТВУ

Со .оз Советских

l l777755

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-зу— (22) Заявлено 17.08.78 (21) 2656234/18-25 (51) М.Кл. - Н 01 Я 33/04 с присоединением заявки—

Государствеииый комитет (23) Приоритет— (43) Опубликовано 07.11.80. Бюллетень ¹ 41 (45! Дата опубли ования описания 04.01.81 по делам ивабретеиий и открытий (53) УДК 621.385.832 (088.8) (72) Авторы и.з о бретения

И, Воложин, Н. П. Купрейчик, Э. Т. Крутько и В. В. Хараневич (71) Заявители Могилевское отделение Института физики

АН Белорусской ССР и Институт физико-органической химии АН Белорусской ССР (54) ВЫВОДНОЕ ОКНО

ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к ооластп приборостроения, а именно к плечочной электронике и может быть использовано для изготовления выводных окон электронно-лучевых приборов,,в устройствах электронно-лучевой вневакуумной записи.

Известны методы,и устройства. используемые для вывода электронного изображения B атмосферу. В качестве материачоз для выводных окон таких устройств ис,пользуется слюда или сочетание Х1, An u

A) (-1

Основным недостатком таки.;. окон является значительное рассеяние и ослабле ние электронного потока, пропорциональное атомному весу материала окна. Наименьшее рассеяние электронов обеспечивает пленка из ароматического полиимида, используемая в качестве подложки для экранов электронно-лучевых приооров. работавших в вакууме.

Наиболее близким по технической сущности устройством является пленка для выводных окон электронно-лучевых приборов (2). С целью увеличения коэффициента пропускания электронов здесь используется сочетание веществ с малым атомным весом: алюминий — бериллпя. Пленка содержит ортогональнуlo сетку из лег<ого металла, ма".о поглощающего и рассеивающего электронь:, наприм р, из меди, сло." алюмпHnÿ — бериллия, слой дпэлектр:Il а.

Наряду с увеличением коэффициен-а пропускания электронного потока з этих материалах происходит значительное рассеяние электронов, что приводит к ухудшеншо качества электронного изображения.

Кроме того, такие материалы являются неустойчивыми к длительному электронном обл чению.

Цель данного изобретения — повь:шение качества электронного изображения, зывсд: мо."о з атмосферу и лучшенис э . сплуата ционных характеристик зыводноГо окна.

Для достижения постазленной цели между ортогональной сеткой и слоем ал|а20 миния расголожен слой цпклоалифатического полиимида, причем ячейки ортогональной сетки также заполнены полпимидом.

25 На чертеже схематически .изобра>кен разрез предлагае»oãî о,на. Окно содержит крепящий фланец 1, слой алюминия 2, который служит для удаления статичес . пх зарядоз с поверхности окна, слой 3 циклоалифатпческого полпимида и ортогональ777755

Форму "3 изобретсния

Составнтель А. Латам

Редактор Н. Тнмоннна

Текред А. Камьпнникова

Корректор С. Файн

Заказ 1468/1482 Изд. № 540 Тираж 857 Подписное

НПО «Понск» Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

1!3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тнп. Харьк. фнл. пред. «Патент» ную сетку 4 пз легкого металла, например .,Ie I

П р и и е,р. На орто.-оняльну о сет:<у пз меди толщиной порядка 0,3 — 0,4» кл .наносят пленку толщиной 1 нкл из растзо имь..;. полиимидов, полученнык на основе диазгпдР и доз II I I4 o a I I I ô e T 11ч е с и."I. I те т Р Я к Я Р О О н OBbIx кислот и ароматических дпамнноз.

Толщина пленки регулируется зяз остью испо 7b3; емого расгвоза пол|шмлда, полученно",о одностадийным зысокоте. кчературным синтезом в м.креозоле. Поверк пленки наносят распылением в вакууме то:;,IIй (0,02 —:0,03 лкл) слой алюмпн:|я.

Такая конструкция позволила получ ть меканически прочную пленку, толщиной поряд ка 1 лкл. При размерак выводного окна

0,5Х20»1л внутри .прибора поддерживается давление 6 10 — "7a. Суммарный:;оэффициент прои с ся,IIÿ выводного Окна со ставил величину порядка 0,7:-О, 8 (для разны.; образцов). Разрешающая способность при записи информации через предлагае;Ioe окно в электронном микроскопе «Тесла-В242А» составила 12-:-15 лин/н,и, что в два раза превышает имеющиеся покязят -.лн плотности записи информации элекпронным л„, Iîм в:-:е вакуума.

ВbIçод Ioe окно для электронно-лучезык приборов, содержащее крепящий фланец, ортогo:Iàëüíóþ сетку из металла, слабо поглощг1ощего и .рассеивающего электрон10 ные 1 1кп, и слой алюминия, о т л и ч à 10щ е е с я тем, что, с целью повышения ачеспза выведенного электронного изоора;: ения и улучшения эксплуатационнык хВрактеристик выводного окна, между ортоРб гональной сеткой и слоем алюминия расположен слой циклоалифитического полним Iда, причем ячейки ортогональной сетки тя кже зя.1:);IHBHbI полиимидом.

28 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

l. Заявка ФРГ № 2503499, кл. Н 01 J

33, 04„опублик. 1976.

2. Авторское свидетельство СССР

""з 550699, кл. Н О! J 29/24, 197б (прототип).

Выводное окно для электронно-лучевых приборов Выводное окно для электронно-лучевых приборов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано для вывода пучка заряженных частиц в атмосферу или облучаемую среду

Изобретение относится к способу и устройству для охлаждения фольги выходного окна ускорителя электронного пучка

Изобретение относится к физической электронике, квантовой электронике, плазмохимии и диагностическим измерениям

Изобретение относится к области электронной техники. Узел выходного окна устройства генерирования электронного пучка(10) содержит опорную пластину (22) и фольгу (20) выходного окна для электронов. Опорная пластина (22) выполнена с возможностью уменьшения складок в указанной фольге (20). Фольга (20) скреплена с опорной пластиной (22) вдоль замкнутой линии (26) скрепления, ограничивающей область, в которой опорная пластина (22) содержит структуру отверстий и опорных частей для фольги, расположенных чередующимся образом. Когда в корпусе (14) создается вакуум, указанная структура выполнена с возможностью формирования топографического профиля фольги (20), по существу поглощающего любой избыток фольги. Изобретение также относится к способу уменьшения складок в фольге. 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 13 ил.

Изобретение относится к области электронной техники. Сборочный узел состоит из опорной пластины (22) и фольги (20) выходного окна для применения в электронно-лучевом устройстве, причем опорная пластина (22) сконструирована для уменьшения складок в фольге (20), которые могут появляться вследствие избытка фольги, возникающего в процессе сборки. Фольга (20) прикреплена к опорной пластине (22) вдоль замкнутой линии (26) крепления, ограничивающей по существу круговую область, в которой опорная пластина (22) снабжена отверстиями и поддерживающими фольгу участками и в коей области фольга предназначена служить участком стенки вакуумно-плотного корпуса электронно-лучевого устройства. Изобретение относится также к способу уменьшения складок. Технический результат - повышение эффективности разрешения прохода электронов и срока службы фольги. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 7 ил.
Наверх