Дозатор для получения парогазовыхсмесей
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОУСКОИУ СВ НИЗЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
<щ 830334
:ф
Г (6I ) Дополнительное к ввт. свид-ву (22) Заявлено 090779 (21) 2795197/18-24
{51) М..К.З
G 05 0 11!03
G 01 F 13/00 с присоединением заявки ¹â€”
Государствеииый комитет
СССР
IIo делам изобретений и открытий (23) Приоритет "
Опубликовано 15.0581. Бюллетень № 18
Дата опубликования описания 150581
{53) УДК ЕЕ.028 (088.8) ) й. Й „ О М рчков (12) Авторы изобретения
О.Ф.Огурцов, A.È,Îäèíîêîâ, В.A,Терешонков
< (71) Заявитель (54) ДОЗАТОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПАРОГАЗОВЫХ
CMECEA
Изобретение относится к устройствам дозирования материалов и может применяться в технологических процессах производства интегральных схем, .а также в химической промышленности.
Известен дозатор, содержащий испарительную и смесительную камеры, соединенные диффузионным сопротивлением, натрубки подвода и отвода гаэоносителя и систему управления (1).
Недостатком этого дозатора является узкий диапазон регулирования расхода, что связано с постоянным диффузионным сопротивлением, соединяющим испарительную и смесительную камеры.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемой конструкции является прямоточный испаритель для получения парогазовых смесей, состоящий из испарительной камеры, спиральных разделительных экранов и натекателя 21.
Недостатком данного дозатора является невозможность регулирования расхода испаряемого реагента, что связано с фиксированным значением величины канала, образованного разделительными экранами, т.е. его длины и высоты. Расход испаряемого реагента определяется условиямн насы щения газа-носителя парами, т.е. значением величины канала испарения.
Вследствие этого данная конструкция дозатора обеспечивает единственное фиксированное значение расхода паров, так как при условии ненасыщения газа-носителя происходит значительное колебание расхода паров при неэначи10 тельных колебаниях расхода газа.
Цель изобретения — расширение области применения дозатора.
Укаэанная цель достигается тем, что дозатор содержит поршень, устаIS новленный в корпусе над поверхностью жидкости с возможностью перемещения по вертикали и жестко связанный со вторым входом патрубком, а спиральная перегородка закреплена на торце
20 поршня со стороны поверхности жидкости, причем спиральный канал перегородки связан с первым входным патрубком.
На чертеже показан дозатор для
25 получения парогазовых смесей.
Дозатор содер)кит частично заполненный жидкостью цилиндрический корпус 1 с радиальным первым входным 2, соосйым вторым входным 3 и выходным
30 4 патрубками, закрепленную в цилинд830334 рическом корпусе 1 соосно выходному патрубку 4 втулку 5, образующую со вторым входным патрубком 3 клапанную пару, нерез которую газовая полость б цилиндрического корпуса 1 сообщена с выходным патрубком 4, спиральную перегородку 7.и поршень 8, уста новленный в цилиндрическом корпусе .
1 над поверхностью жидкости с возмож ° ностью перемещения по вертикали и жестко связанный со вторым входным патрубком 3, а сгиральная перегородка 7 закреплена на торце поршня 8 со стороны поверхности жидкости, причем спиральный канал .9 перегородки 7 связан с первым входным патрубком 2, Поршень 8 соединен с цилиндрическим 15 корпусом 1 с помощью сильфона 10.
Клапанная пара -5 имеет канал 11. Дозатор работает следующим образом.
Газ-носитель, .расходуемый на на- 2О сыщение, поступает через первый входной патрубок 2 в цилиндрический корпус 1 с жидким реагентом и проходит через спиральный канал 9. При этом происходит его насыщение парами реагента и насыщенный газ-носитель поступает через канал 11 в выходной патрубок 4, смешивается с газом-разбавителем, подаваемым Во второй входной патрубок 3 и далее смесь поступает в реакционный объем рабочей установки. В интервал времени, когда не требуется подача паров реагента в реакционный объем, второй входной патрубок 3 перемещается и закрывает канал 11. 35
Для получения требуемой концентрации парогазовой смеси на выходе дозатора, высота канала 9 устанавливается перемещением поршня 8, за счет перемещения второго входного патруб. ка 3 и деформации сильфона 10.
Таким образом, изменяя высоту ка нала 9 при неизменной его длине, концентрация парогазовой смеси изменяется в широком диапазоне, что дает возможность увеличить его производительность, сохранив требуемую для процессов точность дозирования.
Формула изобретения
Дозатор для получения парогаэовы смесей, содержащий частично заполненный жидкостью цилиндрический кор" пус с радиальным первым входным и соосным. вторым входным и выходным патрубками, закрепленную B цилиндрическом корпусе соосно выходному патрубку втулку, образующую со вторым входным патрубком клапанную пару, через которую газовая полость цилиндрического корпуса сообщена с выходным патрубком, и спиральную перегородку, отличающийся тем, что, с целью расширения области применения дозатора, он содержит поршень, установленный в цилиндрическом корпусе над поверхностью жидкости с возможностью перемещения по вер- тикали и жестко связанный со вторым входным патрубком, а спиральная перегородка закреплена на торце порш- . ня со стороны поверхности жидкости,,,". причем спиральный канал перегородки свяэан с первым входным патрубком.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
9 581379, кл. 601 F, 13/00, 1977.
2, Авторское свидетельство СССР
Р 204444, кл. Н 01.4 17/68, 1967 (<прототип).
830334
Составитель Г.Сидоров
Редактор М.Погориляк Техреду. Вабинец Корректор А.Гриценко
Заказ 3789/86 Тираж 940 Поддисное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб °, д.4/5
Филиал ППП "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная, 4
