Способ подгонки тонкопленочных резисторов

 

(72) Авторы изобретеиия

В.Я. Овласюк, И.В. Петров и В.С. Халъков

Всесоюзный ордейа Трудового Красного Знамени научноисследовательский институт железнодорошиогф транспорта (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОДГОНКИ ТОНКОПЛЕНО4НЫХ

РЕЗИСТОРОВ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для точной подстройки резисторов в аппаратуре, выполненной с применением методов тонкопленочной технологии.

Известен способ регулирования сопротивления тонкопленочных резисторов, согласно которому исходная величина сопротивления резистора преднамеренно выполняется заниженной за счет выполнения резистора в виде нескольких параллельных дорожек и затем при подгонке увеличивается путем разрыва одной или нескольких резистивных дорожек ll).

Недостатком этого способа является отсутствие возможности точной регулировки сопротивления.

Известен также способ подгонки сопротивления тонкопленочных резисторов, в которых часть длины дорожки шунтирована проводящим покрытием.

Подгонка осуществляется путем удале ния одного или нескольких участков, шунтирующих резистор Ц 1.

Недостатком этого способа является невозможность плавного регулирования сопротивления.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ подгонки тонкопленочных резисторов с пленочными контактами путем удаления части реэистивного материа1В ла С 1

Однако этот способ не обеспечивает одновременной совместимости высокой точности и высокой производи15 тельности процесса подгонки.

Цель изобретения - повышение точности подгонки тонкопленочных резисторов при одновременном повышении производительности.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу подгонки тонкопленочных резисторов с пленочными металлическими контактами путем уда ления части резистивного материала3 90032 на резистивный материал наносят два дополнительных электрода, расположенных перпендикулярно основным, направленных навстречу друг к другу и контактирующих с пленочными металлическими контактами резисторов, а удаление части резистивного материала проводят в направлении, перпендикулярном дополнительным электродам, выбирая место удаления материа- io ла в соответствии с необходимой точностью подгонки.

На фиг. 1 показан один из вариантов геометрии резисторов для,подгон1 ки по предлагаемому способу; на 15 фиг. 2 - зависимость изменения сопротивления резистора ай от места удаления материала.

При указанном варианте геометрии резистор 1 соединен противоположными выводами с пленочными металлическими контактами 2 и 3. По краю резистора напылены два дополнительных электрода 4 и 5, соединенные соответственно с пленочными контактами 2 т и 3. По нормали к дополнительным резисторам при удалении материала образуются дорожки 6 грубой настройки и дорожки 7 и 8 точной настройки, состоящие из наложенных друг на дру- з га и частично перекрытых лунок 9 (n — количество лунок, t - шаг настройки), Подгонка резистора осуществляется следующим образом. В исходном состоянии сопротивление резистора минимально. Для ступенчатого увеличения сопротивления на большую величину используется дорожка 6. Дорожка образуется, например лазерным лучом, из > последовательно наложенных друг на .друга и частично перекрываемых лунок.

В целях повышения производительности регулирования желательно увеличивать шаг подгонки t. По мере приближения к заданному значению, не уменьшая ша" га подгонки, следует переходить на дорожки 7 или 8. Чем ближе дорожка к контактной площадке, тем меньше величина Rn - =RÄ - й„ „ при неизменном шаге подгонки (фиг. 2).

C помощью предлагаемого способа возможно производить регулирование тонкопленочного резистора {в сторону

1 4 увеличения) с точностью О,li и выше на величину до 50, от первоначального значения. Такая высокая точность позволяет применять способ подгонки в случае прецизионных измерительных приборов.

Большой диапазон регулировки с высокой точностью дает воэможность применять способ, например, при создании частотнозадающего элемента в активных RC-фильтрах и генераторах.

В этом случае частотный диапазон выбирается путем разрыва проводящих перемычек, шунтирующих часть длины дорожек тонкопленочного резистора.

Плавная настройка в пределах частотного диапазона осуществляется с помощью предложенного способа. При этом настройку частоты возможно производить с точностью 0,1-0,2 . Производительность регулировки значительно выше, чем в известном способе. При этом не требуется изменять шаг подгонки, что позволяет значительно упростить устройства автоматизации процесса регулировки.

Формула изобретения

Способ подгонки тонкопленочных резисторов с пленочными металлическими контактами путем удаления части резистивного Материала, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности и производительности, на резистивный материал наносят два дополнительных электрода, расположенных перпендикулярно ос- " новным, направленных навстречу друг к другу и контактирующих с пленочными металлическими контактами резисторов, а удаление части резистивного материала проводят в направлении, перпендикулярном дополнительным электродам.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Технология тонких пленок. Справочник, т. 2, И., "Советское радио", 1977, с. 607.

2. Сергеев В.С. и Вороженин И.Н.

Интегральные гибридные микросхемы.

М., "Советское радио", 1973, с. 54.

900321

4%сг 1

Составитель А. Даревский

Редактор В. Иванова Техред M. Рейвес

Корректор М. Пожо

Тираж 757 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 12191/68

Филиал ППП "Патент", r Ужгород, ул. Проектная, 4