Способ контроля качества изготовления планарных оптических волноводов

 

Способ контроля качества изготовления планарных оптических волноводов, состоящих из диэлектрической подложки с плоскопараллельными гранями и несущего слоя на одной из сторон подложки, путем возбуждения оптического волновода и определения отклонения постоянной распространения волн на рабочей площадке оптического волновода от ее значения на входном конце оптического волновода, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и надежности контроля, на подложку со стороны несущего слоя или на несущий слой наносят технологические параллельные риски перпендикулярно направлению распространения волн в оптическом волноводе, на противоположную сторону подложки наносят светочувствительную эмульсию, с помощью которой фиксируют интерференционную картину, формируемую при возбуждении оптического волновода и его освещения со стороны несущего слоя одним когерентным источником света, по которой определяют качество изготовления оптического волновода.