Способ откачки магниторазрядным насосом
Союз Советсиик
Социапистичесник респубпин
ОП ИСАЫИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ iii940262 (6l ) Дополнительное к.авт. свнд-ву(22) Занвлено 04.06,80 (21) 29356251 18 2 1 с присоединением заявки №(23) Приоритет (51)М. Кл.
Н 01 У 41/00
9еуддретииньй кемнтет
Ссср аю делан юобратеикк н еткриткй
Опубликовано30.06.82. Бюллетень №24 (53) УДК 621. .528.5(088.8) Дата опубликования описанин02.07.82 (54) СПОСОБ ОТКАЧКИ МАГНИТОРАЗРЯДНЫМ
Н АСОСОМ
Изобретение относится к вакуумной технике, а точнее к средствам создания вакуума, и может быть применено в вакуумных системах малогабаритных массспектрометров, предназначенных, например, для ссждовання атмосферы Земли и планет.
Способ может также применяться в других малогабаритных откачных системах с ограниченным ресурсом работы.
Известен способ откачки .магнитораэрядным насосом в области низких дан лений, эаключакниийся в увеличении диаметра разрядной ячейки при одновременном увеличении ее длины и увеличении магнитного поля (1
Недостатком этого способа является увеличение габаритов и массы насоса.
Известен также способ откачки магниторазрядным насосом, связанный с увеличением скорости откачки, приведенной к единице его массы, за счет увеличения использования магнитного поля С21.
Этот способ предусматривает такую конфигурацию разрядных ячеек и магнитной системы, при которой преобладающая часть магнитного потока проходит через
5 область разряда. При этом способе усложняется конструкция как магнитной системы, так и самого насоса.
Известен также способ откачки магниторазрядным насосом, включающий пред варнтельную обработку электродов насоса электрическим разрядом в инертном газе в магнитном поле 3).
При этом способе насос доакен обладать значительными габаритами н весом, а ресурс его работы оказывается невысоким, Цель изобретения - уменьшение габаритов и веса насоса и увеличение ресурса его рабаты.
20 Поставленная цель достигается тем, что в известном способе, включающем предварительную обработку электродов насоса электрическим разрядом в ннеркном газе в магнитном поле, предварите940262
Соответствующие данные (в относительных единицах) представлены в таблице.
1О;
1,0
1,0
1,0
1,0
0.67
1,0
0,5
0,85
0,9
0,5
0,35
1,0
0,7
Гаким образом обеспечивается, увели- . чение скорости откачки и ресурса работы, нриходянптхся на. единицу массы насоса."
Данный способ реализован в опытных .образцах масс-спектрометров МХ6409 и
МХ6411, прецназначенных для космическщс исследований. В. этих приборах обработки насоса инертным газом криптоном производится с магнитом, создающим магнитное поле, напряженностью около
120О Э. Посж обработки насос снабжается магнитной системой, создающей напряженность поля около 800 Э. зо
Составитель В. Захаров
Редактор С. Тараненко Техреду Т. Фанта r Корректор Г. Решетник
Заказ 4681/76 Тираж 761 По цписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5
Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
3 льную обработку проводят в магнитном поле, соответствующем началу режима насыщения скорости откачки,а эксплуатацию насоса осуществляют в магнитном поле, уменьшенном в 1,5-2 раза по сравнению с магнитным полем чри прецвари- ° тельной обработке.
Формула изобретения
Способ откачки магниторазрядным насосом, включающий предварительную обф
Обнаружено, что при этом скорость от качки и ресурс работы насоса меняются незначительно, а масса насоса существенно уменьшается. работку электродов насоса электрическим разрядом в инертном rase к магнитном поле, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов и веса насоса и увеличения ресурса его работы, предварительну1о обработку провоаят в магнитном поле, соответствующем началу режима насыщения скорости откачки, а эксплуатацию насоса осуществляют в магнитном поле, уменьшенном в 1,5-2 раза по сравнению с магнитным полем при прецварительной обработке.
Источники информации, принятые во внимание йри экспертизе
1. Васильев Г. А. Магниторазрядные насосы М, "Энергия", 1970, с. 59.
2. Там же, с. 108.
3. Там же, с. 62.
