Способ переработки отходов, содержащих полисиланхлориды кремния
Авторы патента:
Способ переработки отходов, содержащих полисиланхлориды кремния, на тетрахлорид кремния, включающий ввод и испарение кубового остатка при нагревании в реакционной зоне с одновременным вводом хлора и последующую конденсацию продуктов, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и повышения степени использования отходов, ввод кубового остатка осуществляют со скоростью 15 - 40 м/с и временем контакта полисиланхлоридов с хлором 0,05 - 1,0 с при парциальном объеме хлора в парогазовой фазе 25 - 95%.
Похожие патенты:
Спосособ получения дихлорсилана // 656967
Способ очистки хлоридов кремния // 504699
Способ очистки тетрахлорида кремния // 327782
Способ получения силанов // 2152902
Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов
Способ получения кремния // 2415809
Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния
Способ получения тетрахлорсилана // 953798
Изобретение относится к способам получения соединения кремния, в частности тетрахлорсилана
Способ получения гексахлордисилана // 987916
