Магниторазрядный насос

 

Союз Советскки

Соцкалистнческие

Реслублик

ОП ИСАНИЕ

ИЗЬБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< >871255

Ж

Ф

r (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 21.01.80 (21) 2872638/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл.з

Н 01 J 11/12

Гещдэрстееииый иемитет

Опубликовано 07.10.81. Бюллетень №37 (51) УДК 621.528 (088.8) по аелам изебретеиий и етермтий

Дата опубликования описания 07.10.81 (72) Автор изобретения

А. А. Терехов (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к магниторазрядным насосам и может найти применение для получения вакуума без следов углеводородов.

Известен магниторазрядный насос, состоящий из катодов в виде двух полых фигурных цилиндров, на которые надеты магниты в форме колец, и двух анодов, один из которых имеет форму цилиндра и размещен в зазоре между катодами, а другой— в виде шпильки — расположен на оси насоса (1).

Недостатком данного насоса является то, что магнитная энергия не локализована в области разряда, что повышает необходимый вес магнитной системы.

Также известен магниторазрядный насос, содержащий корпус, в котором размещены катоды, ячеистый анод и коллекторы, удовлетворительно откачивающие все газы, в том числе инертные и углеводороды 12).

Недостатками этого насоса является то, что насос, рассчитанный на большие скорости откачки, имеет габариты, значительно превышающие размер стандартного фланца для данного условного прохода, а его вес в значительной мере состоит из веса корпуса.

Целью изобретения является уменьшение веса и габаритов магниторазрядного насоса.

Указанная цель достигается тем, что у магниторазрядного насоса, содержащего корпус, в котором размещены катоды, ячеистый анод и коллекторы, катоды выполнены в виде коаксиальных цилиндров, а анод и коллекторы раоположены с противоположных торцов катодов. то На чертеже представлен магниторазрядный насос в разрезе.

Насос состоит из корпуса 1 с фланцем 2 для присоединения его к откачиваемому объему (на чертеже не . показан) . Внутри корпуса коаксиально размещены четыре

1 цилиндрических катода 3 — 6, изготовленных из геттерного материала, например, титана.

Анод 7 в форме жалюзийной ловушки и . коллекторы 8 и 9 образуют вместе с катодами 3 — 6 два тороидальных разрядных промежутка 10 и 11. (Число катодов, коллекторов и, соответственно, разрядных промежутков может быть выбрано произвольно).

Магнитное поле создается постоянными

871255

Формула изобретения

Составитель В. Остенин

Редактор Н. Коляда Техред А. Бойкас Корректор С. Щомак

Заказ 8448/26 Тираж 787 Подписное

ВНИИ ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 магнитами 12, удерживаемыми на корпусе 1 плитой 13, и формируется магнитопроводами 14, 15, 16. Катоды 3 — 6 и коллекторы 8, 9 имеют вакуумноплотные токовводы 17. Магниты 12, токовводы 17 и электрическая разводка (на чертеже не показана) закрыты заземленным декоративным кожухом 18.

Перед работой насоса объем, в котором нужно создать разряжение, предварительно откачивается до давления — 10 з мм рт. ст.

В это время корпус 1 насоса и все расположенные в вакууме поверхности могут быть прогреты проточной горячей водой (система водоснабжения не показана) для уменьшения газоотделения с них. При достижении давления — 10 з мм рт. ст. форвакуумную магистраль перекрывают и вклю- 15 чают электрическое питание насоса для обеспечения его работы. Источник электрического питания подключен таким образом, чтобы подаваемый на коллекторы 8 и 9 потенциал имел промежуточное значение между потенциалами катодов 3 — 6 и анода 7.

При этом в разрядных промежутках 10 и 11 возникает магнитоизолированный газовый разряд. Распыляемый материал катодов

3 — 6 осаждается преимущественно на развитой поверхности анода 7 и коллекторах 8, 9. zs

Осаждаемая на аноде 7 пленка будет сорбировать компоненты газа, образующие химические соединения с материалом катодов. Более отрицательный, чем у анода 7 потенциал коллекторов 8, 9 обеспечивает вытягивание из разряда ионов и поэтому на коллекторах 8, 9 наряду с хемосорбцией происходит ионная откачка.

Как видно из приведенного чертежа, габаритный диаметр насоса не превышает диаметра стандартного фланца для данного условного прохода.,Увеличение номинальной скорости откачки насосом данной конструкции сводится к увеличению числа разрядных промежутков и диаметра условного прохода, а высота насоса для всего ряда остается постоянной. Спроектированный для технического предложения насос в соответствии с изобретением имеет высоту 100 мм.

Наибольшие размеры насоса и простые формы его составных частей характеризуют его, как изделие более технологичное и менее трудоемкое, чем известные насосы той же производительности.

Магниторазрядный насос, содержащий корпус в котором размещены катоды, ячеистый анод и коллекторы, отличающийся тем, что, с целью уменьшения веса и габаритов насоса, катоды выполнены в виде коаксиальных цилиндров, а анод и кс/ллекторы расположены с противоположных торцов катодов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 593267, кл. Н 01 J 41/12, 1976.

2. Технология тонких пленок. Справочник

М., «Советское радио», 1977, т. 1, с. 217 (прототип) .