Магнитный электроразрядныйнасос

 

Союз Советскни

Социалистических

Республик («) 1

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 07.02.79 (21) 2723906/18-25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл 3

Н01 J 41/20

Государственный комитет

Опубликовано 15.03.81. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 25.03.81 по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.521 (088.8) (72) Автор изобретения

А. Я.Фискис (71) Заявитель (54) МАГНИТНЫИ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫИ" НАСОС

Изобретение относится к средствам для создания и поддержания высокого вакуума, в частности к магнитным электроразрядным насосам (МРН).

Известны МРН, которые действуют на основе эффекта поглощения газов при катодном распылении геттерирующего материала в магнитном поле (1).

Известен также МРН, содержащий корпус, изолированные от корпуса вводы, электродную систему, состоящую из катодов и анодов, и источник питания (2).

Однако в этих насосах газовый разряд с катода устанавливается благодаря случайной ионизации молекул остаточного газа (радиация, блуждающий электрон, космическое излучение), что обуславливает высокое пороговое давление зажигания разряда.

Цель изобретения — уменьшение величины порогового давления зажигания разряда.

Поставленная цель достигается тем, что в магнитном электроразрядном насосе, содержащем корпус с изолированными от него вводами, источник питания и электродную систему, состоящую из катодов и анодов, катоды и аноды последней выполнены в виде стержней, по образующей которых расположены острия, обеспечивающие автоэлектронную эмиссию с них при рабочем напряжении насоса, при этом стержни присоединены поочередно к изолированным вводам и корпусу и образуют периодическую систему из катодов и анодов, расположенных так, что электрическое поле между соседними электродами и магнитное поле взаимно ортогональны.

Для случая, когда корпус насоса имеет цилиндрическую форму, высота острий умень10 шается к центру таким образом, чтобы расстояние между остриями соседних стержней оставалось постоянным.

Данная конструкция насоса позволяет в качестве источника питания использовать

I5 источник переменного напряжения.

На фиг. 1 и 2 приведена конструкция насоса е цилиндрическим корпусом; на фиг. 3 — конструкция насоса с прямоугольным корпусом; на фиг. 4 — разрез Б-Б на фиг. 3.

20 Насос содержит корпус 1, изолированные вводы 2, катоды 3 и аноды 4.

Выполнение электродной системы в виде стержней, по образующей которых расположены острия, обеспечивает автоэлектронную

813537

Формула изобретения

3 эмиссию с них при подаче рабочего напряжения на электроды насоса.

Поочередное присоединение стержней к корпусу и изолированным от корпуса вводам обеспечивает ортогональность электрического поля к магнитному, что значительно увеличивает вероятность ионизации молекул остаточного газа в насосе. Наличие автоэлектронной эмиссии с острий и ортогональность полей способствует уменьшению величины порогового давления зажигания разряда. Для насоса с корпусом цилиндрической формы (фиг. 1 и 2) уменьшение высоты острий к центру приводит к равномерности электрического поля во всем рабочем пространстве насоса.

Для насоса с корпусом прямоугольной формы (фиг. 3 и 4) высота острий одинакова по всей длине стержня, что обеспечивает также равномерность электрического поля во всем рабочем пространстве насоса.

Идентичность конструкций катодов и анодов насоса обеспечивает возможность использования каждого из них то в качестве

«катода», то в качестве «анода», что позволяет упростить схему питания насоса, т. е. в качестве источника питания использовать источник переменного напряжения.

Источником питания предлагаемого электроразрядного магнитного насоса является высоковольтный трансформатор со «средней точкой» (схема питания электроразрядного насоса приведена на фиг. 2).

Концы высоковольтной обмотки трансформатора U — 10 кв присоединены к электрическим вводам насоса, а «средняя точка»к корпусу насоса.

Экспериментальная проверка предлагаемого магнитного электроразрядного насоса показала, что он обеспечивает надежное зажигание разряда при давлении 2 10 Па, что на порядок ниже существующих конструкций.

Насос перспективен для использования в качестве индивидуальных средств откачки высоковакуумных долговечных ОВП. Кроме того, возможность работы на переменном токе значительно упрощает и удешевляет источник питания.

1. Магнитный электроразрядный насос, 10 содержащий корпус, изолированные от корпуса вводы, источник питания и электродную систему, состоящую из катодов и анодов, отличающийся тем, что, с целью уменьшения порогового давления зажигания разряда, катоды и аноды электродной системы насоса выполнены в виде стержней, по образующей которых расположены острия, обеспечивающие автоэлектронную эмиссию с них при рабочем напряжении насоса, при этом стержни присоединены поочередно к изолирован20 ным вводам и корпусу и образуют периодическую систему из катодов и анодов, расположенных так, что электрическое поле между соседними электродами и магнитное поле взаимно ортогональны.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что для насоса с цилиндрическим корпусом, высота острий уменьшается к центру так, чтобы расстояние между остриями соседних стержней оставалось постоянным.

3. Насос по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что в качестве источника питания ис30 пользован источник с переменным напряжением.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР з5 № 433568, кл. Н 01 J 41/00, 1971.

2. Королев Б. И. и др. Основы вакуумной техники. M., «Энергия», 1975, с. 156 (прототип) .

Фиг. f

813537

Фиг. 2

Редактор А. Наурсков

Заказ 342/67

Составитель Г. Жукова

Техред A. Бойкас Корректор Г. Решетник

Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и о1крытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4