Устройство для измерения потока насыщения ферромагнитных пленок

 

(72 j, Авторы мэобретеяия

И.А. Вальтас, В.-Б.В. Иаргайтис, В.И. Чесонис и И.К. Шпанье

Вильнюсское отделение Всесоюзного научно-исследовательского

l .. проектно-конструкторского и технологического института малых электрических машин (71) Заявнтель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОТОКА НАСЫЩЕНИЯ

ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения потока насыщения тонких пленок, лент, в том числе и нанесенных на немагнитные основания.

По основному авт.св. Ю 552577 известно устройство для измерения потока насыщения Ферромагнитных пленок, содержащее перемагничивающую обмотку, соединенную с источником 16 переменного тока, два питаемых от источника постоянного тока полупровод" никовых потокочувствительных элемента, выходы которых подключены к сравнивающему блоку, соединенному с выходнйм прибором, два идентичных разомкнутых магнитопровода, жестко связанных между собой и ориентированных противоположно, причем перемагничивающая обмотка охватывает идентичные участ" 20 ки обоих магнитопроводов, а полупроводниковые потокочувствительные элементы установлены в симметричных зазорах магнитопроводов (1 1.

Недостатками данного устройства являются сравнительно низкая точность измерения, обусловленная влиянием различных значений магнитных сопротивлений воздушных зазоров у торцов магнитопровода в местах соприкосновения с ясгытуемым образцом из-за неодинакового прилегания пленки, а также малая чувствительность, вызванная необходимостью измерения в широ-.. ком диапазоне изменений выходного сигнала.

Цель изобретения - повышение точности измерения и чувствительности.

Поставленная цель достигается .тем, что в устройстве, содержащем перемагничивающую обмотку, соединенную с источником переменного тока, два пи" таемых от источника постоянного тока полупроводниковых потокочувствительных элемента, подключенных к сравнивающему блоку, соединенному с выход" . ным прибором, два идентичных разомкнутых магнитопровода, жестко связанформула изобретения

Устройство для измерения потока насыщения ферромагнитных пленок по авт.св. и 552577, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения и чувствительности, торцы одного магнитопровода замкнуты эталонной ферромагнитной пленкой, магнитопроводы выполнены C"îáðàýíîé формы с торцами, суженными в сторону поверхностей пленок. о

3 93584 ных между собой и ориентированных противоположно, причем перемагничи" вающая обмотка охватывает идентичные участки обоих магнитопроводов, а полупроводниковые патокочувствительные элементы установлены в симметричных зазорах магнитопроводов, торцы одного магнитопровода замкнуты эталонной ферромагнитной пленкой, магнитопроводы выполнены С-образной lo формы с торцами, суженными в сторону поверхностей пленок, На чертеже представлена функцио" нальная схема устройства для измерения потока насыщения ферромагнитных з пленок.

Устройство содержит перемагничивающую обмотку 1, соединенную с источником 2 переменного тока и нане" сенную на идентичные жестко связан- рв ные между собой С"образные магнитопроводы 3 и 4 °

8 симметричных зазорах магнитопроводов 3 и 4 установлены полупроводниковче потокочувствительные элемен- у ты 5 и 6, выходы которых подключены к сравнивающему блоку 7, соединенному с выходным прибором 8. Полупроводниковые потокочувствительные элементы 5 и 6 через ограничительные зв резисторы 9 и 10 соединены с источ" ником 11 постоянного тока. Торцы магнитопровода 3 замкнуты эталонной ферромагнитной пленкой 12, а торцы магнитопровода 14 соприкасаются с исследуемым участком ферромагнитной пленки 13, причем торцы обоих магнитопроводов 3 и 4 сужены в сторону поверхностей пленок 12 и 13 °

Устройство работает следующим образом.

При соприкосновении торцов магнитопровода 4 исследуемой ферромагнитной пленкой 13 происходит ее насыщение. Эталонная ферромагнитная пленка 12 при этом также насыщена.

0 4

Разность выходных сигналов потокочувствительных элементов 5 и 6 пропорциональна измеряемому потоку насыщения пленки 13 и через сравнивающий блок 7 поступает на выходной прибор 8, отградуированный непосредственно в единицах магнитного потока. Наличие эталонной пленки 12 позволяет повысить точность измерения за счет практического исключения влияния магнитных потоков рассеяния, а также повысить чувствитель" ность устройства благодаря непосредственному измерению разности между исследуемым и эталонным потоками насыщения. С-образная форма магнитопроводов 3 и 4 обеспечивает более плотный прижим к поверхностям пленок, а сужения у их торцов позволяют путем шлифовки установить необходимую величину зазоров.

Экспериментальное исследование образца показало, что по сравнению с базовым объектом точность измерения повысилась в 5 раз, чувствительность устройства возросла в 20-25 раз при практически тех же его габаритах.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

IP 552577, кл. G 01 R 33/06, 1975.

935840

Составитель Е. Данилина

Техред 3. Палий Корректор M. Демчик, Редактор Л. Алексеенко

Тираж 717 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 4202/46 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4