Способ изготовления зеркал
(i i) 810637
ОП ИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.03.79 (21) 2733009/29-33 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 07.03.81. Бюллетень № 9 (45) Дата опубликования описания 07.03.81 (51) М.К .
С ОЗС 17/36
Государственный комитет (53) УДК 666.1.056 (088.8) па делам изобретений
Н OTKPblTNH
Н. Г. Герасимова, Н. А. Горбачева и С. И. Сагитов
1 !
I (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗЕРКАЛ
Изобретение относится к технической физике и может быть применено в оптическом приборостроении в качестве отражающих покрытий для зеркал, дифракционных решеток, фильтров и других поверхностей, 5 преимущественно для вакуумной ультрафиолетовой областей спектра, а также при космических и астро-физических исследованиях.
В современном оптическом приборо- 10 строении для отражающих поверхностей оптических элементов, работающих в вакуумной ультрафиолетовой области спектра, применяются высокоотражающие пленочные системы. 15
Известен способ изготовления зеркал путем последовательного нанесения слоев алюминия и фтористого магния на стеклянную подложку (1). Это зеркало имеет для 20
Л 120 нм коэффициент отражения = 65%, в более длинноволновой области отражение увеличивается и для Л 100 нм резко падает до 10 — 15%. Наносимое покрытие обладает II группой механической прочности по Н03611 — 61/10.33.307 и устойчивостью в атмосфере с низкой влажностью. Во влажном воздухе и при запотевании покрытие быстро портится. Покрытие не устойчиво к щелочным средам, 30
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является способ изготовления зеркал путем последовательного нанесения слоев алюминия и фтористого магния на стеклянную подложку с последующим нанесением на слой MgF двуокиси титана (2).
Недостатком способа является низкий коэффициент отражения в ультрафиолетовой области спектра и невозможность его применения в вакуумной ультрафиолетовой о бл асти спектр а.
Целью изобретения является повышение коэффициента отражения и прочности зеркал.
Достигается эта цель тем, что в способе изготовления зеркал путем последовательного нанесения на стеклянную подложку слоев алюминия и фтористого магния на слой фтористого магния дополнительно наносят слой карбида кремния.
Пример конкретного выполнения способа.
Готовое зеркало состоит из подложки, например, кварцевого стекла, на поверхность которого методом ионно-плазменного высокочастотного распыления, в вакууме при разрежении не менее 10 — мм. рт. ст., например, на установке «Sputron — Il» фирмы «Balrer» (или в вакуум-аппарате типа
ВА — 450 в соответствии с PMO 1828-66 или
810637
Составитель Г. Буровцева
Техред И. Пенчко
Редактор И. Квачадзе
Корректор Л. Орлова
Заказ 502/3 Изд. № 231 Тираж 530 Подписное
НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 других аналогичных, наносится трехслойное покрытие. а) непрозрачный слой алюминия (толщина 70 — 100 нм) в качестве отражающего покрытия; 5 б) прозрачная пленка фтористого магния (толщина 25 нм) в качестве защитного слоя, препятствующего окислению алюминия и за счет интерференции увеличивающего его отражение. 10
Для нанесения слоев используются алюминий марки не ниже А-000 (ГОСТ
3549 — 55) и фтористый магний (ГОСТ
7204 — 54) .
Последовательно на слои Al+MgF до- 15 полнительно наносят слой карбида кремния. Поликристаллическая пластинка карбида кремния длиной 60 мм толщиной 5 мм приклеивалась к медному электроду и устанавливалась в вакуумную камеру. 20
При достижении давления 10 — мм рт. ст. в камеру напускается Аг до давления в камере 10 — мм рт. ст. Затем зажигается тлеющий разряд) Ip 40А, Up 40 В), а на мишень $1С подается высокочастотное напряжение (w 1356 МГц, мощность — 1,5 кВт) .
Скорость распыления мишени определяется величиной подводимой к ней мощности и при данных параметрах процесса составляо ет 30 А/мин. Разогрев подложки во время нанесения пленки примерно 90 С.
Зеркала, изготовленные указанным способом, имеют высокую термическую устойчивость, исключительную химическую и радиационную стойкость и могут быть отнесены к нулевой группе прочности, они имеют высокий коэффициент отражения и низкий рассеянный свет, что позволит эффективно использовать спектральные приборы с дифракционными решетками, повысит их светосилу, точность измерений, упростит методику работы, позволит, например, вместо двух сменных дифракционных решеток с покрытиями из платины и фтористого магния использовать для спектральной области — от 60 до 500 нм только одну дифракционную решетку.
Формула изобретения
Способ изготовления зеркал путем последовательного нанесения на стеклянную подложку слоев алюминия и фтористого магния, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента отражения и прочности, на слой фтористого магния дополнительно наносят слой карбида кремния.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. РМΠ— 1828 — 66. Алюминированные зеркала с повышенным отражением в вакуумной УФ-области спектра, 1966.
2. Авторское свидетельство СССР
М 176052, кл. С ОЗС 17/12, 1963 (прототип) .
